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小型マニホールドレギュレータ ARM10/11
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
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・配置条件に応じた自由な選択が可能。
ハンドル位置：上、正面、下
配管方向：上、下
ワンタッチ管継手種類：ストレート、エルボ
・ワンタッチ管継手種類、サイズの変更が可能。
・逆流機能標準対応。
・デジタル圧力スイッチ対応。
| シリーズ | 型式 | 特 長 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|---|---|
| ARM11A | マニホールド 仕様 | 集中給気 | φ4～φ10 | φ5/32～φ3/8 | 0.05～0.7 |
| ARM11B | マニホールド 仕様 | 個別給気 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
| ARM10 | 単体仕様 | 標準 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
| ARM10F | 単体仕様 | ハンドル正面 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 0.05～0.7 |
真空エジェクタ ZM
真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
| シリーズ | ノズル径 (mm) | 最大吸込流量 ［L/min(ANR)] | 空気消費量 ［L/min(ANR)] | 適用パッド目安 (mm) |
|---|---|---|---|---|
| ZM05 | 0.5 | 15 | 17 | 2～16 |
| ZM07 | 0.7 | 23 | 33 | 2～25 |
| ZM10 | 1.0 | 38 | 60 | 2～32 |
| ZM13 | 1.3 | 44 | 85 | 2～40 |
| ZM15 | 1.5 | 45 | 110 | 2～50 |
3ポートエアオペレートバルブ VPA300/500/700
方向制御機器 » エアオペレートバルブ
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・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv |
|---|---|---|---|
| VPA300 | 4.2 | 0.26 | 1.0 |
| VPA500 | 8.9 | 0.20 | 2.1 |
| VPA700 | 15.3 | 0.22 | 3.7 |
5ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VK3000
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・低消費電力タイプ（2W DC 低ワットタイプ）
・圧力は0MPaから使用可能。
・VK300を混合取付け可能。
・マニホールド型式：VV3K3
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） Cv | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|
| VK3000 | 0.54 | 0.12 | 0.12 | 4.0 |
4位置デュアル3ポート弁 直接配管形／ベース配管形 SY5000/7000-X701
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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1つのボディに2つの3ポート弁内蔵
・外形寸法はダブルソレノイドと同じ
・Ａ側、Ｂ側の3ポート弁がそれぞれ独立して作動可能
・3ポート弁で使用する場合、今までの半分の連数で済みます。
・標準SY5000/7000シリーズ 5ポートソレノイドバルブのマニホールドベース
に混載可能
| 配管形 | シリーズ | 4位置デュアル3ポート 切換方式 |
|---|---|---|
| 直接配管形 ベース配管形 | SY5000 SY7000 | N.C./N.C. N.O./N.O. N.C./N.O. |
マニホールド形減圧弁 ARM1000/2000
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
| シリーズ | 特 長 | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|
| ARM1000， 2000 | マニホールド （共通IN、個別IN） 直動式リリーフタイプ 逆流機構付 | 1/8 | 0.05～0.7 |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT307
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・低消費電力形：1.8W
・1つのバルブでさまざまなバルブ機能
（ユニバーサルポーティングタイプ）
・低濃度オゾン対策品
ゴム材質：主弁部にHNBR採用
・従来品との取付寸法互換性あり
・マニホールド型式：VV307
| シリーズ | 流量特性 2→3 (A→R) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (A→R) b | 流量特性 2→3 (A→R) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT307 | 0.71 | 0.25 | 0.17 | 4 (標準) 1.8 (低消費電力形) | -101.2kPa |
5ポートソレノイドバルブ SY3000/5000/7000/9000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
45G型マニホールド
（フラットケーブル PCワイヤリング対応）
掲載カタログはこちら
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・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
・消費電力：0.1W（節電回路付）
・アルミ一体型マニホールド、DINレール、分割形マニホールドなど豊富なマニホールドオプション。
・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7，SS5Y9
・スペーサ形減圧弁に対応
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SY3000 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY5000 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY7000 | 4.5 | 0.27 | 1.1 | φ80 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY9000 | 10 | 0.29 | 2.5 | φ100 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY300 | 1.1 | 0.30 | 0.26 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SY500 | 2.8 | 0.29 | 0.66 | φ63 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
マニホールド形減圧弁 ARM2500/3000
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ
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・モジュールタイプでマニホールド連数も自由自在。
・圧力の集中管理に適しています。
・ワンタッチロック式ハンドル採用。
| シリーズ | 特 長 | 管接続口径 | 設定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|
| ARM2500， 3000 | マニホールド （共通IN、個別IN） モジュールタイプ | 1/4，3/8 | 0.05～0.85 |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT317/325
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・直動式ソレノイドバルブ。
・ユニバーサルポーティングタイプ。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV317，VVT340，VVT341
※VT325(ACコイル)は2024年9月に生産終了予定です。
VP54□シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT317 | 2.6 | 0.34 | 0.67 | 6.0 | －101.2kPa |
| VT325 | 6.1 | 0.37 | 1.6 | 12 | －101.2kPa |
