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真空レギュレータ 10-IRV
クリーン／低発塵 » モジュラF.R./圧力制御機器
クリーンシリーズ
・真空ラインの圧力制御が可能。
・一面配管仕様をシリーズ化。
・質量20％減（従来比）
・ワンタッチ管継手内蔵。
・クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易。
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標準配管仕様のみ）
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力 (kPa) |
|---|---|---|
| 10-IRV | φ6，φ8，φ1/4，φ5/16 | -100～-1.3 |
| 10-IRV20 | φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8 | -100～-1.3 |
5ポートソレノイドバルブ SQ1000/2000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・省電力 消費電力：0.4W（標準）
・バルブの増減連が容易
・ワンビス取付によりメンテナンス工数削減
・ワンタッチ管継手交換が、クリップ式で簡単
・コネクタ取出し方向がワンプッシュで変更可能
・4位置デュアル3ポート弁
・背圧防止弁内蔵（オプション）
・マニホールド型式：SS5Q13，SS5Q14，SS5Q23，SS5Q24
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SQ1000 | 0.8 | 0.20 | 0.19 | φ32 | 0.4W（標準） 0.95W（高圧タイプ） |
| SQ2000 | 3.1 | 0.18 | 0.71 | φ63 | 0.4W（標準） 0.95W（高圧タイプ） |
