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ノンフロン(CO2冷媒)対応冷凍式サーモチラー HRSC
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » フロン規制対応チラー
温調ライン » フロン規制対応チラー
半導体業界向機器(温調ライン) » フロン規制対応チラー
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・空輸可能
・CO2冷媒(R744)を採用
・GWPを大幅に削減
・フロン回収、廃棄コスト不要
・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
シリーズ | 設定温度範囲 | 冷却能力 | 温度安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRSC012〜060 | 5~40℃ | 1.3kW~5.9kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式,水冷冷凍式 | 清水,エチレングリコール水溶液(15%) |
HRSC090 | 5~40℃ | 9.5kW,11kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式,水冷冷凍式 | 清水,エチレングリコール水溶液(15%),脱イオン水(純水) |
HRSC100 | 5~35℃ | 10.5kW,11.5kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式,水冷冷凍式 | 清水,エチレングリコール水溶液(15%),脱イオン水(純水) |
電動ストッパシリンダ LEB□
電動アクチュエータ/電動シリンダ » オーダーメイド-
・搬送ラインの電動化の要求に対応
・用途に応じて2種類の制御タイプを用意
コントローラ制御
コントローラレス
・ストッパシリンダとの取付互換性と同等のストッパ性能を確保
・ショックアブソーバの交換が容易
止めねじを緩めるだけで交換が可能
プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
詳細はこちら
作動方式 | シリーズ | サイズ | ストローク (mm) | ロッド先端形状 面取り | ロッド先端形状 ローラ | ロッド先端形状 レバー |
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コントローラ制御 ステップモータ | LEBQ-X1 | 32 | 20 | ● | ● | ● |
コントローラ制御 ステップモータ | LEBQ-X1 | 50 | 30 | ● | ● | ● |
コントローラレス DCモータ | LEBQ-X31 | 40 | 20 | - | - | ● |
コントローラレス DCモータ | LEBH-X3 | 50 | 30 | - | - | ● |
コントローラレス DCモータ | LEBH-X3 | 63 | 30 | - | - | ● |
コントローラレス DCモータ | LEBH-X3 | 80 | 40 | - | - | ● |
ペルチェ式サーモコン/ラックマウントタイプ HECR
温調機器 » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)温調ライン » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)
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・高スペース効率:19インチラック搭載可能
複数の機器が搭載できるラックマウントで、省スペース化が可能
・温度安定性:±0.01℃~0.03℃
・設定温度範囲:10℃~60℃
・冷却能力:200W、400W、510W、800W、1kW、1.2kW
・消費電力:200W、300W、400W
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度範囲 | 冷却能力 | 温度安定性 | 冷却方式 |
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HECR002-A | 10~60℃ | 200W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 |
HECR004-A | 10~60℃ | 400W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 |
HECR006-A | 10~60℃ | 510W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 |
HECR006L-A | 10~60℃ | 510W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 |
HECR008-A | 10~60℃ | 800W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 |
HECR010-A | 10~60℃ | 1kW | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式空冷 |
HECR008-W | 10~60℃ | 800W | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式水冷 |
HECR012-W | 10~60℃ | 1.2kW | ±0.01~0.03℃ | ペルチェ式水冷 |
欧州Fガス規制対応サーモチラー HRZ-F
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
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・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
・省エネ
冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に
応じてインバータ制御
消費電力:Max65%削減
放熱水量:Max67%削減
・高性能
温度安定性:±0.1℃(負荷安定時)
冷却時間:Max46%短縮(当社比)
・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ-F | -20~40℃ 10~60℃ -20~90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液 清水・脱イオン水(純水) |
サーモチラー/ラックマウントタイプ HRR
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)ラックマウントタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)ラックマウントタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)ラックマウントタイプ
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・ラックに設置したまま作業可能
フロントアクセス:前面から設定、調整、メンテナンスが可能。
・省スペース:19インチラックに複数台搭載
・冷却能力:1.1/1.2/1.8/2.4/3.0/5.1kW(60Hz)
・温度安定性:±0.1℃
・グローバル電源
単相AC100V(50/60Hz)/単相AC115V(60Hz)
単相AC200~230V(50/60Hz)
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRR | 5~35℃ 15~35℃ | 1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/レーザ用デュアルタイプ HRL
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温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)レーザ用デュアルタイプ
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・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
・省スペース/省配線
設置面積22%削減
電源系統:1系統でOK
・省エネルギー
省エネ 消費電力30%削減
・タッチパネルを採用
・電源:三相AC200V(50Hz)
三相AC200~230V(60Hz)
三相AC380〜415V(50/60Hz)
三相AC460~480V(60Hz)
シリーズ | 設定温度範囲 | 冷却能力 | 温度安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRL100 | CH1:5~35℃ CH2:10~40℃ | CH1:9kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW) | CH1:±0.1, CH2:±0.5 | 空冷冷凍式, 水冷冷凍式 | CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水(純水) |
HRL200 | CH1:5~35℃ CH2:10~40℃ | CH1:19kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW) | CH1:±0.1, CH2:±0.5 | 空冷冷凍式, 水冷冷凍式 | CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水(純水) |
HRL300 | CH1:5~35℃ CH2:10~40℃ | CH1:26kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW) | CH1:±0.1, CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水(純水) |
HRL400 | CH1:5~35℃ CH2:10~40℃ | CH1:37kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW) | CH1:±0.1, CH2:±0.5 | 空冷冷凍式 | CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水(純水) |
サーモチラー/インバータタイプ HRSH090
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)インバータタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)インバータタイプ
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・消費電力53%削減
トリプルインバータで抜群の省エネ効果!
・冷却能力:9.5kW(空冷)、11.0kW(水冷)
・温度安定性:±0.1℃
・温度設定範囲:5℃〜40℃
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRSH090 | 5~40℃ | 9.5kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/スタンダードタイプ HRS
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温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)スタンダートタイプ ベーシックタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)スタンダートタイプ ベーシックタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)スタンダートタイプ ベーシックタイプ
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・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。
・コンパクト W377×H615×D500mm、40kg(HRS012/018/024)
・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。
・自己診断機能。
・海外輸出用装置に最適(単相AC200~230V、単相AC100V,115V)
・CEマーキング、ULに適合。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRS012〜060 | 5~40℃ | 1.3kW, 1.9kW, 2.4kW, 3.2kW 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW (60Hzの場合) | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 脱イオン(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
2色表示式デジタルフロースイッチ PFM
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式フロースイッチ/センサノングリース 窒素(N2)対応機器 » フロースイッチ

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・乾燥空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
※PFMシリーズは2026年3月に生産終了予定です。
PF2M7シリーズをご選定願います。
▶詳細はこちら
シリーズ | 定格流量範囲(L/min) |
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PFM | 0.2~10(0.2~5) 0.5~25(0.5~12.5) 1~50(1~25) 2~100(2~50) ( )はCO2の場合 |
電動アクチュエータ 25A-
電動アクチュエータ/電動シリンダ » 環境二次電池対応シリーズ 25A-シリーズ » 電動アクチュエータ

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プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
が必要となります。
詳細はこちら
シリーズ | 型式 | 仕様 |
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電動アクチュエータ | 25A-EQFS | e-Actuatorコントローラ一体型/スライダタイプ/バッテリレス アブソ |
電動アクチュエータ | 25A-EQY | e-Actuatorコントローラ一体型/ロッドタイプ/バッテリレス アブソ |
電動アクチュエータ | 25A-LEKFS | 高剛性高精度スライダタイプ/バッテリレスアブソ JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEKFS□G | 高タクト対応/高剛性高精度スライダタイプ/バッテリレスアブソ JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEKFS | 高剛性高精度スライダタイプ/ACサーボモータ LECS□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEKFS | 高剛性高精度スライダタイプ/ACサーボモータ LECY□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEKFS | 高剛性高精度スライダタイプ/モータレス仕様 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS | スライダタイプ/バッテリレスアブソ JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS | スライダタイプ/インクリメンタル(ステップモータ/サーボモータ) JXC□/LEC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS□G | 高タクト対応/スライダタイプ/バッテリレスアブソ(ステップモータ) JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS□F | 高タクト対応/スライダタイプ/インクリメンタル(ステップモータ) JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS | スライダタイプ/ACサーボモータ LECS□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS | スライダタイプ/ACサーボモータ LECY□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEFS | スライダタイプ/モータレス仕様 |
電動アクチュエータ | 25A-LEJS | 高剛性スライダタイプ/ACサーボモータ LECS□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEJS | 高剛性スライダタイプ/ACサーボモータ LECY□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEJS | 高剛性スライダタイプ/モータレス仕様 |
電動アクチュエータ | 25A-LEY | ロッドタイプ/バッテリレスアブソ JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEY□G | 高タクト対応/ロッドタイプ/バッテリレスアブソ(ステップモータ) JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEYF□ | 高タクト対応/ロッドタイプ/インクリメンタル(ステップモータ) JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEY | ロッドタイプ/インクリメンタル(ステップモータ/サーボモータ) JXC□/LEC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEY | ロッドタイプ/ACサーボモータ LECS□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEY | ロッドタイプ/ACサーボモータ LECY□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEY | ロッドタイプ/モータレス仕様 |
電動アクチュエータ | 25A-LEYG | ガイド付ロッドタイプ/インクリメンタル(ステップモータ/サーボモータ) JXC□/LEC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEYG | ガイド付ロッドタイプ/バッテリレスアブソ JXC□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEYG | ガイド付ロッドタイプ/ACサーボモータ LECS□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEYG | ガイド付ロッドタイプ/ACサーボモータ LECY□対応 |
電動アクチュエータ | 25A-LEYG | ガイド付ロッドタイプ/モータレス仕様 |