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水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW

産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器　DeviceNet 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
    ・工場内循環水との直接熱交換器。
    ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
    ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
    　半導体プロセス装置に実績多数。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
    ・インバータタイプの選択可能。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
  • 2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • 水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW    		検索結果を表示
  • 水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW    		検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRW20～90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW		±0.3℃水冷却式
（冷凍機なし）		フッ素化液
清水
脱イオン水（純水）
エチレングリコール水溶液（60％）

圧力スイッチ／マイクロスイッチ式 IS3000

スイッチ／センサ／コントローラ » 機械式圧力スイッチ
    ・10mA前後の微小負荷に対応。
    ・ランプ付。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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  • 圧力スイッチ／マイクロスイッチ式 IS3000
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    IS3000正圧検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類設定圧力範囲
IS3000正圧0.1～0.7MPa

小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
製品特長
    ・PSEセンサセットアップツールPSE-ST Series追加 [New]
    ・スイッチ出力仕様
    ・IO-Link対応
    ・アナログ出力（電圧）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    PSE541真空圧検索結果を表示
    PSE543連成圧検索結果を表示
    PSE540正圧検索結果を表示
  • 小形空気圧用圧力センサ／スイッチ PSE54□
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    PSE541真空圧検索結果を表示
    PSE543連成圧検索結果を表示
    PSE540正圧検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類定格圧力範囲
PSE541真空圧0～－101kPa
PSE543連成圧－100～100kPa
PSE540正圧0～1MPa

3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
IO-Link対応機器 » 圧力スイッチ
産業用通信機器／無線システム » 産業用通信機器　IO-Link 対応機器
半導体業界向機器 » 冷却水ライン
製品特長
    ・20A Seriesに微差圧レンジを追加 [New]
    ・M12コネクタ タイプを追加
    ・微圧レンジを追加
    ・R1/8継手一体型 配線下取出し仕様
    ・設定項目の見える化
    ・簡単3ステップ設定
    ・簡単画面切替
    　測定値を見ながら設定可能
    ・ディレー時間：最速1.5ms以下
    ・IO-Link対応
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSE20 (F) ISE20連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20A (F) ISE20A連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド)連成圧検索結果を表示
    ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド)連成圧検索結果を表示
    ZSE20B (F)-(L) ISE20B-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
  • 3画面高精度デジタル圧力スイッチ ZSE20□(F)/ISE20□
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSE20 (F) ISE20連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20A (F) ISE20A連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド)連成圧
    ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド)連成圧
    ZSE20B (F)-(L) ISE20B-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
    ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L)連成圧
    真空圧
    正圧    		検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項　圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　グリーン対応（RoHS）
シリーズ出力形式種類定格圧力範囲保護構造適用流体
ZSE20 (F) ISE201出力連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPaIP40空気
ZSE20A (F) ISE20A2出力、アナログ出力（電圧／電流）連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPaIP40空気
ZSE20AF-X573～580 (オーダーメイド)2出力、アナログ出力（電圧／電流）連成圧−50.0〜50.0Pa、−100.0〜100.0Pa、−200〜200.0PaIP40空気
ZSE20AF-X576～580 (オーダーメイド)2出力、アナログ出力 （電圧／電流）連成圧−500〜500Pa、 −1.000〜1.000kPa、 −2.00〜2.00kPa、 −5.00〜5.00kPa、 −10.00〜10.00kPaIP40空気
ZSE20B (F)-(L) ISE20B-(L)2出力、アナログ出力（電圧／電流）、IO-Link対応、スイッチ1出力連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPaIP65空気
ZSE20C (F)-(L) ISE20C(H)-(L)2出力、アナログ出力（電圧／電流）、IO-Link対応、 スイッチ1出力連成圧
真空圧
正圧		−100.0～100.0kPa、0.0～−101.0kPa、−0.100～1.000MPa、−0.100～2.000MPaIP65汎用流体

クリーンガスフィルタ SF

圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
クリーン／低発塵 » クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
    ・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
    　(SFA100・200・300，SFB100)
    ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
    　(SFB300，SFC100)
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • クリーンガスフィルタ SF
    取扱説明書
    タイプ シリーズ 検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ディスク形    		SFA100・200・300検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB100検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB200検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    ストレート形    		SFB300検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    多段ディスク形    		SFC100検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
タイプシリーズ使用圧力ろ過度
カートリッジタイプ
ディスク形		SFA100・200・300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB200Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		120μm
ディスポーザブルタイプ
ストレート形		SFB300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
ディスポーザブルタイプ
多段ディスク形		SFC100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）

メインラインフィルタ AFF
ミストセパレータ AM
マイクロミストセパレータ AMD 

圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
製品特長
    ・圧縮空気清浄等級：ISO8573
    ・圧力降下低減による処理空気量UPで省エネに貢献
    　処理空気量：14.5m3/min（ANR） 従来品比最大20％向上
    　圧力降下：5kPa以下
    ・軽量：最大52％削減(10.5kg→5.0kg)
    　薄肉ステンレスケース採用により、軽量化を実現。
    ・省スペース・工数削減
    　メインラインフィルタ AFF Seriesは、1台で水滴・固形物を除去。
    　水滴除去フィルタ（ウォータセパレータ AMGシリーズ）の
    　設置が不要になり、省スペースかつ配管工数削減が可能。
    ・エレメント交換時の作業性向上
    　ケースの落下を防止するストッパ機能
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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    2D CAD
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  • メインラインフィルタ AFF
    ミストセパレータ AM
    マイクロミストセパレータ AMD 
    取扱説明書
    種類 シリーズ 検索結果を表示
    メインラインフィルタAFF検索結果を表示
    ミストセパレータAM検索結果を表示
    マイクロミストセパレータAMD検索結果を表示
  • メインラインフィルタ AFF
    ミストセパレータ AM
    マイクロミストセパレータ AMD 
    自己宣言書
    種類 シリーズ 検索結果を表示
    メインラインフィルタAFF検索結果を表示
    ミストセパレータAM検索結果を表示
    マイクロミストセパレータAMD検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　エレメント品番一覧
種類シリーズろ過度（μm）定格流量 （m3/min［ANR］）管接続口径
メインラインフィルタAFF1.0（捕集効率99%）7～14.51, 1 1/2, 2
ミストセパレータAM0.1（捕集効率99%）7～14.51, 1 1/2, 2
マイクロミストセパレータAMD0.01（捕集効率99.9%）7～14.51, 1 1/2, 2

冷凍式エアドライヤ IDF □E/F/D

圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ


    ※冷凍式エアドライヤIDF22E～IDF75Eシリーズは販売を中止いたします。
    　置換機種として、IDF60～90シリーズをご選定いただけるようお願いしま
    　す。
    　販売停止時期
    　IDF22E/IDFA22E: 販売中止済み
    　IDF37E/IDFA37E　2024年３月末予定
    　IDF55E/IDFA55E　2024年９月末予定
    　IDF75E/IDFA75E　2024年９月末予定
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　冷凍式エアドライヤ別置きのご提案
シリーズ定格入口条件処理空気量（m3/min［ANR］）
50Hz		処理空気量（m3/min［ANR］）
60Hz		適用エアコンプレッサ（kW）使用
冷媒		管接続
口径		冷凍機
出力
IDF1E35℃
0.7MPa		0.10.120.75R134a
（HFC）		Rc3/87.5kw未満
IDF2E35℃
0.7MPa		0.20.2351.5R134a
（HFC）		Rc3/87.5kw未満
IDF3E35℃
0.7MPa		0.320.372.2R134a
（HFC）		Rc3/87.5kw未満
IDF4E35℃
0.7MPa		0.520.573.7R134a
（HFC）		Rc1/27.5kw未満
IDF6E35℃
0.7MPa		0.750.825.5R134a
（HFC）		Rc3/47.5kw未満
IDF8E35℃
0.7MPa		1.221.327.5R134a
（HFC）		Rc3/47.5kw未満
IDF11E35℃
0.7MPa		1.651.8211R134a
（HFC）		Rc3/47.5kw未満
IDF15E135℃
0.7MPa		2.83.115R134a
（HFC）		Rc17.5kw未満
IDF100F40℃
0.7MPa		16.018.8100R407C
（HFC）		R27.5kw未満
IDF125F40℃
0.7MPa		20.123.7125R407C
（HFC）		65（2 1/2B）
フランジ		7.5kw未満
IDF150F40℃
0.7MPa		25.030.0150R407C
（HFC）		80（3B）
フランジ		7.5kw未満
IDF190D40℃
0.7MPa		32.038.0190R407C
（HFC）		80（3B）
フランジ		7.5kw未満
IDF240D40℃
0.7MPa		43.050.0240R407C
（HFC）		100（4B）
フランジ		7.5kw未満
IDF370D35℃
0.7MPa		54.065.0370R407C
（HFC）		150（6B）
フランジ		7.5kw以上

水冷式アフタクーラ HAW

圧縮空気清浄化機器 » アフタクーラ/エアタンク
    ・コンプレッサからの高温圧縮空気を40℃以下に冷却し、含まれている水分を効率よく凝縮分離します。
    ・水冷式で周囲が高温多湿で塵埃の多い悪条件下でも安定した性能が得られます。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 水冷式アフタクーラ HAW
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    HAW検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用コンプレッサ処理空気量 L/min（ANR）
HAW2.2～110kW300～18000

真空用フリーマウントシリンダ ZCUK

真空用機器 » 真空システム用関連機器
    ・コンパクトで取付精度の高い角形小形シリンダCUシリーズに真空用通路をロッドに設け真空パッドの取付けを容易にし、省スペースを実現します。
    ・標準真空パッド（ø2～ø50）取付可能。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項
アクチュエータ/共通注意事項　オートスイッチ/共通注意事項
機種選定　バリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズチューブ内径
（mm）		真空パッド経ストローク
（mm）
ZCUK10，16，20，25，30φ2～φ505～50

バキュームフロー ステンレス仕様 ZH□-□-X341

真空用機器 » バキュームフロー
エアブロー用機器 » エアブロー用機器
    ・圧縮空気の供給により大流量ブロー&バキュームが可能。
    ・供給空気量の4倍のブロー流量。
    ・供給空気量の3倍のバキューム流量。
    ・大きな通過径で切屑、ごみ等の吸込みが可能。
    ・メンテナンスフリー。
    ・取付ブラケットも用意。
    ・用途例
    　ブロー：水滴の飛散、切粉の吹飛ばし
    　バキューム：半田煙の吸煙、ペレット・粉体等の材料搬送
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定
特定開発品情報　用途例　グリーン対応（RoHS）

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