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5ポートソレノイドバルブ SY3000/5000/7000/9000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
45G型マニホールド
（フラットケーブル PCワイヤリング対応）
掲載カタログはこちら
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・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
・消費電力：0.1W（節電回路付）
・アルミ一体型マニホールド、DINレール、分割形マニホールドなど豊富なマニホールドオプション。
・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7，SS5Y9
・スペーサ形減圧弁に対応
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SY3000 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY5000 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY7000 | 4.5 | 0.27 | 1.1 | φ80 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY9000 | 10 | 0.29 | 2.5 | φ100 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY300 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY500 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
デジタル圧力スイッチ（レギュレータ内蔵タイプ） ISE35
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
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・モジュラタイプ取付可能。
・ARM10/11シリーズ取付可能。
・圧力表示単位切換可能。
・チャタリング防止機能付。
・省電力モード。
| シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
|---|---|---|
| ISE35 | 正圧 | -0.1 ～1MPa |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT317/325
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・直動式ソレノイドバルブ。
・ユニバーサルポーティングタイプ。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV317，VVT340，VVT341
※VT325(ACコイル)は2024年9月に生産終了予定です。
VP54□シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT317 | 2.6 | 0.34 | 0.67 | 6.0 | －101.2kPa |
| VT325 | 6.1 | 0.37 | 1.6 | 12 | －101.2kPa |
5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ S0700
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・豊富な集中配線方式のバリエーション。
・スリムコンパクトマニホールド：設置スペース45％減※
高さ20mm低減※
※分割形マニホールド比較
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式：SS0751，SS0750
※EX250/500シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 1→4/2（P→A/B） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 1→4/2（P→A/B） b | 流量特性 1→4/2（P→A/B） Cv | シリンダ 駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| S0700 | 0.39 | 0.39 | 0.11 | φ25 | 0.35 |
パイロット式ダイヤフラム作動形・高圧用2ポートソレノイドバルブ VXH
流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
安全上のご注意 流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項 [流体別]機種選定ガイド [業界別用途]機種選定ガイド 電磁弁流量特性 汎用ソレノイドバルブ一覧表 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） 極性・配線資料
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VXH | N.C. | 1/4～1/2 | 10 |
3色表示水用デジタルフロースイッチ PF3W
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式フロースイッチ／センサ
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・3画面4チャンネルフローモニタ PFG200 Series対応
・3色表示・2 画面表示の流量センサ。
・温度センサ一体化。
・40%小型化（弊社PF2W比較）
・IP65対応、ノングリース仕様。
・使用流体温度0～90℃
・塩化ビニル製配管対応タイプ：脱イオン水（純水）、薬液に対応。
・IO-Link（オーダーメイド）
| シリーズ | 定格流量範囲（L/min） |
|---|---|
| PF3W | 0.5～4 2～16 5～40 10～100 50～250 |
コントローラ ステップデータ入力タイプ LECA6
電動アクチュエータ／電動シリンダ » コントローラ／ドライバ
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・アクチュエータ仕様を設定出荷（アクチュエータ、コントローラセット販売）
・簡単設定イージーモード、詳細設定ノーマルモード。
・ティーチングボックス、コントローラ設定ソフト。
※LECP6は生産終了しました。詳細はこちら
| タイプ | シリーズ | 対応モータ | 電源電圧 | パラレル入出力 入力点数 | パラレル入出力 出力点数 | 位置決め パターン 点数 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ステップデータ 入力タイプ | LECA6 | サーボモータ （DC24V） | DC24V ±10% | 11点 (フォトカプラ絶縁) | 13点 (フォトカプラ絶縁) | 64点 |
