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5ポートソレノイドバルブ 10-SV

クリーン／低発塵 » 方向制御機器

    クリーンシリーズ



    ※EX500シリーズは、生産の中止を予定しています。
    　新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
    　使用をご検討ください。
安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ音速コンダクタンス：Cシリンダ駆動サイズ消費電力 (W)
10-SV10001.1dm3(s・bar)φ400.6
10-SV20002.8dm3(s・bar)φ630.6
10-SV30004.5dm3(s・bar)φ800.6
10-SV400010dm3(s・bar)φ1000.6

ケース付サクションフィルタ FH99

油圧機器 » 油圧用機器
    ・小形・軽量　カバー・ケース材質：アルミ鋳物。
    ・ポンプのキャビテーションを防止。
    ・エレメントの保守が簡単。
    ・差圧表示器、差圧表示スイッチ（CB-□□H）により目詰まり状態の検知が可能。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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安全上のご注意　油圧フィルタ/共通注意事項　ガイド/INDEX　差圧表示スイッチ　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径定格流量 L/min使用圧力エレメントμm
（公称ろ過粒度）
FH99INLET：1B～4B20～900負圧マイクロメッシュ：
74，105，149

JIS規格準拠薄形油圧シリンダ CHK□/CHDK□

油圧機器 » 油圧シリンダ
    ・アルミボディで軽量、コンパクト。
    ・オートスイッチの取付可能。
    ・オートスイッチ付となしの長手方向の寸法は同一。
    ・JIS規格準拠（CHKDシリーズ）
    ・オートスイッチ付（CHDK□シリーズ：CHDKD、CHDKG）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • JIS規格準拠薄形油圧シリンダ CHK□/CHDK□
    取扱説明書
    シリーズ 作動方式 検索結果を表示
    CHKD複動片ロッド検索結果を表示
    CHKG複動片ロッド検索結果を表示
安全上のご注意　油圧シリンダ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　バリエーション　技術資料
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ呼び圧力（MPa）ボディ材質作動方式チューブ内径（mm）
CHKD10アルミ複動片ロッド20，25，32，40，50
63，80，100
CHKG16アルミ複動片ロッド20，25，32，40，50
63，80，100

NAMUR規格準拠 5ポートソレノイドバルブ VFN2000N

計装用補助機器 » ソレノイドバルブ
    ・インターフェイス面はNAMUR規格に準拠
    　NAMUR規格に準拠した工業用バルブアクチュエータに直接設置可能。
  • NAMUR規格準拠 5ポートソレノイドバルブ VFN2000N
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VFN2000N検索結果を表示
安全上のご注意　オートメーション例　個別注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		消費電力（W）
VFN2000N4.570.171.061.8

ロックアップバルブ IL201/211/220

計装用補助機器 » リレー／バルブ
    ・空気式プロセス制御系において空気源や供給空気配管系の異常発生時に使用。
    　単動形、複動形：空気源が正常状態に回復するまで、操作部の位置を応急保持
    　三方形： 異常発生時に供給ポートを切り換え
安全上のご注意　オートメーション例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径設定圧力 (MPa)遮断空気回路圧力
IL201・211・220Rc1/40.14～0.7MAX. 0.7MPa

スマートポジショナ/外部信号入力仕様 IP8101-X419-□

計装用補助機器 » ポジショナ
製品特長
    ・駆動部の遠隔操作が可能
    　フィードバック信号によりシリンダ（駆動部）を制御
安全上のご注意　オートメーション例　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズタイプ管接続口径
(Rc, NPT, G)		供給空気圧力
(MPa)		入力電流
スマートポジショナIP8101-X419-□外部信号入力タイプ1/40.3～0.74～20mADC

工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGE

工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
    ・中流量のろ過（MAX.230L/min）
    ・Vバンドタイプはエレメント交換が容易（カバー飛散防止機構付）
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 工業フィルタ／ベッセルシリーズ FGE
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    FGE検索結果を表示
安全上のご注意　工業用フィルタ／共通注意事項　選定方法　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径最高使用圧力使用温度（℃）
FGER1，20.7MPaMAX.80

スリットバルブ XGT

高真空機器 » スリットバルブ
    ・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • スリットバルブ XGT
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGT検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGT大気圧～10-6不活性ガス系の真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

スムーズベントバルブ XVD

高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
    ・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
    ・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
    ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
  • 2D/3D CAD

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  • スムーズベントバルブ XVD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XVD検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XVD常時閉
（加圧開・スプリングシール）		窒素、空気、
不活性ガス等		VCR®
Swagelok®		1/4B

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152

高真空機器 » 高真空バルブ
製品特長
    ・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
    ・寿命：200万回
    ・装置の省スペース化が可能
    　排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
    　取付姿勢の自由度アップ
    ・軽量・コンパクト
  • 2D/3D CAD

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シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-100・160-X152エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160
XLC-100・160-1-X152エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160

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