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サーモチラー/高機能タイプ HRZ

産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器
産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品

    ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
     半導体プロセス装置に実績多数。
    ・各種安全規格に対応。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • サーモチラー/高機能タイプ HRZ
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW
    検索結果を表示
  • サーモチラー/高機能タイプ HRZ
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRZ-20~40℃
20~90℃
-20~90℃
1kW, 2kW
4kW, 8kW
±0.1℃水冷冷凍式フッ素化液
エチレングリコール水溶液(60%)
清水・脱イオン水(純水)

汎用圧力スイッチ/スナップスイッチ式 ISG

スイッチ/センサ/コントローラ » 機械式圧力スイッチ
シリーズ種類設定圧力範囲
ISG11□, 21□正圧0.02~0.3MPa
ISG12□, 22□正圧0.05~0.7MPa
ISG13□, 23□正圧0.1~1.0MPa
IS2761正圧0.1~1.0MPa
ISG19□, 29□真空圧-10~-100kPa

微差圧センサ PSE550

スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)
  • 2D/3D CAD

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  • 微差圧センサ PSE550
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    PSE550真空圧検索結果を表示
  • 微差圧センサ PSE550
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    PSE550真空圧検索結果を表示
シリーズ種類定格差圧範囲
PSE550真空圧0~2kPa

ヘビーデューティオートドレン ADH

圧縮空気清浄化機器 » オートドレン/差圧計
    ・保守管理が容易。
     配管を外さずにメンテナンスが可能です。
    ・電源不要で無駄なエアの排出がありません。
     フロート式で電源不要、ドレン量に応じて排出されます。
  • 2D/3D CAD

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シリーズ接続口径オートドレン方式
ADH40001/2フロート式

クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD

圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
クリーン/低発塵 » クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
クリーン/低発塵 » 圧縮空気清浄化フィルタシリーズ
ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
    ・中空糸エレメント内蔵。
    ・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時)
    ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
    ・金属ケースタイプ(オーダーメイド)
     ステンレスケース、アルミケース
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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  • クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    SFD100ディスポーザブル
    (エレメント交換不可)
    検索結果を表示
    SFD110ディスポーザブル
    (エレメント交換不可)
    検索結果を表示
    SFD200カートリッジ型
    (エレメント交換可)
    検索結果を表示
シリーズ種類処理流量(ANR)
(一次圧0.7MPa時)
使用圧力ろ過度
SFD100ディスポーザブル
(エレメント交換不可)
~100L/minMAX.1.0MPa0.01μm
(捕集効率:99.99%)
SFD110ディスポーザブル
(エレメント交換不可)
~120L/minMAX.1.0MPa0.01μm
(捕集効率:99.99%)
SFD200カートリッジ型
(エレメント交換可)
~500L/minMAX.1.0MPa0.01μm
(捕集効率:99.99%)

ウォータセパレータ AMG

圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
  • 2D/3D CAD

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  • ウォータセパレータ AMG
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    AMG検索結果を表示
  • ウォータセパレータ AMG
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    AMG検索結果を表示
シリーズ処理空気量 L/min(ANR)管接続口径
AMG300~120001/8~2

冷凍式エアドライヤ IDU □E

圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ
シリーズ定格入口条件処理空気量(m3/min[ANR])50Hz処理空気量(m3/min[ANR])60Hz適用エア
コンプレッサ(kW)
使用
冷媒
管接続口径冷凍機
出力
IDU3E55℃
0.7MPa
0.320.372.2R134a
(HFC)
Rc3/87.5kw未満
IDU4E55℃
0.7MPa
0.520.573.7R134a
(HFC)
Rc1/27.5kw未満
IDU6E55℃
0.7MPa
0.750.825.5R134a
(HFC)
Rc3/47.5kw未満
IDU8E55℃
0.7MPa
1.11.27.5R134a
(HFC)
Rc3/47.5kw未満
IDU11E55℃
0.7MPa
1.51.711R134a
(HFC)
Rc3/47.5kw未満
IDU15E155℃
0.7MPa
2.62.815R134a
(HFC)
Rc17.5kw未満
IDU22E55℃
0.7MPa
3.94.322R407C
(HFC)
R17.5kw未満
IDU37E55℃
0.7MPa
5.76.137R407C
(HFC)
R1 1/27.5kw未満
IDU55E55℃
0.7MPa
8.49.855R407C
(HFC)
R27.5kw未満
IDU75E55℃
0.7MPa
11.012.575R407C
(HFC)
R27.5kw未満

エアタンク AT

圧縮空気清浄化機器 » アフタクーラ/エアタンク
  • 2D/3D CAD

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  • エアタンク AT
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    AT検索結果を表示
シリーズ管接続口径タンク容量(L)
AT1/2~4Bフランジ100~3000

バキュームフロー ZH-X226/-X249/-X338

真空用機器 » バキュームフロー
エアブロー用機器 » エアブロー用機器
    ・圧縮空気の供給により大流量ブロー&バキュームが可能
     ブロー:最大1,550L/min(ANR)
     バキューム:最大880L/min(ANR)
    ・用途例
     吸着搬送、クーラントブローにより切粉飛ばし、水滴の除去
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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シリーズ吸込流量
[L/min(ANR)]
吐出流量
[L/min(ANR)]
空気消費量
[L/min(ANR)]
ZH-X226405700297
ZH-X3388801,550570
ZH-X2498201,160340

協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□-X1□-ASSISTA
for 三菱電機 MELFA ASSISTA 

真空用機器 » 協働ロボット用グリッパ
協働ロボット用グリッパ » 真空グリッパ
    ・圧縮エア供給チューブ1本、電気配線M12コネクタを
     接続するだけで動作可能
    ・真空エジェクタ、エア供給弁、圧力スイッチ、パッドを一体化
    ・角をなくし丸みを持たせた外観形状
    ・豊富なパッドバリエーションで様々なワークに対応
シリーズパッド形状パッド径吸込流量
[L/min(ANR)]
空気消費量
[L/min(ANR)]
ZXP7□-X1□-ASSISTA平形
平形リブ付
べロウ形
薄形
多段べロウ形
2.5段べロウ形
5.5段べロウ形
φ8~φ321757

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