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大型真空ユニット ZR
真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
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・エジェクタシステム／真空ポンプシステムに対応。
・モジュール設計による必要機能・組合せが可能。
・ダブルソレノイドによる自己保持機能。
・マニホールド化可能。
・デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能。
| シリーズ | ノズル径 (mm) | 最大吸込流量 ［L/min(ANR)] | 空気消費量 ［L/min(ANR)] | 適用パッド目安 (mm) | 真空ポンプシステムシリーズ |
|---|---|---|---|---|---|
| ZR110 | 1.0 | 25 | 53 | 2～32 | ZR100 |
| ZR113 | 1.3 | 42 | 86 | 2～50 | ZR100 |
| ZR115 | 1.5 | 63 | 102 | 2～100 | ZR100 |
| ZR118 | 1.8 | 74 | 155 | 2～125 | ZR100 |
| ZR120 | 2.0 | 95 | 194 | 2～150 | ZR100 |
5ポートエアオペレートバルブ VPA4□50/4□70
方向制御機器 » エアオペレートバルブ
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ |
|---|---|---|---|---|
| VPA4□50 | 21 | 0.28 | 5.6 | φ140 |
| VPA4□70 | 有効断面積： 300mm2 | 有効断面積： 300mm2 | 有効断面積： 300mm2 | φ300 |
3ポートソレノイドバルブ VQ100
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・高速で安定した応答性。
・銅系不可仕様。
・豊富な電気結線方式。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV3Q11，VV3Q12
| シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3 (2→1) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (2→1) b | 流量特性 2→3 (2→1) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VQ100 | 標準 大流量 | 0.083 0.14 | 0.28 0.25 | 0.021 0.036 | 1.0 0.5 (低ワットタイプ) | -100kPa |
4ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VQD1000
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・主弁に摺動パッキンがない構造により、禁油処理仕様（特注品）が可能。
外部への排気もなし。
・高速で安定した応答性。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV4QD12，VV4QD15
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VQD1000 | 0.27 | 0.28 | 0.07 | φ25 | 2.0 |
4ポートソレノイドバルブ／カセットタイプマニホールド SJ1000/2000/3000/4000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・ベースレス構造の低背形カセットタイプ。
・ボディ幅6.5mm（SJ1000）、7.5mm（SJ2000）、
10mm（SJ3000A）、15mm（SJ4000）による省スペースタイプ。
・SJシリーズ5サイズのバルブ混載を実現
・コネクタ接続により連数の増減、バルブの交換が容易。
・ワンサイドソレノイド。
・4位置デュアル3ポート弁仕様あり。
・マニホールド型式：SS5J1, SS5J2, SS5J3, SS5J4
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→3/5 （A/B→E） C［dm3/ （s・bar）］ | 流量特性 4/2→3/5 （A/B→E） b | 流量特性 4/2→3/5 （A/B→E） Cv | シリンダ駆動 サイズ 速度： 100㎜/sの時 | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SJ1000 | 0.32 | 0.33 | 0.08 | ø32 | 0.55（標準） 0.23（節電回路付） |
| SJ2000 | 0.36 | 0.13 | 0.08 | ø40 | 0.55（標準） 0.23（節電回路付） |
| SJ3000 | 0.56 | 0.11 | 0.12 | ø50 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） |
| SJ3000A 大流量タイプ | 0.76 | 0.19 | 0.21 | ø63 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） |
| SJ4000 | 2.61 | 0.20 | 0.68 | ø80 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） |
小型真空エジェクタ ZA
真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
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・全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g
・可動部設置可能。
・パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上。
・マニホールド化可能。
| シリーズ | ノズル径 (mm) | 最大吸込流量 ［L/min(ANR)] | 空気消費量 ［L/min(ANR)] | 適用パッド目安 (mm) |
|---|---|---|---|---|
| ZA105 | 0.5 | 4 | 12 | 2～13 |
| ZA107 | 0.7 | 8 | 28 | 2～20 |
3ポートエアオペレートバルブ SYJA300/500/700
方向制御機器 » エアオペレートバルブ
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv |
|---|---|---|---|
| SYJA300 | 0.36 | 0.31 | 0.089 |
| SYJA500 | 1.2 | 0.48 | 0.34 |
| SYJA700 | 2.7 | 0.34 | 0.69 |
絞り弁付真空破壊弁 SJ3A6
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・スプール弁を2本内蔵。
・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
・幅10mm（SJ3000シリーズと同等サイズ）
・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
・真空側、破壊側それぞれに交換可能なフィルタを内蔵。
・4ポートソレノイドバルブSJ2000/3000との混載可能（オーダーメイド）
・マニホールド型式：SS3J3
小型マニホールドレギュレータ ARM5
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
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・幅：14mm
・2種類の取付方法が選択可能。
ダイレクト取付、DINレール取付。
・逆流機能標準対応。
・ワンタッチ管継手サイズの選択が可能。
| シリーズ | 型式 | 特 長 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|---|---|
| ARM5A | マニホールド 仕様 | 集中給気 | φ4，φ6，φ8 | φ5/32，φ1/4，φ5/16 | 0.05～0.7 |
| ARM5B | マニホールド 仕様 | 個別給気 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
| ARM5S | 単体仕様 | 個別給気 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VK300
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・ユニバーサルポーティングタイプ。
・VK3000マニホールドに混合取付け可能。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV3K3
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VK300 | 0.80 | 0.27 | 0.19 | 4 | －101.2kPa |
