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製品情報 » WEBカタログ » 温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）

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方向制御機器
1. パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
2. パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
3. 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
4. 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)
5. エアオペレートバルブ
6. メカニカルバルブ/中継機器
7. フィンガバルブ/ハンドバルブ/残圧抜き3ポート弁
8. ブローガン
9. パワーバルブ
10. ISOバルブ
11. 防爆バルブ
エアシリンダ
1. 標準形エアシリンダ（丸形）
2. 標準形エアシリンダ（角形カバー）
3. コンパクトエアシリンダ
4. 耐環境仕様シリンダ
5. フローティングジョイント／ロッドエンド
6. エアハイドロユニット
7. メカジョイント式ロッドレスシリンダ
8. マグネット式ロッドレスシリンダ
9. テーブル付シリンダ
10. ガイド付シリンダ（MGシリーズ）
11. ガイド付シリンダ（CXシリーズ）
12. ファインロックシリンダ
13. ロック付シリンダ／エンドロック付シリンダ
14. 特殊シリンダ
15. クランプシリンダ
16. ピンシフトシリンダ
17. ストッパシリンダ
18. 計測シリンダ
19. バルブ付エアシリンダ
20. ISOシリンダ
21. ショックアブソーバ
22. オートスイッチ
23. アクチュエータ位置センサ
24. シリンダスピードチェッカー
ロータリアクチュエータ/エアチャック
1. ロータリアクチュエータベーンタイプ
2. ロータリアクチュエータラックピニオンタイプ
3. エアチャック（平行開閉形）
4. エアチャック（支点開閉形）
5. オートスイッチ
電動アクチュエータ/電動シリンダ
1. カードモータ
2. バッテリレスアブソリュートエンコーダタイプ
3. スライダタイプ
4. ロッドタイプ／ガイド付ロッドタイプ
5. スライドテーブル
6. ミニチュア
7. ロータリテーブル
8. グリッパ
9. コントローラ／ドライバ
10. 環境
11. モータレス仕様
12. 電動アクチュエータ・シリンダ
13. オーダーメイド
真空用機器
1. 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
2. 真空エジェクタ
3. 真空破壊弁ユニット
4. エアサクションフィルタ
5. 真空パッド
6. 特殊パッド
7. サクションアシストバルブ
8. バキュームフロー
9. 真空レギュレータ
10. 真空システム用関連機器
圧縮空気清浄化機器
1. アフタクーラ/エアタンク
2. エアドライヤ
3. 圧縮空気清浄化フィルタ
4. オートドレン／差圧計
モジュラF.R.L./圧力制御機器
1. モジュラF.R.L.
2. レギュレータ
3. 電空レギュレータ
4. 比例弁
5. 増圧弁
潤滑機器
1. 潤滑機器
管継手＆チューブ
1. 汎用管継手
2. 汎用管継手（Sカプラー／マルチコネクタ）
3. 特殊環境用管継手
4. 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
5. チューブ
6. チューブ（特殊環境用チューブ）
7. チューブ (フッ素樹脂／クリーン)
8. 付属関連機器
駆動制御機器
1. 汎用スピードコントローラ
2. 低速制御用スピードコントローラ
3. 特殊環境用スピードコントローラ
4. 特殊機能スピードコントローラ
5. 工具操作形スピードコントローラ
6. 省エアスピードコントローラ／エアセービングバルブ
7. 駆動制御関連機器
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計
1. サイレンサ
2. エキゾーストクリーナ
3. ブローガン
4. 圧力計
スイッチ/センサ/コントローラ
1. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
2. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
3. 機械式圧力スイッチ
4. 電子式フロースイッチ／センサ
5. 機械式フロースイッチ
6. コントローラ
静電気対策機器/
イオナイザー(除電機器)
1. 静電気対策機器/イオナイザー（除電機器）
流体制御用機器
1. 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
2. 2･3ポートソレノイドバルブ
3. 5.0MPa対応2･3ポートソレノイドバルブ
4. 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
5. クーラント用バルブ
6. 水性・溶剤系流体用バルブ
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
1. 薬液用バルブ
2. 管継手／ニードルバルブ
3. チューブ
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
1. プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
温調機器
1. サーモチラー（循環液温調装置）
2. サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
3. 空気温調機
プロセスガス用機器
1. プロセスガス用機器
高真空機器
1. 高真空バルブ
2. その他
3. スリットバルブ
4. 真空ロッドレスシリンダ
工業用フィルタ/焼結金属エレメント
1. 工業用フィルタ
2. 焼結金属エレメント
計装用補助機器
1. ポジショナ
2. 減圧弁
3. リレー／バルブ
4. 電ー空変換器
5. アクチュエータ
6. 検出変換器
7. ソレノイドバルブ
8. 配管材
油圧機器
1. 油圧シリンダ
2. 油圧用機器

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サーモチラー（循環液温調装置）

サーモチラー／スタンダードタイプ HRS

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。
・レーザ加工機／分析装置／LCD製造装置／金型温調など幅広い用途に実績多数。
・コンパクト　W377×H615×D500mm、40kg（HRS012/018/024）
・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。
・自己診断機能。
・海外輸出用装置に最適（単相AC200～230V、単相AC100V,115V）
・CEマーキング、ULに適合。

※貸出サンプルをご用意しています。
　最寄りの営業所へお申し付けください。
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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRS012〜060	5～40℃	1.3kW, 1.9kW, 2.4kW, 3.2kW 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW （60Hzの場合）	±0.1℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水脱イオン（純水）エチレングリコール水溶液（15％）

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HRS012〜060

サーモチラー/耐環境仕様 HRS-R

	・粉塵・飛沫水環境に対応・電装部保護等級：IP54 ・金属パネル　外装部は全面金属パネル　ステンレスパネルの選択が可能（オプション）・大容量タンク（12L）の選択が可能（オプション）・周囲温度：5～45℃

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRS-R	5～40℃	1.9kW, 2.9kW, 5kW （60Hzの場合）	±0.1℃	空冷冷凍式	清水エチレングリコール水溶液（15％）

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HRS-R

サーモチラー／スタンダードタイプ HRS090

	・軽量・コンパクト・冷却能力：9kW ・温度安定性：±0.5℃ ・設定温度範囲：5～35℃ ・最高使用周囲温度：45℃ ・電源：三相AC200～230V、AC380～415V

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRS090	5～35℃	9kW（60Hzの場合）	±0.5℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（15％）

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HRS090

サーモチラー／スタンダードタイプ HRS100/150

	・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能・電源はEU・アジア・オセアニア・北米・中南米に対応可能・静音設計70dB（A）・屋外設置：IPX4 ・小型・省スペース ※貸出サンプルをご用意しています。　最寄りの営業所へお申し付けください。　営業所一覧

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRS100 HRS150	5〜35℃	9.5kW, 14.5kW （60Hzの場合）	±1.0℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（15％）

サーモチラー／スタンダードタイプ HRS100/150

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HRS100 HRS150

サーモチラー／スタンダードタイプ HRS200

	・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz) ・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能・屋外設置：IPX4 ・小型・省スペース

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRS200	5〜35℃	20.5kW	±1.0℃	空冷冷凍式	清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（15％）

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HRS200

サーモチラー／インバータタイプ HRSH090

	・消費電力53%削減　トリプルインバータで抜群の省エネ効果！・冷却能力：9.5kW（空冷）、11.0kW（水冷）・温度安定性：±0.1℃ ・温度設定範囲：5℃〜40℃ ※貸出サンプルをご用意しています。　最寄りの営業所へお申し付けください。　営業所一覧

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRSH090	5～40℃	9.5kW	±0.1℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（15％）

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HRSH090

サーモチラー／インバータタイプ HRSH

・トリプルインバータで抜群の省エネ効果！
・屋外設置：防滴型（IPX4）
・最高使用周囲温度 45℃
・最低使用周囲温度 -20℃（空冷式の場合）
・温度安定性 ±0.1℃（負荷安定時）
・省スペース、軽量280kg（25kWタイプ）
・CEマーキング、ULに適合

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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRSH	5～35℃	10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW	±0.1℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（15％）

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HRSH

サーモチラー／ベーシックタイプ HRSE

	・トリプルコントロールで大きな省エネ！　消費電力33%省エネ・小型・軽量 32kg （AC100V仕様）・メンテナンスフリー：マグネットポンプ・静音設計：55dB（A） ※貸出サンプルをご用意しています。　最寄りの営業所へお申し付けください。　営業所一覧

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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRSE	10～30℃	1.2kW, 1.6kW, 2.2kW （60Hzの場合）	±2.0℃	空冷冷凍式	清水エチレングリコール水溶液（15％）

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HRSE

サーモチラー/レーザ用冷凍式デュアルタイプ HRL

	・1台のチラーで2系統を個別に温調可能・省スペース/省配線　設置面積22%削減　電源系統：1系統でOK ・省エネルギー　省エネ消費電力30%削減・タッチパネルを採用・電源：三相AC380〜415V（50/60Hz）　　　　三相AC460～480V（60Hz）

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRL100 HRL200 HRL300	CH1:15～25℃ CH2:20～40℃	CH1:9kw,19kW,26kW CH2:1.0kW(最大1.5kW)	CH1:±0.1 CH2:±0.5	空冷冷凍式	CH1:清水 CH2:清水、脱イオン水（純水）

サーモチラー/レーザ用冷凍式デュアルタイプHRL

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HRL100 HRL200 HRL300

サーモチラー／ラックマウントタイプ HRR

・ラックに設置したまま作業可能
　フロントアクセス：前面から設定、調整、メンテナンスが可能。
・省スペース：19インチラックに複数台搭載
・冷却能力：1.2/1.8/2.4/3.0kW（60Hz）
・温度安定性：±0.1℃
・グローバル電源
　単相AC100V（50/60Hz）/単相AC115V（60Hz）
　単相AC200～230V（50/60Hz）

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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRR	10～35℃	1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW	±0.1℃	空冷冷凍式水冷冷凍式	清水エチレングリコール水溶液（15％）

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HRR

サーモチラー／高機能タイプ HRZ

	・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ　セス装置に実績多数。・各種安全規格に対応。・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。 ※貸出サンプルをご用意しています。　最寄りの営業所へお申し付けください。　営業所一覧

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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRZ	－20～40℃ 20～90℃ －20～90℃	1kW, 2kW 4kW, 8kW	±0.1℃	水冷冷凍式	フッ素化液清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（60％）

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HRZ

サーモチラー／高機能インバータタイプ HRZ

・HRZシリーズの高機能に加え、DCインバータコンプレッサ採用で、省エネルギーを達成。
・広い温度範囲、冷却能力範囲を1台でカバー。
・イノベーションサイクルの短い半導体装置などに対応し、プロセス条件の変化に柔軟に
　対応可能。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRZ	－20～90℃ 10～60℃	10kW	±0.1℃	水冷冷凍式	フッ素化液清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（60％）

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HRZ

デュアルサーモチラー／高機能インバータタイプ HRZD

	・1台のチラーで2系統を個別に温調可能。・ダブルインバータ：DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。・省スペース：設置面積23％削減。・省配線・省配管・省工数：電源ケーブル1本、放熱水配管は1系統。・SEMI規格適合、CEマーキング。

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シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRZD	－30～90℃	9.5kW×2	±0.1℃	水冷冷凍式	フッ素化液エチレングリコール水溶液（60％）

デュアルサーモチラー／高機能インバータタイプHRZD

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HRZD

水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW

・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
　セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。

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その他資料	安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	設定温度範囲	冷却能力	温度安定性	冷却方式	循環液
HRW	20～90℃	2kW, 8kW 15kW, 30kW	±0.3℃	水冷却式（冷凍機なし）	フッ素化液清水脱イオン水（純水）エチレングリコール水溶液（60％）

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