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電動グリッパ 2爪タイプ（Zタイプ） LEHZ
電動アクチュエータ／電動シリンダ » グリッパ
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・簡単設定：位置と推力の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷（アクチュエータ、コントローラセット販売）
・落下防止機能付（全シリーズセルフロック機能付）
・セルフロックにより、消費電力を低減。
・把持確認機能付。
・位置・速度・力の設定（64点）
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
詳細はこちら
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| シリーズ | ボディ サイズ | 開閉 ストローク 両側 （mm） | 把持力［N］ 基本 | 把持力［N］ コンパクト | 開閉速度 （mm/s） |
|---|---|---|---|---|---|
| LEHZ | 10 | 4 | 6～14 | 2～6 | 5～80 |
| LEHZ | 16 | 6 | 6～14 | 3～8 | 5～80 |
| LEHZ | 20 | 10 | 16～40 | 11～28 | 5～100 |
| LEHZ | 25 | 14 | 16～40 | 11～28 | 5～100 |
| LEHZ | 32 | 22 | 52～130 | ― | 5～120 |
| LEHZ | 40 | 30 | 84～210 | ― | 5～120 |
電動ロータリテーブル LER
電動アクチュエータ／電動シリンダ » ロータリテーブル
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・揺動角度：360°、320° （310°）、180°、90°
（ ）はLER10の値
・薄型：高さ寸法42mm（LER10）
・モータ内蔵により省スペース
・ショックレス・高速駆動
最大速度：420°/sec（7.33rad/sec）、
最大加減速度：3000°/sec2（52.36rad/sec2）
・速度・加/減速度・位置決め最大64点
・省エネ：テーブル停止後、電力40％自動低減
・簡単設定：位置と速度の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷（アクチュエータ、
コントローラセット販売）
注）外部ストッパ付の値
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
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安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| シリーズ | 回転 トルク ［N・m］ 基本 | 回転 トルク ［N・m］ 高トルク | 最大速度 ［°/s］ 基本 | 最大速度 ［°/s］ 高トルク | 繰返し 位置 決め精度 ［°］ 基本 | 繰返し 位置 決め精度 ［°］ 高トルク |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LER10 | 0.22 | 0.32 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
| LER30 | 0.8 | 1.2 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
| LER50 | 6.6 | 10 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
電動アクチュエータ／ミニチュアロッドタイプ LEPY
電動アクチュエータ／電動シリンダ » ミニチュア
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・小型・軽量
W20.5mm×H30mm×L125.6mm、質量240g
・最大押当て推力：50N
・繰返し位置決め精度：±0.05mm
・位置・速度・推力の設定（64点）
・最大速度 （水平）：350mm/s
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
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安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| 仕様 | シリーズ | スト ローク （mm） | 押当て 推力 ［N］ 基本 | 押当て 推力 ［N］ コンパ クト | 最大可搬 質量 ［kg］ （水平） 基本 | 最大可搬 質量 ［kg］ （水平） コンパ クト | ねじ リード |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ステップモータ （サーボ DC24V） | LEPY6 | 25，50，75 | MAX.20 | ― | MAX.2.0 | ― | 4.8 |
| ステップモータ （サーボDC24V） | LEPY10 | 25，50，75 | MAX.50 | MAX.40 | MAX.6.0 | MAX.4.0 | 5，10 |
電動スライドテーブル／薄形タイプ LES
電動アクチュエータ／電動シリンダ » スライドテーブル
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・薄形：LESHと比較しワーク取付高さ 最大12％減
・垂直可搬質量：MAX.50％UP
・軽量：最大29％減
・最大押当て推力：180N
・繰返し位置決め精度：±0.05mm
・タクトタイムの短縮が可能
最大加減速度：5,000mm/S2
最大速度：400mm/s
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
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安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項
特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| 仕様 | シリーズ | ストローク （mm） | 可搬質量 （kg） 水平 | 可搬質量 （kg） 垂直 | 速度 （mm/s） | ねじ リード （mm） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ステップモータ （サーボDC24V） | LES8□ | 30，50，75 | MAX.1 | MAX.0.5 | MAX.400 | 4 ，8 |
| ステップモータ （サーボDC24V） | LES16□ | 30，50，75，100 | MAX.3 | MAX.3 | MAX.400 | 5，10 |
| ステップモータ （サーボDC24V） | LES25□ | 30，50，75，100，125，150 | MAX.5 | MAX.5 | MAX.400 | 8、16 |
| サーボモータ （DC24V） | LES8□A | 30，50，75 | MAX.1 | MAX.1 | MAX.400 | 4，8 |
| サーボモータ （DC24V） | LES16□A | 30，50，75，100 | MAX.3 | MAX.3 | MAX.400 | 5，10 |
| サーボモータ （DC24V） | LES25□A | 30，50，75，100，125，150 | MAX.5 | MAX.4 | MAX.400 | 8，16 |
電動アクチュエータ／ロッドタイプ モータ折返し形 LEY
電動アクチュエータ／電動シリンダ » ロッドタイプ／ガイド付ロッドタイプ
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LEYシリーズ ステップモータ（サーボDC24V）サーボモータ（DC24V）
・ロングストローク対応：MAX.500mm
・直接取付3方向、金具取付3種類
・オートスイッチ取付可能
・速度制御・位置決め：最大64点
・押当て制御の切替可能
ワーク等にロッドを押し当てた状態での保持が可能
・繰返し位置決め精度：±0.02mm以下
・耐塵・防滴（IP65）仕様
LEYシリーズ ACサーボモータ
・高出力モータ（100W/200W/400W/750W）
・高速搬送能力向上
・高加速度対応（5,000mm/S2）
・パルス入力タイプ
・アブソリュートエンコーダ搭載
・繰返し位置決め精度：±0.02mm以下
・耐塵・防滴（IP65相当）仕様
・モータレス仕様を用意 詳細はこちら
・対応ドライバ：LECSS-T，LECY□はこちら
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
詳細はこちら
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| 仕様 | シリーズ | スト ローク （mm） | 押当て 推力 （N） | 速度 （mm/s） | ねじ リード （mm） |
|---|---|---|---|---|---|
| ステップモータ （サーボ DC24V） | LEY16 | 30～ 300 | MAX.141 | MAX.500 | 2.5，5，10 |
| ステップモータ （サーボ DC24V） | LEY25 | 30～ 400 | MAX.452 | MAX.500 | 3，6，12 |
| ステップモータ （サーボ DC24V） | LEY32 | 30～ 500 | MAX.707 | MAX.500 | 4，8，16 |
| ステップモータ （サーボ DC24V） | LEY40 | 30～ 500 | MAX.1058 | MAX.300 | 4，8，16 |
| サーボモータ （DC24V） | LEY16A | 30～ 300 | MAX.111 | MAX.500 | 2.5，5，10 |
| サーボモータ （DC24V） | LEY25A | 30～ 400 | MAX.130 | MAX.500 | 3，6，12 |
| ACサーボモータ | LEY25□S | 30～ 400 | MAX.485 | MAX.900 | 3，6，12 |
| ACサーボモータ | LEY32□S | 30～ 500 | MAX.588 | MAX.1200 | 5，10，20 |
| ACサーボモータ | LEY63□S | 100～ 800 | MAX.3343 | MAX.1000 | 5（2.86），5，10，20 |
| ACサーボモータ | LEY100 | 100～ 1000 | MAX.12000 | MAX.500 | 2，3.3，10 |
サーモチラー／低温タイプ HRS040-A-20-T1-X158/X164
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
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・低温／－10℃に対応
・コンパクト：HRS040と同等サイズ
・冷却能力：1kW(－10℃時)
・温度安定性：±0.1℃
・設定温度範囲：－10℃～40℃
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRS040-A-20-T1-X158 HRS040-A-20-T1-X164 | −10～40 | 1kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 | エチレングリコール 水溶液(50％) |
ペルチェ式サーモコン HEC
温調機器 » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）温調ライン » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
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・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング。
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HEC | 10～60℃ | 230W 600W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式空冷 | 清水 |
| HEC | 10～60℃ | 140W 320W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 エチレングリコール水溶液（20％） |
| HEC | 10～60℃ | 600W 1200W | ±0.01～0.03℃ | ペルチェ式水冷 | 清水 フッ素化液 |
レーザ用小型デュアル／ベーシックタイプ HRLE
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）レーザ用デュアルタイプ
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・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
・省スペース/省配線
設置面積21%削減
電源系統：1系統でOK
・省エネルギー
省エネ 消費電力17%削減
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力（CH1, 2合計） | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRLE050-A | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE050-W | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 4.8kW/5.8k （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE090-A | CH1:15～25℃ CH2:CH1温度 ＋ 0～15℃ | 8.0kW/9.5kW （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
| HRLE090-W | CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW（最大1.5kW） | 9.5kW/11.0kW （50Hz/60Hz） | CH1:±0.1 CH2:±0.5 | 水冷冷凍式 | 清水、脱イオン水（純水） |
サーモチラー／インバータタイプ HRSH
産業用通信機器／無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器／無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
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・トリプルインバータで抜群の省エネ効果！
・屋外設置：防滴型（IPX4）
・最高使用周囲温度 45℃
・最低使用周囲温度 -20℃（空冷式の場合）
・温度安定性 ±0.1℃（負荷安定時）
・省スペース、軽量280kg（25kWタイプ）
・CEマーキング、ULに適合
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSH | 5～35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（15％） |
水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 （冷凍機なし） | フッ素化液 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（60％） |
