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サーモチラー(循環液温調装置)
サーモチラー/スタンダードタイプ HRS
![]() |
・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500mm、40kg(HRS012/018/024) ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200~230V、単相AC100V,115V) ・CEマーキング、ULに適合。 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRS012〜060 | 5~40℃ |
1.3kW, 1.9kW, 2.4kW, 3.2kW 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW (60Hzの場合) |
±0.1℃ |
空冷冷凍式 水冷冷凍式 |
清水 脱イオン(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/スタンダードタイプHRS
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRS012〜060 |
|
サーモチラー/耐環境仕様 HRS-R
![]() |
・粉塵・飛沫水環境に対応
・電装部保護等級:IP54 ・金属パネル 外装部は全面金属パネル ステンレスパネルの選択が可能(オプション) ・大容量タンク(12L)の選択が可能(オプション) ・周囲温度:5~45℃ |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRS-R | 5~40℃ |
1.9kW, 2.9kW, 5kW (60Hzの場合) |
±0.1℃ | 空冷冷凍式 |
清水 エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/耐環境仕様HRS-R
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRS-R |
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サーモチラー/スタンダードタイプ HRS090
![]() |
・軽量・コンパクト
・冷却能力:9kW ・温度安定性:±0.5℃ ・設定温度範囲:5~35℃ ・最高使用周囲温度:45℃ ・電源:三相AC200~230V、AC380~415V |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRS090 | 5~35℃ | 9kW(60Hzの場合) | ±0.5℃ |
空冷冷凍式 水冷冷凍式 |
清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/スタンダードタイプHRS090
シリーズ | ダウンロード |
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HRS090 |
|
サーモチラー/スタンダードタイプ HRS100/150
![]() |
・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能
・電源はEU・アジア・オセアニア・北米・中南米に対応可能 ・静音設計70dB(A) ・屋外設置:IPX4 ・小型・省スペース ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
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HRS100 HRS150 |
5〜35℃ |
9.5kW, 14.5kW (60Hzの場合) |
±1.0℃ |
空冷冷凍式 水冷冷凍式 |
清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/スタンダードタイプ HRS100/150
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRS100 HRS150 |
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サーモチラー/スタンダードタイプ HRS200
![]() |
・3相 AC380~415V(50Hz)、3相 AC460~480V(60Hz)
・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能 ・屋外設置:IPX4 ・小型・省スペース |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRS200 | 5〜35℃ | 20.5kW | ±1.0℃ | 空冷冷凍式 |
清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/スタンダードタイプHRS200
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRS200 |
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サーモチラー/インバータタイプ HRSH090
![]() |
・消費電力53%削減
トリプルインバータで抜群の省エネ効果! ・冷却能力:9.5kW(空冷)、11.0kW(水冷) ・温度安定性:±0.1℃ ・温度設定範囲:5℃〜40℃ ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
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HRSH090 | 5~40℃ | 9.5kW | ±0.1℃ |
空冷冷凍式 水冷冷凍式 |
清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/インバータタイプHRSH090
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRSH090 |
|
サーモチラー/インバータタイプ HRSH
![]() |
・トリプルインバータで抜群の省エネ効果!
・屋外設置:防滴型(IPX4) ・最高使用周囲温度 45℃ ・最低使用周囲温度 -20℃(空冷式の場合) ・温度安定性 ±0.1℃(負荷安定時) ・省スペース、軽量280kg(25kWタイプ) ・CEマーキング、ULに適合 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
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HRSH | 5~35℃ |
10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW |
±0.1℃ |
空冷冷凍式 水冷冷凍式 |
清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/インバータタイプ HRSH
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRSH |
|
サーモチラー/ベーシックタイプ HRSE
![]() |
・トリプルコントロールで大きな省エネ!
消費電力33%省エネ ・小型・軽量 32kg (AC100V仕様) ・メンテナンスフリー:マグネットポンプ ・静音設計:55dB(A) ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRSE | 10~30℃ |
1.2kW, 1.6kW, 2.2kW (60Hzの場合) |
±2.0℃ | 空冷冷凍式 |
清水 エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/ベーシックタイプHRSE
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRSE |
|
サーモチラー/レーザ用冷凍式デュアルタイプ HRL
![]() |
・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
・省スペース/省配線 設置面積22%削減 電源系統:1系統でOK ・省エネルギー 省エネ 消費電力30%削減 ・タッチパネルを採用 ・電源:三相AC380〜415V(50/60Hz) 三相AC460~480V(60Hz) |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRL100 HRL200 HRL300 |
CH1:15~25℃ CH2:20~40℃ |
CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW(最大1.5kW) |
CH1:±0.1 CH2:±0.5 |
空冷冷凍式 |
CH1:清水 CH2:清水、脱イオン水(純水) |
サーモチラー/レーザ用冷凍式デュアルタイプHRL
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRL100 HRL200 HRL300 |
|
サーモチラー/ラックマウントタイプ HRR
![]() |
・ラックに設置したまま作業可能
フロントアクセス:前面から設定、調整、メンテナンスが可能。 ・省スペース:19インチラックに複数台搭載 ・冷却能力:1.1/1.2/1.8/2.4/3.0/5.1kW(60Hz) ・温度安定性:±0.1℃ ・グローバル電源 単相AC100V(50/60Hz)/単相AC115V(60Hz) 単相AC200~230V(50/60Hz) ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRR |
5~35℃ 15~35℃ |
1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW | ±0.1℃ |
空冷冷凍式 水冷冷凍式 |
清水 エチレングリコール水溶液(15%) |
サーモチラー/ラックマウントタイプHRR
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRR |
|
サーモチラー/高機能タイプ HRZ
![]() |
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRZ |
-20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ |
1kW, 2kW 4kW, 8kW |
±0.1℃ | 水冷冷凍式 |
フッ素化液 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(60%) |
サーモチラー/高機能タイプHRZ
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRZ |
|
サーモチラー/高機能インバータタイプ HRZ
![]() |
・HRZシリーズの高機能に加え、DCインバータコンプレッサ採用で、省エネルギーを達成。
・広い温度範囲、冷却能力範囲を1台でカバー。 ・イノベーションサイクルの短い半導体装置などに対応し、プロセス条件の変化に柔軟に 対応可能。 ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRZ |
-20~90℃ 10~60℃ |
10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 |
フッ素化液 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(60%) |
サーモチラー/高機能インバータタイプHRZ
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRZ |
|
デュアルサーモチラー/高機能インバータタイプ HRZD
![]() |
・1台のチラーで2系統を個別に温調可能。
・ダブルインバータ:DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。 ・省スペース:設置面積23%削減。 ・省配線・省配管・省工数:電源ケーブル1本、放熱水配管は1系統。 ・SEMI規格適合、CEマーキング。 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRZD | -30~90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 |
フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) |
デュアルサーモチラー/高機能インバータタイプHRZD
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRZD |
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水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW
![]() |
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
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シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRW | 20~90℃ |
2kW, 8kW 15kW, 30kW |
±0.3℃ |
水冷却式 (冷凍機なし) |
フッ素化液 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(60%) |
水冷却式サーモチラー/高機能タイプHRW
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
HRW |
|
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