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5ポートソレノイドバルブ  10-SY

クリーン／低発塵 » 方向制御機器

    クリーンシリーズ



    ※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
    　新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
    　使用をご検討ください。
安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ音速コンダクタンス：Cシリンダ駆動サイズ消費電力 (W)
10-SY30001.1dm3(s・bar)φ400.35
10-SY50002.8dm3(s・bar)φ630.35
10-SY70004.5dm3(s・bar)φ800.35
10-SY900010dm3(s・bar)φ1000.35

立型サクションフィルタ FHIA

油圧機器 » 油圧用機器
    ・ポンプとリザーバタンクの中間に取付けて、主にポンプを保護するために使用する立型のサクションフィルタ。
    ・差圧表示器、差圧表示スイッチ（CB-□□H）により目詰まり状態の検知が可能。
  • 2D/3D CAD

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    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　油圧フィルタ/共通注意事項　ガイド/INDEX　差圧表示スイッチ　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径定格流量 L/min使用圧力エレメントμm
（公称ろ過粒度）
FHIA1/2B～4B30～1300負圧マイクロメッシュ：
74，105，149

薄形油圧シリンダ CHQ/CHDQ

油圧機器 » 油圧シリンダ
    ・アルミボディで軽量、コンパクト。
    ・オートスイッチの取付可能。
    ・オートスイッチ付となしの長手方向の寸法は同一。
    ・オートスイッチ付（CHDQシリーズ：CHDQ、CHDQW）
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　油圧シリンダ/共通注意事項　オートスイッチ/共通注意事項　バリエーション　技術資料
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ呼び圧力（MPa）ボディ材質作動方式チューブ内径（mm）
CHQ3.5アルミ複動片ロッド20，32，40，50
63，80，100
CHQW3.5アルミ複動両ロッド20，32，40，50
63，80，100

電－空ポジショナ／スマートポジショナ IP8□00/IP8□01

計装用補助機器 » ポジショナ
    ・保護構造：JISF8007 IP65（IEC 60529準拠）
    ・モニターリング機能
    ・防爆構造
    　　電-空ポジショナ：
    　　　TIIS耐圧防爆構造（ExdⅡBT5）
    　　　ATEX本質安全防爆構造（Ⅱ2G Ex h ibⅡCT5/T6 Gb）
    　　スマートポジショナ：
    　　　ATEX本質安全防爆構造（Ⅱ1G Ex h iaⅡCT4/T5/T6 Ga）
    ・HART通信機能（スマートポジショナ）
安全上のご注意　オートメーション例　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズタイプ管接続口径
(Rc, NPT, G)		供給空気圧力
(MPa)		入力電流
電-空ポジショナIP8000レバータイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
電-空ポジショナIP8100ロータリタイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
スマートポジショナIP8001レバータイプ1/40.14～0.7DC4～20mA
スマートポジショナIP8101ロータリタイプ1/40.3～0.7DC4～20mA

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGD

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・小流量のろ過（MAX.60L/min）
    ・帯電防止仕様（FGDE、FGDF）選択可能。
  • 2D/3D CAD

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  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGD検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　選定方法　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPaMAX.80

真空ロッドレスシリンダ CYV

高真空機器 » 真空ロッドレスシリンダ
半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
    ・真空環境内（1.3×10-4Pa）での搬送に使用可能なエアシリンダ。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 真空ロッドレスシリンダ CYV
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    CYV検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図／各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力｛Pa（ABS）｝チューブ内径（mm）
CYV大気～1.3×10-415，32

300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

高真空機器 » スリットバルブ
半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
製品特長
    ・長寿命：300万回（常温時）
    ・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
    ・メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ・安全対策
    　メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

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  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

大気開放弁付真空バルブ XLJ

高真空機器 » その他
製品特長
    ・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XLJ検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25，40

アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
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シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

流体制御用機器 » 小型2･3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
プロセスガス用機器　AP Tech » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
半導体業界向機器 » N2ガス／エア供給ライン
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

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