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サーモチラー/高機能タイプ HRZ
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器
産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品
マレーシア・日本のみ限定出荷品

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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) 清水・脱イオン水(純水) |
汎用圧力スイッチ/スナップスイッチ式 ISG
スイッチ/センサ/コントローラ » 機械式圧力スイッチ
シリーズ | 種類 | 設定圧力範囲 |
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ISG11□, 21□ | 正圧 | 0.02~0.3MPa |
ISG12□, 22□ | 正圧 | 0.05~0.7MPa |
ISG13□, 23□ | 正圧 | 0.1~1.0MPa |
IS2761 | 正圧 | 0.1~1.0MPa |
ISG19□, 29□ | 真空圧 | -10~-100kPa |
微差圧センサ PSE550
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)
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・風量管理、フィルタの目詰まり、液面検出等の用途に適応。
・アナログ出力(電圧/電流)
シリーズ | 種類 | 定格差圧範囲 |
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PSE550 | 真空圧 | 0~2kPa |
ヘビーデューティオートドレン ADH
圧縮空気清浄化機器 » オートドレン/差圧計
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・保守管理が容易。
配管を外さずにメンテナンスが可能です。
・電源不要で無駄なエアの排出がありません。
フロート式で電源不要、ドレン量に応じて排出されます。
シリーズ | 接続口径 | オートドレン方式 |
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ADH4000 | 1/2 | フロート式 |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタクリーン/低発塵 » クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
クリーン/低発塵 » 圧縮空気清浄化フィルタシリーズ
ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ

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・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時)
・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
・金属ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) (一次圧0.7MPa時) | 使用圧力 | ろ過度 |
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SFD100 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | ~100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD110 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | ~120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD200 | カートリッジ型 (エレメント交換可) | ~500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
ウォータセパレータ AMG
圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
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・圧縮空気中の水滴を除去します。
・水分除去率:99%
・簡単! お手軽! 空気ラインにつなぐだけで水分を除去!
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シリーズ | 処理空気量 L/min(ANR) | 管接続口径 |
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AMG | 300~12000 | 1/8~2 |
冷凍式エアドライヤ IDU □E
圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ
シリーズ | 定格入口条件 | 処理空気量(m3/min[ANR])50Hz | 処理空気量(m3/min[ANR])60Hz | 適用エア コンプレッサ(kW) | 使用 冷媒 | 管接続口径 | 冷凍機 出力 |
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IDU3E | 55℃ 0.7MPa | 0.32 | 0.37 | 2.2 | R134a (HFC) | Rc3/8 | 7.5kw未満 |
IDU4E | 55℃ 0.7MPa | 0.52 | 0.57 | 3.7 | R134a (HFC) | Rc1/2 | 7.5kw未満 |
IDU6E | 55℃ 0.7MPa | 0.75 | 0.82 | 5.5 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDU8E | 55℃ 0.7MPa | 1.1 | 1.2 | 7.5 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDU11E | 55℃ 0.7MPa | 1.5 | 1.7 | 11 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDU15E1 | 55℃ 0.7MPa | 2.6 | 2.8 | 15 | R134a (HFC) | Rc1 | 7.5kw未満 |
IDU22E | 55℃ 0.7MPa | 3.9 | 4.3 | 22 | R407C (HFC) | R1 | 7.5kw未満 |
IDU37E | 55℃ 0.7MPa | 5.7 | 6.1 | 37 | R407C (HFC) | R1 1/2 | 7.5kw未満 |
IDU55E | 55℃ 0.7MPa | 8.4 | 9.8 | 55 | R407C (HFC) | R2 | 7.5kw未満 |
IDU75E | 55℃ 0.7MPa | 11.0 | 12.5 | 75 | R407C (HFC) | R2 | 7.5kw未満 |
バキュームフロー ZH-X226/-X249/-X338
真空用機器 » バキュームフローエアブロー用機器 » エアブロー用機器
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・圧縮空気の供給により大流量ブロー&バキュームが可能
ブロー:最大1,550L/min(ANR)
バキューム:最大880L/min(ANR)
・用途例
吸着搬送、クーラントブローにより切粉飛ばし、水滴の除去
シリーズ | 吸込流量 [L/min(ANR)] | 吐出流量 [L/min(ANR)] | 空気消費量 [L/min(ANR)] |
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ZH-X226 | 405 | 700 | 297 |
ZH-X338 | 880 | 1,550 | 570 |
ZH-X249 | 820 | 1,160 | 340 |
協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□-X1□-ASSISTA
for 三菱電機 MELFA ASSISTA
真空用機器 » 協働ロボット用グリッパ協働ロボット用グリッパ » 真空グリッパ
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・圧縮エア供給チューブ1本、電気配線M12コネクタを
接続するだけで動作可能
・真空エジェクタ、エア供給弁、圧力スイッチ、パッドを一体化
・角をなくし丸みを持たせた外観形状
・豊富なパッドバリエーションで様々なワークに対応
シリーズ | パッド形状 | パッド径 | 吸込流量 [L/min(ANR)] | 空気消費量 [L/min(ANR)] |
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ZXP7□-X1□-ASSISTA | 平形 平形リブ付 べロウ形 薄形 多段べロウ形 2.5段べロウ形 5.5段べロウ形 | φ8~φ32 | 17 | 57 |