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常時閉型高真空電磁弁 XSA
流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
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・最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
・リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力：最大25％削減
・質量：最大18％削減 0.5kg→0.41kg
| シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
小型直動2ポートソレノイドバルブ VDW
流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ
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・空気・中真空・水用。
・ボディ材質：Al、樹脂（PPS）、黄銅、SUS
・ワンタッチ管継手付（樹脂ボディ）を用意。
・IP65
| シリーズ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8 | φ1～φ3.2 |
直動形/パイロット形2ポートソレノイドバルブ JSX/JSX□
流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
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・パイロット形蒸気タイプJSXP Series追加 New
・ステンレス製コイルカバーを採用し、耐環境性能向上
【保護構造IP67/NEMA4X※】※DIN形ターミナルはIP65
・省スペース
小型：バルブ容積 25% 削減（従来比）
軽量：30% 削減（従来比）
・省エネ
コイルの力10％向上（従来比）、消費電力14％削減（従来比）
・リード線 360°取出し可能
・屋外環境での耐候性向上
| シリーズ | タイプ | 弁形式 | 管接続口径 | オリフィス径（mmφ） |
|---|---|---|---|---|
| JSX | 直動形 | N.C.／N.O. | 1/8，1/4，3/8 | 1.6～7.1 |
| JSX□□U | 直動形 大流量/省電力タイプ | N.C. | 1/8，1/4，3/8 | 2.4～7.1 |
| JSX□□V | 直動形真空タイプ | N.C. | 1/8，1/4，3/8 | 1.6～7.1 |
| JSX□□H | 直動形高圧タイプ | N.C. | 1/4，3/8 | 3.2 |
| JSX□□S | 直動形蒸気タイプ | N.C. | 1/4，3/8 | 5.6，7.1 |
| JSXM | 直動形モジュラ取付形 | N.C. | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 3.2，4 |
| JSXD | パイロット形 | N.C／N.O. | 1/4，3/8，1/2，3/4，1， 1 1/4，1 1/2，2，32A，40A，50A | 10～50 |
| JSXP | 蒸気タイプ | N.C. | 3/8，1/2，3/4，1，
1 1/4， 1 1/2，2，32A，40A，50A | 15～50 |
| JSXZ | 差圧ゼロパイロット形 | N.C. | 1/4，3/8，1/2，3/8，1/2，3/4，1 | 10～25 |
小形空気圧用圧力センサ PSE53□
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
| シリーズ | 種類 | 定格圧力範囲 |
|---|---|---|
| PSE531 | 真空圧 | 0～－101kPa |
| PSE533 | 連成圧 | －101～101kPa |
| PSE532 | 正圧 | 0～101kPa |
| PSE530 | 正圧 | 0～1MPa |
ワンタッチ管継手 KQ2
管継手＆チューブ » 汎用管継手
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・真空－100kPa～使用可能。
・ボディ形状：全51機種
・ねじ部材質／表面処理（有orなし）：2種
・選べる表面処理：黄銅（めっきなし）、黄銅＋無電解ニッケルめっき
・適用チューブ外径
真円形
ミリ： ø2, ø3.2, ø4, ø6, ø8, ø10, ø12, ø16
インチ：ø1/8'', ø5/32'', ø3/16'', ø1/4'', ø5/16'', ø3/8'', ø1/2''
長円形
ミリ：ø3.2, ø4, ø6
インチ： ø1/8'', ø5/32'', ø3/16''
・接続ねじ
メートル：M3, M5, M6
R,Rc ：1/8, 1/4, 3/8, 1/2
G：1/8, 1/4, 3/8, 1/2
NPT：10-32UNF, 1/16, 1/8, 1/4, 3/8, 1/2
Uni：1/8, 1/4, 3/8, 1/2
・シール方式
シール剤/ガスケットシール
パッキンシール
ガスケットシール（Uniねじ）
| シリーズ | リリースブッシュ形状 | サイズ | 接続ねじ |
|---|---|---|---|
| KQ2 | 長円形 | ミリ、インチ | M，R，Rc，G，NPT，Uni |
| KQ2 | 真円形 | ミリ、インチ | M，R，Rc，G，NPT，Uni |
吸着プレート SP
真空用機器 » 真空システム用関連機器
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・薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応。
吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません。
・高い加工精度。
・大きな吸着力。
| シリーズ | 外形 | 吸着部サイズ | 焼結金属エレメント粒径 | 吸引ポート |
|---|---|---|---|---|
| SP | 長方形、正方形 | □50×50mm 、□100×100mｍ、□150×150mm □200×200mm、□250×250mm、□300×300mm | φ0.3（球体） | 1/8 |
協働ロボット用真空グリッパ ZXP7□21-X1
for ファナック、CRXシリーズ
真空用機器 » 協働ロボット用グリッパ協働ロボット用グリッパ » 真空グリッパ
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・Plug and Playですぐ使える
・FANUC CRXプラグインソフト対応
・圧縮エア供給チューブ1本、電気配線M8コネクタを接続するだけで動作可能
・真空エジェクタ、エア供給弁・破壊弁、圧力センサ、パッドを一体化
・取付規格：ISO9409-1-50-4-M6準拠
| シリーズ | パッド形状 | パッド径 | 吸込流量 ［L/min(ANR)] | 空気消費量 ［L/min(ANR)] |
|---|---|---|---|---|
| ZXP7□21-X1 | 平形 平形リブ付 べロウ形 薄形 多段べロウ形 2.5段べロウ形 5.5段べロウ形 | φ8～φ32 | 17 | 57 |
ベルヌーイグリッパ ZNC
真空用機器 » 特殊パッド
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・薄布、フィルム、基板等の吸着搬送が可能
・省エネ 最大79％削減(リフト力に対する空気消費量の比較)
・高リフト力：65N
従来比10.3倍(ZNC80：65N ← 従来品：6.3N)
・3種のボディ材質：アルミ、樹脂、ステンレス
・アタッチメント
ストッパ付：ワークの横滑りを防止
振動抑制カバー付：薄物ワークの振動音を低減
| シリーズ | 材質 | サイズ | アタッチメント |
|---|---|---|---|
| ZNC | アルミ 樹脂 ステンレス | ø20, ø30, ø40, ø60, ø80 | ストッパ付 振動抑制カバー付 |
真空パッド/基本形パッド ZP
真空用機器 » 真空パッド
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・12サイズ、6種類のパッド形状
用途に応じた取付金具の選択が可能
・パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
・取付接続：おねじ、めねじ
・真空取出方向：縦、横
・真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ：なし、あり
［バッファストローク（mm）：6, 10, 15, 20, 25, 30, 40, 50］
| シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
|---|---|---|
| ZP | 平形 | φ2, φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | 平形リブ付 | φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | 平形(首振り) | φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | ベロウ形 | φ6, φ8, φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | 薄形 | φ10, φ13, φ16 |
| ZP | 薄形リブ付 | φ10, φ13, φ16 |
| ZP | 深形 | φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40 |
