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アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ
高真空機器 » 高真空バルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
半導体業界向機器 » N2ガス/エア供給ライン

シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質 | フランジ サイズ |
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XLAQ | エア オペレート | ベローズシール | 単動 (N.C.) | ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L | 16~50 |
XLDQ | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 (N.C.) | ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L | 40,50 |
汎用流体用圧力センサ PSE56□
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 圧力スイッチ
半導体業界向機器 » 冷却水ライン

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・接液部SUS316L
・IP65
・幅広い流体に適応。
・アナログ出力(電圧/電流)
・低リーク。フェースシール、コンプレッション継手の選択可能。
シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
---|---|---|
PSE561 | 真空圧 | 0~-101kPa |
PSE563 | 連成圧 | -100~100kPa |
PSE564 | 正圧 | 0~500kPa |
PSE560 | 正圧 | 0~1MPa |
薄形デジタル圧力スイッチ ZSE10(F)/ISE10
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ一体型)半導体業界向機器 » 冷却水ライン
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・薄形9.8mm
・縦方向設置スペース約1/2
(ZSE/ISE30A比較)
・最大10台まで同時コピー可能。
・3ステップ設定。
シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
---|---|---|
ZSE10F | 連成圧 | -100.0~100kPa |
ZSE10 | 真空圧 | 0.0~-101.0kPa |
ISE10 | 正圧 | -0.100~1.000MPa |
協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□4□-X1
for オムロン、TECHMAN ROBOT Inc. TM/TM Sシリーズ
真空用機器 » 協働ロボット用グリッパ協働ロボット用グリッパ » 真空グリッパ
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・Plug and Playですぐ使える
TMComponent対応 簡単プログラミング
・圧縮エア供給チューブ1本、電気配線M8コネクタを接続するだけで動作可能
・真空エジェクタ、エア供給弁・破壊弁、圧力センサ、パッドを一体化
・取付規格:ISO9409-1-50-4-M6準拠
シリーズ | パッド形状 | パッド径 | 吸込流量 [L/min(ANR)] | 空気消費量 [L/min(ANR)] |
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ZXP7□41-X1 ZXP7□42-X1 | 平形 平形リブ付 べロウ形 薄形 多段べロウ形 2.5段べロウ形 5.5段べロウ形 | φ8~φ32 | 17 | 57 |
マグネットグリッパ MHM
真空用機器 » 特殊パッドロータリアクチュエータ/エアチャック » マグネットグリッパ
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・磁石で重量物を吸着・保持が可能
・保持力:最大1000N(ø50、ワーク厚さ6mm時)
・真空を使用せず、鋼板を搬送
穴あき、凹凸および複雑な形状ワークに対応。
・保持力(吸着力)の調整が可能
・落下防止:エア遮断時もワークの保持が可能
シリーズ | 最大保持力 N(ワーク厚さmm) |
---|---|
MHM-16 | 50(6) |
MHM-25 | 200(6) |
MHM-32 | 500(6) |
MHM-50 | 1000(6) |
真空パッド/高剛性パッド ZP3E
真空用機器 » 真空パッド-
・吸着姿勢の安定化と離脱性が向上
・パッド形状:平形溝付、ベロウ形リブ・溝付
・取付接続:おねじ、めねじ
・真空取出方向:縦、横
・真空取付出口:おねじ、めねじ
・バッファ:なし、あり
[バッファストローク(mm):10, 30, 50]
安全上のご注意 真空用機器/共通注意事項 真空パッド/共通注意事項 バリエーション 機種選定 標準:取付金具Ass'y(P237-240) 首振り:取付金具Ass'y(P241-244) 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS)
シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
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ZP3E | 平形溝付 | φ32, φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125 |
ZP3E | 平形溝付 (首振りタイプ) | φ32, φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125 |
ZP3E | ベロウ形 リブ・溝付 | φ32, φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125 |
ZP3E | ベロウ形 リブ・溝付 (首振り) | φ32, φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125 |
薄型真空ユニット ZQ□A
真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステムIO-Link対応機器 » 真空マニホールド
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・省エネ機能付真空用圧力スイッチ
空気消費量:90%削減(当社測定条件による)
消費電力:60%削減【0.4W←1W(従来品)】
真空破壊圧力:0MPa~【0MPa~←0.3MPa~(従来品)】
コピー機能:設定工数削減・設定値の入力ミス低減
・エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
・IO-Link対応
エジェクタシリーズ | ノズル径 (mm) | 最大吸込流量 [L/min(ANR)] | 空気消費量 [L/min(ANR)] | 適用パッド目安 (mm) | 真空ポンプシステムシリーズ |
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ZQ05 | 0.5 | 5 | 15 | 2~13 | ZQ000□ |
ZQ07 | 0.7 | 10 | 25 | 2~20 | ZQ000□ |
ZQ10 | 1.0 | 22 | 47 | 2~32 | ZQ000□ |
3ポートソレノイドバルブ SY100
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ(電磁弁)
シリーズ | タイプ | 有効断面積 | 消費電力(W) | 真空使用可能 |
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SY100 | 標準 大流量 | 0.14mm2 0.22mm2 | 0.5 | -100kPa |
小形空気圧用圧力センサ PSE54□-X2
ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 圧力スイッチ
シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
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PSE541-X2 | 真空圧 | 0~-101kPa |
PSE543-X2 | 連成圧 | -100~100kPa |
PSE540-X2 | 正圧 | 0~1MPa |