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その他 RS485 対応機器

サーモチラー/高機能インバータタイプ HRZ

    ・HRZシリーズの高機能に加え、DCインバータコンプレッサ採用で、省エネルギーを達成。
    ・広い温度範囲、冷却能力範囲を1台でカバー。
    ・イノベーションサイクルの短い半導体装置などに対応し、プロセス条件の変化に柔軟に対応可能。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
     最寄りの営業所へお申し付けください。

     営業所一覧

    ※HRZシリーズは2022年12月に生産終了予定です。
     HRZ-Fシリーズをご選定願います。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • サーモチラー/高機能インバータタイプ HRZ
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ10kW検索結果を表示
  • サーモチラー/高機能インバータタイプ HRZ
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRZ10kW検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRZ-20~90℃
10~60℃
10kW±0.1℃水冷冷凍式フッ素化液
エチレングリコール水溶液(60%)
清水・脱イオン水(純水)

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