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2色表示式デジタルフロースイッチ/低発塵仕様 PF2M7-X300
クリーン/低発塵 » フロースイッチノングリース 窒素(N2)対応機器 » フロースイッチ
シリーズ | 適用流体 | 定格流量範囲(L/min) |
---|---|---|
PF2M7-X300 | 乾燥空気、N2、Ar、CO2 | 0.01~1.0(0.01~0.5) 0.02~2.0(0.02~1) 0.05~5.0(0.05~2.5) 0.1~10.0(0.1~5) 0.3~25.0(0.3~12.5) 0.5~50.0(0.5~25) 1.0~100.0(1.0~50) 2~200(2~100) ※( )はCO2の場合 |
マイクロミストセパレータ 10-AMD
クリーン/低発塵 » 圧縮空気清浄化フィルタシリーズ
シリーズ | ろ過度(μm) | 定格流量L/min(ANR) | 管接続口径 |
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10-AMD | 0.01(捕集効率99.9%) | 200〜12000 | 1/8〜2 |
エアチャックロータリ駆動形2爪タイプ 11-/22-MHR2/MDHR2
クリーン/低発塵 » エアチャック
クリーンシリーズ
・ロータリアクチュエータを駆動源としたため高さ方向の小型化と高精度化の実現
・クリーンルームクラス10に対応可
シリーズ | シリンダ内径 (mm) |
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11-/22-MHR2 | 呼び 10,15,20,30 |
ロータリテーブル 11-/22-MSQ
クリーン/低発塵 » ロータリアクチュエータ
シリーズ | ラック形式 | サイズ 基本形 MSQB | サイズ 高精度形 MSQA | 揺動角度 |
---|---|---|---|---|
11-/22-MSQ | ダブル | 1,2,3,7,10,20, 30,50 | 1,2,3,7,10,20,30,50 | 0~190° |
エアシリンダ 10-/11-/21-/22-CG1-Z
クリーン/低発塵 » エアシリンダ
型式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径 (mm) |
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標準形 | 10-/11-/21-/22-CG1-Z | 複動片ロッド | 20,25,32,40,50,63,80,100 |
標準形 | 10-/11-CG1W-Z 21-/22-CG1W | 複動両ロッド | 20,25,32,40,50,63,80,100 |
ダイレクトマウント形 | 10-/11-CG1R-Z 21-/22-CG1R | 複動片ロッド | 20,25,32,40,50,63 |
4・5ポートソレノイドバルブ 10-SYJ
クリーン/低発塵 » 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備/装置の設計の際は、他のシリーズ(EX260/EX600)の
使用をご検討ください。
シリーズ | 音速コンダクタンス:C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
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10-SYJ3000 | 0.46dm3(s・bar) | φ25 | 0.35 |
10-SYJ5000 | 0.83dm3(s・bar) | φ40 | 0.35 |
10-SYJ7000 | 2.9dm3(s・bar) | φ50 | 0.35 |