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インラインエアフィルタ ZFC5□/7□-X05
ノングリース 窒素(N2)対応機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ-
・使用圧力範囲:-100kPa~1.0MPa
1台で正圧・真空圧の使用が可能
・回り止め機構採用
正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止
・パッキン(FKM+禁油処理):-X05(オーダーメイド)
注)供給圧力0.1MPa、差圧30kPa
シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | 流量 L/min(ANR)注) 正圧 | 流量 L/min(ANR)注) 真空圧 | ろ過度(μm) |
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ZFC5□-X05 | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
ZFC7□-X05 | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
2ポートソレノイドバルブ 25A-
二次電池対応シリーズ 25A-シリーズ » 流体制御機器シリーズ | 型式 | 仕様 |
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直動形2ポートソレノイドバルブ | 25A-JSX | SUSボディ:水、空気、油 |
直動形2ポートソレノイドバルブ | 25A-JSX | ALボディ:空気 |
直動形2ポートソレノイドバルブ | 25A-JSX | 大流量/省エネタイプ SUSボディ:水、空気、油 |
直動形2ポートソレノイドバルブ | 25A-VX2 | 空気用 |
直動形2ポートソレノイドバルブ | 25A-VX2 | 水用/油用/中真空用 |
パイロット形2ポートソレノイドバルブ | 25A-VXD | 空気用 |
パイロット形2ポートソレノイドバルブ | 25A-VXD | 水用 |
差圧ゼロ作動パイロット形 2ポートソレノイドバルブ | 25A-VXZ | 空気用 |
差圧ゼロ作動パイロット形 2ポートソレノイドバルブ | 25A-VXZ | 水用 |
真空用機器 25A-
二次電池対応シリーズ 25A-シリーズ » 真空機器
シリーズ | 型式 | 仕様 |
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真空ユニット | 25A-ZK2□A | エジェクタシステム単体 |
薄形真空ユニット | 25A-ZQ□A | エジェクタシステム単体/マニホールド |
薄形真空ユニット | 25A-ZQ□A | 真空ポンプシステム単体/マニホールド |
薄形真空ユニット | ZH□□DA | 直接配管形 接続ねじなし製品のみ |
薄形真空ユニット | ZH□□BA | ボックス形 接続ねじなし製品のみ |
直線形真空エジェクタ | ZU□□A | 直線形 接続ねじなし製品のみ |
インラインエアフィルタ | ZFC※1 | ワンタッチ管継手付 |
真空パッド | ZP | パッド単体、アダプタ材質ステンレス製品のみ |
真空パッド | ZP3□ | パッド単体、アダプタ材質アルミ、ステンレス製品のみ |
ベルヌーイグリッパ | ZNC□ | センサなし製品のみ |
ベルヌーイグリッパ | ZNC□-C | センサなし製品のみ |
真空レギュレータ | 25A-IRV | |
吸着プレート | SP※1 |
ロータリアクチュエータ 25A-
二次電池対応シリーズ 25A-シリーズ » ロータリアクチュエータ/エアチャックシリーズ | 型式 | 仕様 |
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ロータリテーブル | 25A-MSUB | ベーンタイプ |
ロータリテーブル | 25A-MSQ | ラックピニオンタイプ |
ロータリテーブル | 25A-MSQ-X251 | ラックピニオンタイプ バキュームポート付 |
3ポジション ロータリテーブル | 25A-MSZA | 高精度形 |
3ポジション ロータリテーブル | 25A-MSZB | 基本形 |
3画面高精度デジタル圧力スイッチ 10-ZSE20□(F)/10-ISE20□
クリーン/低発塵 » 圧力スイッチ/圧力センサ
クリーンシリーズ
・設定項目の見える化
・簡単3ステップ設定
・簡単画面切替
測定値を見ながら設定可能。
・ディレー時間:最速1.5ms以下
・消費電流:25mA以下
・IO-Link対応
シリーズ | 出力形式 | 種類 | 定格圧力範囲 | 保護構造 | 適用流体 |
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10-ZSE20(F) ISE20 | 1出力 | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0~100.0kPa 0.0~−101.0kPa −0.100~1.000MPa | IP40 | 空気 |
10-ZSE20A(F) 10-ISE20A | 2出力 アナログ出力 (電圧/電流) | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0~100.0kPa 0.0~−101.0kPa −0.100~1.000MPa | IP40 | 空気 |
10-ZSE20B(F) 10-ISE20B-(L) | 2出力 アナログ出力 (電圧/電流) IO-Link対応 スイッチ1出力 | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0~100.0kPa 0.0~−101.0kPa −0.100~1.000MPa | IP65 | 空気 |
10-ZSE20C(F) 10-ISE20C(H) | 2出力 アナログ出力 (電圧/電流) | 連成圧 真空圧 正圧 | −100.0~100.0kPa 0.0~−101.0kPa −0.100~1.000MPa −0.100~2.000MPa | IP65 | 汎用流体 |
ワンタッチ管継手 10-KQ2
クリーン/低発塵 » 管継手
シリーズ | サイズ | 適用チューブ外径 | 接続ねじ |
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10-KQ2 | ミリ | φ2,φ3.2,φ4,φ6,φ8,φ10,φ12,φ16 | M3×0.5,M5×0.8,M6×1.0, R,Rc 1/8,1/4,3/8,1/2 |
10-KQ2 | インチ | φ1/8'',φ5/32'',φ3/16'',φ1/4'',φ5/16'',φ3/8'',φ1/2'' | 10-32UNF NPT 1/16,1/8,1/4,3/8,1/2 |
立型サクションフィルタ FHIA
油圧機器 » 油圧用機器
-
・ポンプとリザーバタンクの中間に取付けて、主にポンプを保護するために使用する立型のサクションフィルタ。
・差圧表示器、差圧表示スイッチ(CB-□□H)により目詰まり状態の検知が可能。
シリーズ | 接続口径 | 定格流量 L/min | 使用圧力 | エレメントμm (公称ろ過粒度) |
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FHIA | 1/2B~4B | 30~1300 | 負圧 | マイクロメッシュ: 74,105,149 |
真空ロッドレスシリンダ CYV
高真空機器 » 真空ロッドレスシリンダ半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送

シリーズ | 使用環境圧力{Pa(ABS)} | チューブ内径(mm) |
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CYV | 大気~1.3×10-4 | 15,32 |
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
高真空機器 » 高真空バルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLAV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 |
XLF-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLFV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |
XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 |