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エアクッション付薄形シリンダ RQ/RDQ
エアシリンダ » コンパクトエアシリンダ
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・薄形シリンダCQS、CQ2シリーズにエアクッション機構を採用し、全長が＋2.5mm～13mmのみの延長で対応可能。
・吸収可能な許容運動エネルギーが約3倍向上（CQS、CQ2のラバークッションと比較）
・コンパクトフート形金具を新たに追加
・オートスイッチ付（RDQシリーズ：RDQ）
オーダーメイド組合せ型式表示方法は| 形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 標準形 | RQ | 複動片ロッド | 20，25，32，40，50，63，80，100 |
5ポートソレノイドバルブ VQ1000/2000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ（背圧防止弁、2連マッチング継手など）
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VQ1000 | 1.0 | 0.30 | 0.25 | φ40 | 0.4（標準） |
| VQ2000 | 3.2 | 0.30 | 0.80 | φ63 | 0.4（標準） |
真空レギュレータ 10-IRV
クリーン／低発塵 » モジュラF.R./圧力制御機器
クリーンシリーズ
・真空ラインの圧力制御が可能。
・一面配管仕様をシリーズ化。
・質量20％減（従来比）
・ワンタッチ管継手内蔵。
・クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易。
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標準配管仕様のみ）
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力 (kPa) |
|---|---|---|
| 10-IRV | φ6，φ8，φ1/4，φ5/16 | -100～-1.3 |
| 10-IRV20 | φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8 | -100～-1.3 |
低速シリンダ 10-/11-CM2X-Z/CQSX/CQ2X/CUX
クリーン／低発塵 » エアシリンダ
安全上のご注意 適用オートスイッチ一覧 特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ取付および移動方法（P1368〜P1387） オートスイッチ/共通注意事項 グリーン対応（RoHS）
| 形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径 (mm) | 最低使用ピストン 速度 （mm/s） |
|---|---|---|---|---|
| エアシリンダ | 10-CM2X-Z | 複動 | 20, 25, 32, 40 | 1 |
| エアシリンダ | 11-CM2X-Z | 複動 | 20, 25, 32, 40 | 0.5 |
| 薄形エアシリンダ | 10-CQSX | 複動 | 12, 16, 20, 25 | 1 |
| 薄形エアシリンダ | 11-CQSX | 複動 | 12, 16 | 1 |
| 薄形エアシリンダ | 11-CQSX | 複動 | 20, 25 | 0.5 |
| 薄形エアシリンダ | 10-CQ2X | 複動 | 32, 40, 50, 63 | 1 |
| 薄形エアシリンダ | 11-CQ2X | 複動 | 32, 40, 50, 63 | 0.5 |
水用デジタルフロースイッチ PF3W7□-X445
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
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・IO-Linkバージョン V1.1
・プロセスデータ長 6バイト入力
・伝送速度 COM2 (38.4kbps)
・最小サイクルタイム 3.5ms
・IO-Linkポートタイプ Class A
▶IO-Linkマスタ
| シリーズ | 適用流体 | 定格流量範囲 |
|---|---|---|
| PF3W704-X445 | 水 | 0.5～4L/min |
| PF3W720-X445 | 水 | 2～16L/min |
| PF3W740-X445 | 水 | 5～40L/min |
パワークランプシリンダ CKZ2N
エアシリンダ » クランプシリンダ
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・新NAAMS (北米自動車メートル法規格) 準拠。
・138種類のアームバリエーション。
・耐スパッタ、耐水性構造。
| シリーズ | アーム開度 | スイッチ | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|
| CKZ2N | 30º，45º，60º，75º， 90º 105º，120º，135º | TURCK/P＆F | 50，63，80 |
薄形シリンダ／ガイドロッド形 CQM/CDQM
エアシリンダ » コンパクトエアシリンダ
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・薄形シリンダCQS、CQ2シリーズにガイドロッドを内蔵。
・回り止め精度±0.2°以下。
・耐横荷重2～4倍 ※薄型シリンダCQシリーズとの比較。
・負荷の直接取付が可能。
・取付寸法はCQS、CQ2シリーズと互換あり。
・オートスイッチ付（CDQMシリーズ：CDQM）
| 形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 標準形 | CQM | 複動 | 12，16，20，25，32，40 50，63，80，100 |
5ポートソレノイドバルブ VQ4000/5000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・小形&大容量
設置容積42％ダウン、設置面積26％ダウン
VQ4000ø160までのシリンダ駆動が可能
VQ5000ø180までのシリンダ駆動が可能
・省電力 消費電力：0.4W(低ワットタイプ)
・スペーサ形減圧弁に対応
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VQ4000 | 7.3 | 0.38 | 2.0 | φ160 | 1.0 0.4（低ワットタイプ） |
| VQ5000 | 17 | 0.31 | 4.7 | φ180 | 1.0 0.4（低ワットタイプ） |
薄形シリンダ／プレート形 CQU
エアシリンダ » コンパクトエアシリンダ
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・ピストン長円形により幅寸法最大40％削減（CQ2シリーズ比較）
・軽量 最大36％削減（MUシリーズ比較）
・4方向からオートスイッチの取付可能。
・スイッチのはみ出しがありません。
| 形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 標準形 | CQU | 複動片ロッド | 20，25，32，40 |
