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サーモチラー（循環液温調装置）

デュアルサーモチラー／高機能インバータタイプ HRZD

    ・1台のチラーで2系統を個別に温調可能。
    ・ダブルインバータ：DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。
    ・省スペース：設置面積23％削減。
    ・省配線・省配管・省工数：電源ケーブル1本、放熱水配管は1系統。
    ・SEMI規格適合、CEマーキング。
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シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRZD－30～90℃9.5kW×2±0.1℃水冷冷凍式フッ素化液
エチレングリコール水溶液（60％）

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