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ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
半導体業界向機器 » N2ガス／エア供給ライン
    ・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
    ・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）

    注）ストレート型にサイズ16はありません。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XMA/XYA検索結果を表示
    XMC/XYC検索結果を表示
    XMD/XYD検索結果を表示
    XMH/XYH検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYCエア
オペレート		ベローズシール複動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYDエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		25～80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～50 注）

真空用ドレンセパレータ AMJ

真空用機器 » 真空システム用関連機器
    ・真空機器接続ラインに取付けるだけで空気中の水滴を除去。
    ・真空ポンプやエジェクタ等、吸込み空気中の水滴を除去したいなどといった場合に効果的です。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　バリエーション　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径推奨流量L/min
（ANR）		最高使用圧力
（MPa）		水滴除去率
AMJ1/4，3/8，1/2，3/4，1200，300，5001.090％

協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□01-X1
for Universal Robots 

真空用機器 » 協働ロボット用グリッパ
協働ロボット用グリッパ » 真空グリッパ
製品特長
    ・Plug and Playですぐ使える
    　URCap対応 簡単プログラミング
    ・圧縮エア供給チューブ1本、電気配線M8コネクタを接続するだけで動作可能
    ・真空エジェクタ、エア供給弁・破壊弁、圧力センサ、パッドを一体化
    ・取付規格：ISO9409-1-50-4-M6準拠
  • 2D/3D CAD

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  • 協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□01-X1
    for Universal Robots 
    取扱説明書
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    ZXP7□01-X1検索結果を表示
  • 協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□01-X1
    for Universal Robots 
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    ZXP7□01-X1検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径吸込流量
［L/min(ANR)]		空気消費量
［L/min(ANR)]
ZXP7□01-X1平形
平形リブ付
べロウ形
薄形
多段べロウ形
2.5段べロウ形
5.5段べロウ形		φ8～φ321757

吸着跡対策パッド ZP2

真空用機器 » 真空パッド
製品特長
    ・吸着跡をきらうワークに対応
    ・ゴムによるワークへの吸着跡を抑えたパッド
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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　真空パッド/共通注意事項 　バリエーション 　機種選定　標準：取付金具Ass'y（P121-130）　高剛性：取付金具Ass'y（P255-263）　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径(mm)
ZP2平形φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16,
φ20, φ25, φ32, φ40, φ50
ZP2高剛性(平形リブ付)φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125
ZP2樹脂アタッチメント適応パッド：φ6, φ8, φ10, φ13,
φ16, φ20, φ25, φ32

サクションフィルタ ZFC050

真空用機器 » エアサクションフィルタ
    ・直接取付可能な小形サイズのサクションフィルタ。
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径
IN側		接続口径
OUT側		ろ過度
(μm)
ZFC050M5×0.8，φ6 バーブM5×0.83μm，20μm（公称）

3ポートソレノイドバルブ／パイロット・ポペットタイプ VP300/500/700

方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
製品特長
    ・全波整流器内蔵（ACの場合）
    ・パイロット弁にストレーナ内蔵。
    ・外部パイロット形は真空使用可能。
    ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
2→3(A→P)
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3(A→P)
b		流量特性
2→3(A→P)
Cv		消費電力（W）真空使用可能
VP3004.20.231.01.55（標準）
0.55（節電回路付）
0.4（低ワット仕様）		－100kPa
VP5008.90.202.11.55（標準）
0.55（節電回路付）
0.4（低ワット仕様）		－100kPa
VP70015.30.223.71.55（標準）
0.55（節電回路付）		－100kPa

真空用圧力計 GZ46

サイレンサ／エキゾーストクリーナ／ブローガン／圧力計 » 圧力計
    ・真空用圧力計。
    ・圧力レンジ：－100～200kPa
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シリーズ大きさ（外径）接続ねじ
GZ46φ42.5R1/8，1/4

真空ポンプ用エキゾーストクリーナ AMV

真空用機器 » 真空システム用関連機器
    ・真空ポンプから排気される油煙を99.5%捕捉。
    ・油煙のない快適な作業環境を実現。
    ・小流量で高濃度の油煙でも99.5%捕捉分離。
    ・真空ポンプからの排気ダクトが不要。
  • 2D/3D CAD

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グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最大処理流量
【L/min（ANR）】		オイルミスト分解率ろ過度
AMV1，11/2，2，3BJIS 10K FFフランジ
4BJIS 10K FFフランジ		360～1600099.5％以上0.3μm
（捕集効率95％）

協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□12-X1□/ZXP7□11-X1□
for 安川電機 人協働ロボットMOTOMAN-HC 

真空用機器 » 協働ロボット用グリッパ
協働ロボット用グリッパ » 真空グリッパ
製品特長
    ・Plug and Playですぐ使える
    　「YASKAWA Plug and Play Kit対応」簡単プログラミング
    　※適用グリッパ：ZXP7□12-X1□
    ・圧縮エア供給チューブ1本、電気配線は内蔵ケーブルを接続するだけで動作可能
    ・真空エジェクタ、エア供給弁・破壊弁、圧力スイッチ、パッドを一体化
    ・ロボット内蔵のエア配管、電気配線を使用し外部への配線、配管取りまわし不要。ワークや作業者に干渉なし
    ・角をなくし丸みを持たせた外観形状
    ・豊富なパッドバリエーションで様々なワークに対応
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  • 協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□12-X1□/ZXP7□11-X1□
    for 安川電機 人協働ロボットMOTOMAN-HC 
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    ZXP7□12-X1□
    ZXP7□11-X1□    		検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径吸込流量
［L/min(ANR)]		空気消費量
［L/min(ANR)]
ZXP7□12-X1□
ZXP7□11-X1□		平形
平形リブ付
べロウ形
薄形
多段べロウ形
2.5段べロウ形
5.5段べロウ形		φ8～φ321757

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