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3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VK300
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・ユニバーサルポーティングタイプ。
・VK3000マニホールドに混合取付け可能。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV3K3
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VK300 | 0.80 | 0.27 | 0.19 | 4 | －101.2kPa |
クーラント液用立型サクションフィルタ FHIAF-10-M149G
工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ
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・ねじ込み接続に対応
・軽量：2.5kg／アルミボディ
・使用圧力：－100～0kPa
・公称ろ過度：149μm（100メッシュ）
・真空用圧力計による目詰り管理が可能
| シリーズ | 接続口径 | 使用圧力（kPa） | 公称ろ過度(μm) |
|---|---|---|---|
| FHIAF-10-M149G | IN側：Rp3/4 OUT側：Rc1/2 | －100〜0 | 149（100メッシュ） |
真空パッド/ベロウパッド ZP2
真空用機器 » 真空パッド
| シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
|---|---|---|
| ZP2 | ベロウ形(4.5段) | φ15, φ20, φ30, φ40, φ50 |
| ZP2 | ベロウ形 (2.5段/3.5段) | φ6, φ9, φ10, φ14, φ15, φ16, φ25, φ30 |
インラインエアフィルタ ZFC
真空用機器 » エアサクションフィルタ圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
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・使用圧力範囲：－100kPa～1.0MPa
1台で正圧・真空圧の使用が可能。
・回り止め機構採用
正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。
・2種の透明ケース材質を用意
ポリカーボネート（標準）、ナイロン（オーダーメイド）
注1）供給圧力0.7MPa、差圧30kPa
注2）オーダーメイド
| シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | 流量 L/min（ANR）注1） 正圧 | 流量 L/min（ANR） 真空圧 | ろ過度(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ZFC1□ | φ2, φ3.2 | φ1/8'' | 15/45 | 2/5 | 5，10注2） |
| ZFC3□ | φ3.2, φ4 | φ1/8'', φ5/32'' | 50/80 | 7/10 | 5，10注2） |
| ZFC5□ | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5，10注2） |
| ZFC7□ | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5，10注2） |
真空エジェクタ ZM
真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
| シリーズ | ノズル径 (mm) | 最大吸込流量 ［L/min(ANR)] | 空気消費量 ［L/min(ANR)] | 適用パッド目安 (mm) |
|---|---|---|---|---|
| ZM05 | 0.5 | 15 | 17 | 2～16 |
| ZM07 | 0.7 | 23 | 33 | 2～25 |
| ZM10 | 1.0 | 38 | 60 | 2～32 |
| ZM13 | 1.3 | 44 | 85 | 2～40 |
| ZM15 | 1.5 | 45 | 110 | 2～50 |
インラインエアフィルタ ZFD
真空用機器 » エアサクションフィルタ
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・使用圧力範囲：－100kPa～0.5MPa
・真空吸着と真空破壊、双方向の異物を捕捉、再飛散防止
・省スペース
設置面積41%削減
・チェック弁の保護
流れ順序：フィルタ➡チェック弁
チェック弁の異物嚙込み防止
・適用チューブ外径：ø4, ø6, ø8
| シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 使用圧力範囲(kPa) | 真空破壊圧力(MPa) | 質量(g) |
|---|---|---|---|---|
| ZFD53 | ø4 | ー100～0 | 0.5以下 | 34 |
| ZFD54 | ø6 | ー100～0 | 0.5以下 | 33 |
| ZFD55 | ø8 | ー100～0 | 0.5以下 | 35 |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT307
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・低消費電力形：1.8W
・1つのバルブでさまざまなバルブ機能
（ユニバーサルポーティングタイプ）
・低濃度オゾン対策品
ゴム材質：主弁部にHNBR採用
・従来品との取付寸法互換性あり
・マニホールド型式：VV307
| シリーズ | 流量特性 2→3 (A→R) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (A→R) b | 流量特性 2→3 (A→R) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT307 | 0.71 | 0.25 | 0.17 | 4 (標準) 1.8 (低消費電力形) | -101.2kPa |
クリーンワンタッチ管継手ブロー用 KP
管継手＆チューブ » 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)クリーン／低発塵 » 管継手
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 管継手
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・クリーンルーム内のブローシステムに適したワンタッチ管継手。
・完全禁油処理（ゴム類にフッ素コーティング）
・接液部は非金属。
・クリーンルーム内で部品洗浄、組立、2重梱包。
・真空使用可能（－100kPa）
| シリーズ | 適用チューブ外径 | 接続ねじ |
|---|---|---|
| KP | φ4，φ6，φ8，φ10，φ12 | 1/8，1/4，3/8，1/2 |
