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真空・破壊ユニット VQD1000-V
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）真空用機器 » 真空破壊弁ユニット
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・0603チップ対応。
・応答速度：13msec（500mm時※）/18.5msec（1000mm時※）
・オーバーシュートのない滑らかなワークの離脱。
・真空・正圧の切換タイミングの調整不要。
・破壊エアの絞り回路不要。
・サクションフィルタ：ZFC050（オーダーメイド）
※ユニットからワークまでの距離。
3ポートソレノイドバルブ／ユニットマニホールドバルブ VV061
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・バルブ、基板、ベース、管継手をコンパクトに一体化。
・新発想のユニットマニホールド。
・6mm幅バルブ、V060シリーズを搭載。
| シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|
| VV061 | 標準 大流量 | 有効断面積：0.11mm2 有効断面積：0.21mm2 | 0.55（標準） 0.23（省電力回路付） | －100kPa |
3ポートソレノイドバルブ SYJ300/500/700
方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| SYJ300 | 0.36 | 0.31 | 0.089 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） | －100kPa |
| SYJ500 | 1.2 | 0.48 | 0.34 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） | －100kPa |
| SYJ700 | 2.7 | 0.34 | 0.69 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） | －100kPa |
コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・JSY1000用スペーサ形エジェクタの高消音サイレンサ追加 [New]
・流量UPでサイズダウン可能。
省スペース・軽量化・大流量化に貢献します。
・消費電力：0.1W(節電回路付)、0.4W(標準)
・コネクタ接続マニホールド
・4位置デュアル3ポート弁を準備
・マニホールド型式：JJ5SY1，JJ5SY3，JJ5SY5
・真空ユニットZK2 Seriesとの連結が可能
| シリーズ | 流量特性 4/2→3/5（A/B→E） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→3/5（A/B→E） b | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|
| JSY1000 | 0.91 | 0.48 | φ40 | 0.2（節電回路付） |
| JSY3000 | 2.77 | 0.27 | φ50 | 0.4（標準） 0.1（節電回路付） |
| JSY5000 | 6.59 | 0.22 | φ80 | 0.4（標準） 0.1（節電回路付） |
e-Actuator かんたん制御コントローラ一体型/ガイド付ロッドタイプ EQYG□H
電動アクチュエータ／電動シリンダ » e-Actuator
| 仕様 | シリーズ | ストローク （mm） | 押当て推力 （N） | 速度 （mm/s） | ねじリード （mm） |
|---|---|---|---|---|---|
| バッテリレス アブソ （ステップモータDC24V） | EQYG16□H | 30〜200 | MAX.154 | MAX.700 | 2.5,5,10 |
| バッテリレス アブソ （ステップモータDC24V） | EQYG25□H | 30～300 | MAX.511 | MAX.900 | 3,6,12,20 |
| バッテリレス アブソ （ステップモータDC24V） | EQYG32□H | 30～300 | MAX.796 | MAX.850 | 4,8,16,24 |
共通給気形レギュレータ AR□M(K)-D
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラ接続対応機器モジュラF.R.L. » モジュラ接続対応機器
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・用途に合わせて異なる圧力の供給が可能
OUTポートを背面に設置
・省スペース・配管工数削減
・分岐配管が可能
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|
| AR20M-D〜AR40M-D | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 0.02～0.2 |
| AR20MK-D〜AR40MK-D 逆流機能付 | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.1～0.85 0.1～0.2 |
e-Actuator かんたん制御コントローラ一体型/ロッドタイプ EQY□H
電動アクチュエータ／電動シリンダ » e-Actuator
| 仕様 | シリーズ | ストローク （mm） | 押当て推力 （N） | 速度 （mm/s） | ねじリード （mm） |
|---|---|---|---|---|---|
| バッテリレス アブソ （ステップモータDC24V） | EQY16□H | 30〜300 | MAX.154 | MAX.700 | 2.5,5,10 |
| バッテリレス アブソ （ステップモータDC24V） | EQY25□H | 30～400 | MAX.511 | MAX.900 | 3,6,12,20 |
| バッテリレス アブソ （ステップモータDC24V） | EQY32□H | 30～500 | MAX.796 | MAX.900 | 4,8,16,24 |
