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MRユニット（ミストセパレータ付減圧弁） AMR
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|
| AMR | 1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 |
マイクロミストセパレータレギュレータ 10-/21-AWD-D
クリーン／低発塵 » モジュラF.R./圧力制御機器
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力 (MPa) | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|---|
| 10-AWD20～40-D | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 | 0.01 |
| 21-AWD20～40-D | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 | 0.01 |
小型マニホールドレギュレータ ARM5
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
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・幅：14mm
・2種類の取付方法が選択可能。
ダイレクト取付、DINレール取付。
・逆流機能標準対応。
・ワンタッチ管継手サイズの選択が可能。
| シリーズ | 型式 | 特 長 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|---|---|
| ARM5A | マニホールド 仕様 | 集中給気 | φ4，φ6，φ8 | φ5/32，φ1/4，φ5/16 | 0.05～0.7 |
| ARM5B | マニホールド 仕様 | 個別給気 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
| ARM5S | 単体仕様 | 個別給気 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
フィルタレギュレータ AW-D
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.モジュラF.R.L. » フィルタレギュレータ
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・フィルタとレギュレータが一体化し、省スペース・省配管化が可能
・操作しやすいハンドル形状
アンロック時に指がかかりやすい形状
・視認性&耐環境性向上
2層構造透明ケースガードでケース全周をカバー
視認性向上：360°
・互換性を確保
ブラケット、セットナットは新旧共通
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） | ろ過度（μm） |
|---|---|---|---|
| AW20～60-D | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 0.02～0.2 | 5 |
小型マニホールドレギュレータ ARM10/11
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
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・配置条件に応じた自由な選択が可能。
ハンドル位置：上、正面、下
配管方向：上、下
ワンタッチ管継手種類：ストレート、エルボ
・ワンタッチ管継手種類、サイズの変更が可能。
・逆流機能標準対応。
・デジタル圧力スイッチ対応。
| シリーズ | 型式 | 特 長 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|---|---|
| ARM11A | マニホールド 仕様 | 集中給気 | φ4～φ10 | φ5/32～φ3/8 | 0.05～0.7 |
| ARM11B | マニホールド 仕様 | 個別給気 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
| ARM10 | 単体仕様 | 標準 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
| ARM10F | 単体仕様 | ハンドル正面 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
逆流機能付フィルタレギュレータ AW□K-D
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.モジュラF.R.L. » フィルタレギュレータ
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・フィルタとレギュレータが一体化し、省スペース・省配管化が可能
・逆流機能付は、出口側の空気圧を早く排気させる機構を内蔵
・操作しやすいハンドル形状
アンロック時に指がかかりやすい形状
・視認性&耐環境性向上
2層構造透明ケースガードでケース全周をカバー
視認性向上：360°
・互換性を確保
ブラケット、セットナットは新旧共通
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） | ろ過度（μm） |
|---|---|---|---|
| AW20K～60K-D | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 0.02～0.2 | 5 |
マニホールド形減圧弁 ARM1000/2000
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
| シリーズ | 特 長 | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|
| ARM1000， 2000 | マニホールド （共通IN、個別IN） 直動式リリーフタイプ 逆流機構付 | 1/8 | 0.05～0.7 |
ミストセパレータレギュレータ AWM-D
マイクロミストセパレータレギュレータ AWD-D
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.モジュラF.R.L. » フィルタレギュレータ
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・透明ケースガードを採用
2層構造でケース全周をカバーし、耐環境性向上(ボディサイズ30以上)
視認性向上：360°
・軽量：最大40.7%削減（0.24kg）
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） | ろ過度（μm） |
|---|---|---|---|
| AWM20～40-D | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 0.05～0.2 | 0.3 |
| AWD20～40-D | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 0.05～0.2 | 0.01 |
5ポートソレノイドバルブ SY3000/5000/7000/9000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
45G型マニホールド
（フラットケーブル PCワイヤリング対応）
掲載カタログはこちら
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・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
・消費電力：0.1W（節電回路付）
・アルミ一体型マニホールド、DINレール、分割形マニホールドなど豊富なマニホールドオプション。
・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7，SS5Y9
・スペーサ形減圧弁に対応
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SY3000 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY5000 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY7000 | 4.5 | 0.27 | 1.1 | φ80 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY9000 | 10 | 0.29 | 2.5 | φ100 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY300 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY500 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
デジタル圧力スイッチ（レギュレータ内蔵タイプ） ISE35
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
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・モジュラタイプ取付可能。
・ARM10/11シリーズ取付可能。
・圧力表示単位切換可能。
・チャタリング防止機能付。
・省電力モード。
| シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
|---|---|---|
| ISE35 | 正圧 | -0.1 ～1MPa |
