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非接触チャック XT661

真空用機器 » 特殊パッド
半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
製品特長
    ・ワークの非接触搬送をアシスト
    ・ワーク吸引可能距離：10mm
    ・2種のタイプを用意
    　サイクロンタイプ：高リフト力：最大44Ｎ
    　ベルヌーイタイプ：把持時のワーク振幅：±0.01mm以下
  • 2D/3D CAD

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    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

真空パッド/長円形パッド ZP/ZP2

真空用機器 » 真空パッド
    ・長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
    ・パッド形状：長円平形
    ・取付接続：おねじ、めねじ
    ・真空取出方向：縦、横
    ・真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
    ・バッファ：なし、あり
    　バッファストローク（mm）：[ZP] 6, 10, 15, 20, 25
    　バッファストローク（mm）：[ZP2] 10, 20, 30, 40, 50
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　真空パッド/共通注意事項 　バリエーション 　機種選定　ZP：取付金具Ass'y（P189-194）　ZP2：取付金具Ass'y（P195-197）　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径(mm)
ZP長円平形2×4, 3.5×7, 4×10
ZP2長円平形3.5×7,
4×10, 4×20, 4×30,
5×10, 5×20, 5×30,
6×10, 6×20, 6×30,
8×20, 8×30

真空用フィルタ AFJ

真空用機器 » 真空システム用関連機器
真空用機器 » エアサクションフィルタ
製品特長
    ・真空機器のトラブルを未然に防止！
    ・ろ過度：5,40,80μm
    ・大流量：max.660L/min（ANR）
    ・エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能
    ・水滴除去が可能
    ・透明ケースガードでケース全周をカバー
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径推奨流量L/min
（ANR）		ろ過度
AFJ1/8，1/4，3/8，1/2180，380，6605，40，80

直線形真空エジェクタ ZU□A

真空用機器 » 真空エジェクタ
製品特長
    ・小型・軽量
    　外形寸法：ø10.4、重さ：3.9g、全長：52mm
    ・ポート接続口径
    　ø4,ø6ワンタッチ管継手、Rc1/8めねじ、ø5/32"
    ・到達真空圧力(kPa)
    　Sタイプ：-90、-87、-85
    　Lタイプ：-48、-40
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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  • 直線形真空エジェクタ ZU□A
    取扱説明書
    シリーズ ノズル径
    (mm)    		 検索結果を表示
    ZU03□A0.3検索結果を表示
    ZU04□A0.4検索結果を表示
    ZU05□A0.5検索結果を表示
    ZU07□A0.7検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　バリエーション　グリーン対応（RoHS）
シリーズノズル径
(mm)		最大吸込流量
［L/min(ANR)]
Sタイプ		最大吸込流量
［L/min(ANR)]
Lタイプ		空気消費量
［L/min(ANR)]		適用パッド目安
(mm)
ZU03□A0.31.83.44.22〜8
ZU04□A0.43.25.87.72〜10
ZU05□A0.5713142〜13
ZU07□A0.71116282〜20

フリーマウントシリンダ CU/CDU

エアシリンダ » コンパクトエアシリンダ
製品特長
    ・シリンダの多面直接取付が可能な省スペースシリンダ。
    ・オートスイッチ付（CDUシリーズ：CDU、CDUW、CDUK、CDUKW、CDU-A、ZCDUK）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • フリーマウントシリンダ CU/CDU
    取扱説明書
    形式 シリーズ 作動方式 検索結果を表示
    標準形CU複動片ロッド検索結果を表示
    標準形CU単動（押・引）検索結果を表示
    標準形CUW複動両ロッド検索結果を表示
    ロッド回り止め形CUK複動片ロッド検索結果を表示
    ロッド回り止め形CUK単動（押・引）検索結果を表示
    ロッド回り止め形CUKW複動両ロッド検索結果を表示
    ロングストローク標準形CU複動片ロッド検索結果を表示
    ロングストローク
    ロッド回り止め形    		CUK複動片ロッド検索結果を表示
    エアクッション付CU-A複動片ロッド検索結果を表示
    真空用ZCUK複動片ロッド
  • フリーマウントシリンダ CU/CDU

    オーダーメイド組合せ型式表示方法はこちらをご参照ください。

    ※製品個別オーダーメイド仕様については、各製品カタログをご参照ください。
    型 式 名 称 ダウンロード
    -XB6 オーダーメイド 耐熱シリンダ（－10～150℃） PDF
    -XB7 オーダーメイド 耐寒シリンダ（－40～70℃） PDF
    -XB9 オーダーメイド 低速シリンダ（10～50mm/s） PDF
    -XB13 オーダーメイド 低速シリンダ（5～50mm/s） PDF
    -XC8 オーダーメイド 可変行程シリンダ／押出し調整形 PDF
    -XC19 オーダーメイド 中間ストローク（スペーサ対応） PDF
    -XC22 オーダーメイド パッキン類フッ素ゴム PDF
    -XC34 オーダーメイド 回り止めプレートにワーク取付用ねじ付（ロッド先端突出なし） PDF
安全上のご注意　アクチュエータ/共通注意事項　オートスイッチ/共通注意事項　オートスイッチ取付および移動方法　機種選定・技術資料　早見選定表　簡易特注　オーダーメイド　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
形式シリーズ作動方式チューブ内径（mm）
標準形CU複動片ロッド6，10，16，20，25，32
標準形CU単動（押・引）6，10，16，20，25，32
標準形CUW複動両ロッド6，10，16，20，25，32
ロッド回り止め形CUK複動片ロッド6，10，16，20，25，32
ロッド回り止め形CUK単動（押・引）6，10，16，20，25，32
ロッド回り止め形CUKW複動両ロッド6，10，16，20，25，32
ロングストローク標準形CU複動片ロッド6，10，16，20，25，32
ロングストローク
ロッド回り止め形		CUK複動片ロッド6，10，16，20，25，32
エアクッション付CU-A複動片ロッド20，25，32
真空用ZCUK複動片ロッド10，16，20，25，32

3ポートソレノイドバルブ V100

方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
製品特長
    ・消費電力：0.1W（節電回路付）
    ・コイル温度上昇値：1℃（標準タイプ／節電回路付）
    ・マニホールド型式：VV100-S41
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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    2D CAD
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  • 3ポートソレノイドバルブ V100
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    V100標準検索結果を表示
    V100大流量検索結果を表示
    V100大流量：Uタイプ検索結果を表示
  • 3ポートソレノイドバルブ V100
    自己宣言書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    V100標準検索結果を表示
    V100大流量検索結果を表示
    V100大流量：Uタイプ検索結果を表示
  • 3ポートソレノイドバルブ V100
    マニホールド仕様書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    V100標準検索結果を表示
    V100大流量検索結果を表示
    V100大流量：Uタイプ
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズタイプ流量特性
2→3
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3
b		流量特性
2→3
Cv		消費電力（W）真空使用可能
V100標準0.0370.110.0080.35（標準）
0.1（節電回路付）		－100kPa
V100大流量0.0760.070.0161－100kPa
V100大流量：Uタイプ0.160.180.0380.35（節電回路付）－100kPa

3ポートソレノイドバルブ VZ100/300/500

方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
    ・真空使用可能 (VZ100 、VZ300R、VZ500R)
    ・パイロット弁の排気対策が不要 (集合排気形：VZ300M 、500M)
    ・セレクタ弁、デバイダ弁としても使用可能 (外部パイロット形：VZ300R、500R)
    ・マニホールド型式：VV3Z1，VV4Z1，VV3Z3，VV3Z5
    ※VZ300/500シリーズは2023年4月に生産終了しました。
    　SYJ500/700シリーズをご選定願います。
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
2→3(A→P)
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3(A→P)
b		流量特性
2→3(A→P)
Cv		消費電力（W）真空使用可能
VZ1000.190.0710.0421.8-100kPa
VZ3001.20.480.341.8-100kPa
VZ5002.70.340.691.8-100kPa

絞り弁付真空破壊バルブ SY3A□R SY5A□R

方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
真空用機器 » 真空破壊弁ユニット
    ・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
    ・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
    ・同一マニホールドバルブに標準バルブと混載可能。
    　※単独EXH.スペーサ使用時
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ
SY3A□R
SY5A□R

真空用ウォータセパレータ AMJ-D

真空用機器 » 真空システム用関連機器
製品特長
    ・真空ライン中の水滴を除去
    　真空用機器の故障を未然に防止
    ・質量：最大30%削減(AMJ40：0.42kg←AMJ4000：0.6kg)
    ・水滴除去率：99%以上
    ・2層構造で優れた耐環境性
    　透明ケースガードでケース全周をカバー
    　優れた視認性 ： 360°
  • 2D/3D CAD

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  • 真空用ウォータセパレータ AMJ-D
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    AMJ-D検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径推奨流量L/min
（ANR）		使用圧力範囲水滴除去率
AMJ-D1/4，3/8，1/2，3/4，1200，350，500−100〜0kPa99%

小型直動2ポートソレノイドバルブ VDW／禁油（オプション）

ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 流体制御用2・3ポート ソレノイドバルブ
製品特長
    ・空気・中真空・水用
    ・ボディ材質：Al、樹脂（PPS）、黄銅、SUS
    ・ワンタッチ管継手付（樹脂ボディ）を用意
    ・IP65
    ・禁油（オプション）
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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機器選定・流量特性　バリエーション/一覧表　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径
VDW10/20N.C.φ3.2, φ4, φ6, M5, 1/8φ1～φ3.2

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