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サーモチラー/高機能タイプ HRZ
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器
産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品
マレーシア・日本のみ限定出荷品

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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液(60%) 清水・脱イオン水(純水) |
汎用圧力スイッチ/スナップスイッチ式 ISG
スイッチ/センサ/コントローラ » 機械式圧力スイッチ
シリーズ | 種類 | 設定圧力範囲 |
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ISG11□, 21□ | 正圧 | 0.02~0.3MPa |
ISG12□, 22□ | 正圧 | 0.05~0.7MPa |
ISG13□, 23□ | 正圧 | 0.1~1.0MPa |
IS2761 | 正圧 | 0.1~1.0MPa |
ISG19□, 29□ | 真空圧 | -10~-100kPa |
微差圧センサ PSE550
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)
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・風量管理、フィルタの目詰まり、液面検出等の用途に適応。
・アナログ出力(電圧/電流)
シリーズ | 種類 | 定格差圧範囲 |
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PSE550 | 真空圧 | 0~2kPa |
クリーンレギュレータ用圧力計 G46-□-□-SRA,B
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計 » 圧力計ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 圧力計

シリーズ | 大きさ(外径) | 接続ねじ |
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G46-□-□-SRA,B | φ42.5 | R1/8,1/4 |
サイレンサ AN
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計 » サイレンサシリーズ | 特 長 |
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AN□00 | ・金属ボディタイプ ・消音効果:30dB(A) |
25□□ | ・金属ケースタイプ ・消音効果:19dB(A) |
AN | ・BC焼結体 ・消音効果:13, 16, 18, 21dB(A) |
AN□02AN□1 | ・高消音タイプ ・消音効果:35, 38, 40dB(A) |
パイロットチェック弁付スピードコントローラ ASP
駆動制御機器 » 特殊機能スピードコントローラ
タイプ | シリーズ | シリンダ側 接続口径 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ |
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パイロットチェック弁付 スピードコントローラ | ASP | 1/8~1/2 | φ6~φ12 | φ1/4''~φ1/2'' |
外部オール金属製ワンタッチ管継手付スピードコントローラ AS-X737
駆動制御機器 » 特殊環境用スピードコントローラアーク溶接工程向機器 » チューブ/管継手/駆動制御機器
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・外部オール金属※により耐環境性向上
※シール剤除く
・スパッタカバーを用意
KQB2 / KQG2シリーズにも使用可能。
タイプ | シリーズ | シリンダ側 接続口径 | 適用チューブ外径 |
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外部オール金属製 | AS-X737 | R1/8~3/8 | φ6~φ10 |
ワンタッチ管継手付スピードコントローラ AS-FM/FC
駆動制御機器 » 低速制御用スピードコントローラ-
・領域の分解能向上により、微調整が可能!
1~50mm/s:AS-FM Series
50~150mm/s:AS-FC Series
タイプ | シリーズ | シリンダ側 接続口径 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ |
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プッシュロック式 ワンタッチ管継手付 エルボ、ユニバーサルタイプ | AS-FM AS-FC | M5,10-32UNF 1/8,1/4 | φ2~φ6 φ3.2~φ10 | φ1/8''~φ1/4'' φ1/8''~φ3/8'' |
プッシュロック式 ワンタッチ管継手付 インラインタイプ | AS□2-FM AS□2-FC | - | φ3.2~φ8 | φ1/8''~φ5/16'' |
目盛付スピードコントローラ エルボ、ユニバーサルタイプ | AS-FSM AS-FSC | M5,10-32UNF 1/8,1/4 | φ2~φ6 φ3.2~φ10 | φ1/8''~φ1/4'' φ1/8''~φ3/8'' |
目盛付スピードコントローラ インラインタイプ | AS□2-FSM AS□2-FSC | - | φ3.2~φ8 | φ1/8''~φ5/16'' |