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サーモチラー／スタンダードタイプ HRS400
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半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
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・冷却能力：38kW
・電源：3相 380～415V（50Hz/60Hz）
3相 460～480V（60Hz）
・設定温度範囲：5～35℃
・最高使用周囲温度：45℃
・温度安定性：±0.1℃
・加熱機能付
・浸漬式ポンプ（メカニカルシールレス）
・防水構造：IPX4
・タッチパネル採用 設定・操作・視認性向上
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS400 | 5〜35℃ | 38kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 | 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（15％） |
ペルチェ式ケミカルサーモコン HED
温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）温調ライン » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HED | 10～60℃ | 300W，500W，750W，900W | ±0.1℃ | ペルチェ式水冷 | 脱イオン水（純水） フッ素化液 アンモニア過酸化水素水など |
サーモチラー／ベーシックタイプ HRSE
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半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
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・トリプルコントロールで大きな省エネ！
消費電力33%省エネ
・小型・軽量 32kg （AC100V仕様）
・メンテナンスフリー：マグネットポンプ
・静音設計：55dB（A）
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSE | 10～30℃ | 1.2kW, 1.6kW, 2.2kW （60Hzの場合） | ±2.0℃ | 空冷冷凍式 | 清水 エチレングリコール水溶液（15％） |
電動アクチュエータ／薄形スライダタイプ LEM
電動アクチュエータ／電動シリンダ » スライダタイプ
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・薄形、低重心
テーブル高さ：28mm(LEMC/H/HTサイズ25の場合)
・様々なガイドとの組み合わせが可能
・高いメンテナンス性
・モータ取付位置：上下、左右選択可
・リミット確認用、中間信号確認用に無接点オートスイッチ取付可能
・選べる制御性(コントローラ)
エアシリンダライクの端々制御(中間停止12点可能)
数値入力による簡単位置設定
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
詳細はこちら
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| ガイド機構 | シリーズ | ストローク （mm） | 可搬質量 （kg） | 速度 （mm/s） | ねじリード （mm） |
|---|---|---|---|---|---|
| 基本形 | LEMB | 50～2000 | 6，11 | MAX. 1000 | 48相当 |
| カムフォロア形 | LEMC | 50～2000 | 10，20 | MAX. 1000 | 48相当 |
| リニアガイド1軸形 | LEMH | 50～1500 | 10，20 | MAX. 2000 | 48相当 |
| リニアガイド2軸形 | LEMHT | 100～1500 | 10，20 | MAX. 2000 | 48相当 |
電動アクチュエータ／ガイドロッドスライダ ベルト駆動 LEL
電動アクチュエータ／電動シリンダ » スライダタイプ
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・薄形フラット形状 全高48mm
・モータ横取付による薄形化
大きいワークでもモータ部への干渉がありません。
・オートスイッチ取付可能（オーダーメイド仕様）
・最大ストローク：1000mm対応
・搬送速度：1000mm/s
・繰返し位置決め精度：±0.08mm
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
詳細はこちら
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| 仕様 | シリーズ | 軸受 | ストローク （mm） | 搬送質量 （kg） | 速度 （mm/s） |
|---|---|---|---|---|---|
| ステップモータ （サーボDC24V） | LEL25M | すべり 軸受 | 100～1000 | 3 | MAX. 500 |
| ステップモータ （サーボDC24V） | LEL25L | ボール ブッシュ 軸受 | 100～1000 | 5 | MAX. 1000 |
バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
電動ロータリテーブル LER
電動アクチュエータ／電動シリンダ » バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
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・停止位置からの再始動が可能
・電源復帰時の運転再開を容易に！
電源遮断時でもエンコーダが位置情報を保持しているため、電源再投入時の原点復帰は不要。
・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
位置情報保持にバッテリを使用しないため、予備バッテリの管理やメンテナンス交換が不要。
・揺動角度：320º、180º、90º
・モータ内蔵により省スペース
・ショックレス・高速駆動
最大速度：420º/sec
最大加減速度：3000º/sec2
注）外部ストッパ付の値
| シリーズ | 回転 トルク ［N・m］ 基本 | 回転 トルク ［N・m］ 高トルク | 最大速度 ［º/s］ 基本 | 最大速度 ［º/s］ 高トルク | 繰返し 位置決め精度 ［º］ 基本 | 繰返し 位置決め精度 ［º］ 高トルク |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LER50 | 6.6 | 10 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
