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真空パッド/ベロウパッド ZP2

真空用機器 » 真空パッド
製品特長
    ・バッファ（スプリング方式）を使用するスペースがない場合
    ・吸着面が斜めのワークの場合
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　真空パッド/共通注意事項 　バリエーション 　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径(mm)　※パッド外径
ZP2ベロウ形(4.5段)φ15※, φ20※, φ30※, φ40, φ46
ZP2ベロウ形
(2.5段/3.5段)		φ6, φ9, φ10, φ14, φ15, φ16, φ25, φ30

インラインエアフィルタ ZFC

真空用機器 » エアサクションフィルタ
圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
製品特長
    ・使用圧力範囲：－100kPa～1.0MPa
    　1台で正圧・真空圧の使用が可能。
    ・回り止め機構採用
    　正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止します。
    ・2種の透明ケース材質を用意
    　ポリカーボネート（標準）、ナイロン（オーダーメイド）


    　注1）供給圧力0.7MPa、差圧30kPa
    　注2）オーダーメイド
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • インラインエアフィルタ ZFC
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    ZFC1□検索結果を表示
    ZFC3□検索結果を表示
    ZFC5□検索結果を表示
    ZFC7□検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　バリエーション
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリ		適用チューブ外径
インチ		流量 L/min（ANR）注1）
正圧		流量 L/min（ANR）
真空圧		ろ過度(μm)
ZFC1□φ2, φ3.2φ1/8''15/452/55，10注2）
ZFC3□φ3.2, φ4φ1/8'', φ5/32''50/807/105，10注2）
ZFC5□φ4, φ6φ5/32'', φ1/4''100/20010/205，10注2）
ZFC7□φ6, φ8 , φ10, φ12φ1/4'', φ5/16'', φ3/8''250/450/550/65030/70/80/1005，10注2）

真空エジェクタ ZM

真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
    ・バルブ・スイッチをユニット化。
    ・マニホールド化可能。
    ・最大吸収流量40％UP。
    ・最高真空圧力　－84kPa
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズノズル径
(mm)		最大吸込流量
［L/min(ANR)]		空気消費量
［L/min(ANR)]		適用パッド目安
(mm)
ZM050.515172～16
ZM070.723332～25
ZM101.038602～32
ZM131.344852～40
ZM151.5451102～50

インラインエアフィルタ（双方向捕捉タイプ） ZFD

真空用機器 » エアサクションフィルタ
製品特長
    ・使用圧力範囲：－100kPa～0.5MPa
    ・真空吸着と真空破壊、双方向の異物を捕捉、再飛散防止
    ・省スペース
    　設置面積41%削減
    ・チェック弁の保護
    　流れ順序：フィルタ➡チェック弁
    　チェック弁の異物嚙込み防止
    ・適用チューブ外径：ø4, ø6, ø8

    関連製品：真空ユニット ZK2シリーズ
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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  • インラインエアフィルタ（双方向捕捉タイプ） ZFD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    ZFD53検索結果を表示
    ZFD54検索結果を表示
    ZFD55検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　バリエーション
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径
ミリ		使用圧力範囲(kPa)真空破壊圧力(MPa)質量(g)
ZFD53ø4ー100～00.5以下34
ZFD54ø6ー100～00.5以下33
ZFD55ø8ー100～00.5以下35

真空パッド/フラットパッド ZP2

真空用機器 » 真空パッド
    ・腰のあるシート、フィルム等の吸着に対応
    ・吸着時のワークフラット面の変形を抑えます
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　真空パッド/共通注意事項 　バリエーション 　機種選定　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径(mm)
ZP2薄形(溝付)φ10, φ15, φ20, φ30

3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT307

方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
製品特長
    ・低消費電力形：1.8W
    ・1つのバルブでさまざまなバルブ機能
    　（ユニバーサルポーティングタイプ）
    ・低濃度オゾン対策品
    　ゴム材質：主弁部にHNBR採用
    ・従来品との取付寸法互換性あり
    ・マニホールド型式：VV307
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT307
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VT307検索結果を表示
  • 3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT307
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VT307検索結果を表示
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
2→3 (A→R)
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3 (A→R)
b		流量特性
2→3 (A→R)
Cv		消費電力（W）真空使用可能
VT3070.710.250.174 (標準)
1.8 (低消費電力形)		-101.2kPa

クリーンワンタッチ管継手ブロー用 KP

管継手＆チューブ » 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
クリーン／低発塵 » 管継手
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 管継手
    ・クリーンルーム内のブローシステムに適したワンタッチ管継手。
    ・完全禁油処理（ゴム類にフッ素コーティング）
    ・接液部は非金属。
    ・クリーンルーム内で部品洗浄、組立、2重梱包。
    ・真空使用可能（－100kPa）
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　管継手&チューブ/共通注意事項　バリエーション
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ適用チューブ外径接続ねじ
KPφ4，φ6，φ8，φ10，φ121/8，1/4，3/8，1/2

真空パッド/ノズル形 ZP2

真空用機器 » 真空パッド
    小型部品（ICチップ等）の吸着に対応
  • 2D/3D CAD

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シリーズパッド形状パッド径(mm)
ZP2ノズル形φ0.8,φ1.1

3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT317/325

方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
    ・直動式ソレノイドバルブ。
    ・ユニバーサルポーティングタイプ。
    ・真空使用可能。
    ・マニホールド型式：VV317，VVT340，VVT341

    ※VT325(ACコイル)は2024年9月に生産終了予定です。
    　VP54□シリーズをご選定願います。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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  • 3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT317/325
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VT317検索結果を表示
    VT325検索結果を表示
  • 3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT317/325
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VT317検索結果を表示
    VT325検索結果を表示
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
2→3（A→R）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3（A→R）
b		流量特性
2→3（A→R）
Cv		消費電力（W）真空使用可能
VT3172.60.340.676.0－101.2kPa
VT3256.10.371.612－101.2kPa

真空パッド/スポンジパッド ZP2

真空用機器 » 真空パッド
    凹凸のあるワークの吸着に対応
  • 2D/3D CAD

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シリーズパッド形状パッド径(mm)
ZP2スポンジφ4, φ6, φ8, φ10, φ15

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