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冷凍式エアドライヤ IDU □E
圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ
シリーズ | 定格入口条件 | 処理空気量(m3/min[ANR])50Hz | 処理空気量(m3/min[ANR])60Hz | 適用エア コンプレッサ(kW) | 使用 冷媒 | 管接続口径 | 冷凍機 出力 |
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IDU3E | 55℃ 0.7MPa | 0.32 | 0.37 | 2.2 | R134a (HFC) | Rc3/8 | 7.5kw未満 |
IDU4E | 55℃ 0.7MPa | 0.52 | 0.57 | 3.7 | R134a (HFC) | Rc1/2 | 7.5kw未満 |
IDU6E | 55℃ 0.7MPa | 0.75 | 0.82 | 5.5 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDU8E | 55℃ 0.7MPa | 1.1 | 1.2 | 7.5 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDU11E | 55℃ 0.7MPa | 1.5 | 1.7 | 11 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDU15E1 | 55℃ 0.7MPa | 2.6 | 2.8 | 15 | R134a (HFC) | Rc1 | 7.5kw未満 |
IDU22E | 55℃ 0.7MPa | 3.9 | 4.3 | 22 | R407C (HFC) | R1 | 7.5kw未満 |
IDU37E | 55℃ 0.7MPa | 5.7 | 6.1 | 37 | R407C (HFC) | R1 1/2 | 7.5kw未満 |
IDU55E | 55℃ 0.7MPa | 8.4 | 9.8 | 55 | R407C (HFC) | R2 | 7.5kw未満 |
IDU75E | 55℃ 0.7MPa | 11.0 | 12.5 | 75 | R407C (HFC) | R2 | 7.5kw未満 |
本質安全防爆システム対応 5ポートソレノイドバルブ 51-SY5000/7000/9000
方向制御機器 » 防爆バルブ
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・Ex ia ⅡC T5 (機器検定合格品)
型式検定合格番号:DEK22.0071X
・3種類のコネクタ選択が可能。
L形プラグコネクタ、カバー付L形プラグコネクタ、IP65対応ケーブル付。
・購入時に2種類のバリアから選択、または任意のバリアを選定可能。
※任意のバリアを選定した場合の動作確認はお客様が行ってください。
・マニホールド型式:51-SS5Y5,51-SS5Y7
シリーズ | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) Cv | 消費電力(W) |
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51-SY5000 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | 0.52 |
51-SY7000 | 4.1 | 0.29 | 1.0 | 0.52 |
51-SY9000 | 9.6 | 0.43 | 2.6 | 0.52 |
3ポートソレノイドバルブ V100
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ(電磁弁)-
・消費電力:0.1W(節電回路付)
・コイル温度上昇値:1℃(標準タイプ/節電回路付)
・マニホールド型式:VV100-S41
シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3 C[dm3/( s・bar)] | 流量特性 2→3 b | 流量特性 2→3 Cv | 消費電力(W) | 真空使用可能 |
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V100 | 標準 | 0.037 | 0.11 | 0.008 | 0.35(標準) 0.1(節電回路付) | -100kPa |
V100 | 大流量 | 0.076 | 0.07 | 0.016 | 1 | -100kPa |
V100 | 大流量:Uタイプ | 0.16 | 0.18 | 0.038 | 0.35(節電回路付) | -100kPa |
3ポートソレノイドバルブ VZ100/300/500
方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ(電磁弁)
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・真空使用可能 (VZ100 、VZ300R、VZ500R)
・パイロット弁の排気対策が不要 (集合排気形:VZ300M 、500M)
・セレクタ弁、デバイダ弁としても使用可能 (外部パイロット形:VZ300R、500R)
・マニホールド型式:VV3Z1,VV4Z1,VV3Z3,VV3Z5
※VZ300/500シリーズは2023年4月に生産終了しました。
SYJ500/700シリーズをご選定願います。
シリーズ | 流量特性 2→3(A→P) C[dm3/( s・bar)] | 流量特性 2→3(A→P) b | 流量特性 2→3(A→P) Cv | 消費電力(W) | 真空使用可能 |
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VZ100 | 0.19 | 0.071 | 0.042 | 1.8 | -100kPa |
VZ300 | 1.2 | 0.48 | 0.34 | 1.8 | -100kPa |
VZ500 | 2.7 | 0.34 | 0.69 | 1.8 | -100kPa |
プロセスポンプ クリーンルーム仕様 PA(P)3000
プロセスポンプ(ダイヤフラム式ポンプ) » プロセスポンプ(ダイヤフラム式ポンプ)シリーズ | 駆動方式 | 吐出量 (L/min) | 接液部材質 |
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PAP3310 | 自動運転型 | 1~13 | New PFA (フッ素樹脂) |
PAP3313 | エアオペレート型 | 0.1~9 | New PFA (フッ素樹脂) |
3ポートソレノイドバルブ SY100
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ(電磁弁)
シリーズ | タイプ | 有効断面積 | 消費電力(W) | 真空使用可能 |
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SY100 | 標準 大流量 | 0.14mm2 0.22mm2 | 0.5 | -100kPa |
真空用ドレンセパレータ AMJ
真空用機器 » 真空システム用関連機器
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・真空機器接続ラインに取付けるだけで空気中の水滴を除去。
・真空ポンプやエジェクタ等、吸込み空気中の水滴を除去したいなどといった場合に効果的です。
シリーズ | 接続口径 | 推奨流量L/min (ANR) | 最高使用圧力 (MPa) | 水滴除去率 |
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AMJ | 1/4,3/8,1/2,3/4,1 | 200,300,500 | 1.0 | 90% |
3ポートソレノイドバルブ/パイロット・ポペットタイプ VP300/500/700
方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ(電磁弁)-
・全波整流器内蔵(ACの場合)
・パイロット弁にストレーナ内蔵。
・外部パイロット形は真空使用可能。
・マニホールド型式:VV3P3,VV3P5,VV3P7
シリーズ | 流量特性 2→3(A→P) C[dm3/( s・bar)] | 流量特性 2→3(A→P) b | 流量特性 2→3(A→P) Cv | 消費電力(W) | 真空使用可能 |
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VP300 | 4.2 | 0.23 | 1.0 | 1.55(標準) 0.55(節電回路付) 0.4(低ワット仕様) | -100kPa |
VP500 | 8.9 | 0.20 | 2.1 | 1.55(標準) 0.55(節電回路付) 0.4(低ワット仕様) | -100kPa |
VP700 | 15.3 | 0.22 | 3.7 | 1.55(標準) 0.55(節電回路付) | -100kPa |
定量吐出ポンプ(ソレノイド式) LSP
プロセスポンプ(ダイヤフラムポンプ) » 定量吐出ポンプ-
・1ショット当たり5μLからの定量の液体を
安定吐出する、小型ソレノイド式ダイヤフラムポンプ
・吐出量の調整が可能
・吐出量安定性:繰返し精度±1%※
※5~15μL時±2%、当社測定条件による
・シャットオフ機能
・自吸式で呼び水不要
シリーズ | 接続方式 | 接液部材質 ボディ | 接液部材質 ダイヤフラム/チェック弁 | 使用流体 |
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LSP | 直接配管形 ベース配管形 | PEEK PP | EPDM FKM | 水 脱イオン水(純水) 希釈液 洗浄液 |
真空ポンプ用エキゾーストクリーナ AMV
真空用機器 » 真空システム用関連機器
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・真空ポンプから排気される油煙を99.5%捕捉。
・油煙のない快適な作業環境を実現。
・小流量で高濃度の油煙でも99.5%捕捉分離。
・真空ポンプからの排気ダクトが不要。
シリーズ | 接続口径 | 最大処理流量 【L/min(ANR)】 | オイルミスト分解率 | ろ過度 |
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AMV | 1,11/2,2,3BJIS 10K FFフランジ 4BJIS 10K FFフランジ | 360~16000 | 99.5%以上 | 0.3μm (捕集効率95%) |