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アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

アルミ製高真空L型バルブ XL□

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
製品特長
    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
    　 モデルチェンジしました。
    　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLAV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLCエア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLCV（電磁弁付）エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLFエア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		（80）・100・160
XLFV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		（80）・100・160
XLGエア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		100・160
XLGV（電磁弁付）エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		100・160
XLDエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLDV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～50
XLS電磁式単動
（N.C.）		(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用		16，25

ソフトスタートアップバルブ AV□2000-A/3000-A/4000-A/5000-A

モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.
モジュラF.R.L. » ソフトスタートアップバルブ
製品特長
    ・空気圧システムの初期圧力の上昇を徐々に行う低速給気と、給気を遮断して急速排気が行える始動弁です。
    ・消費電力：0.35W
    ・流量特性向上：最大2.3倍 C［dm3/ (s･bar) ］：9.2
    ・省エネ：メインバルブ切換え時の吹抜けエアゼロ
    ・低速給気時の調整感度向上
    ・サイレンサ内蔵で省スペース化、省工数
    ・ロックアウト機構付(鍵穴付)
安全上のご注意　F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズC
［dm3/（s・bar）］		管接続口径使用圧力範囲（MPa）
AV□2000-A9.21/40.2～1.0
AV□3000-A13.13/80.2～1.0
AV□4000-A19.21/20.2～1.0
AV□5000-A34.8
41.3		3/4
1		0.2～1.0

ソフトスタートアップバルブ AV

モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.
モジュラF.R.L. » ソフトスタートアップバルブ
    ・低速給気と給気を遮断して急速排気が行える始動弁。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • ソフトスタートアップバルブ AV
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    AV2000～5000検索結果を表示
安全上のご注意　F.R.L/共通注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径使用圧力範囲（MPa）
AV2000～50001/4，3/8，1/20.1～1

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