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水蒸気用2ポートバルブ／スチームバルブ VND

流体制御用機器 » 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
流体制御用機器 » 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
    ・水蒸気制御用。
    ・PTFEシールを採用。
    ・インジケータ付（オプション）
    ・エアオペレート形。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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安全上のご注意　流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項
機器選定・流量特性　バリエーション/プロセス・クーラントバルブ一覧表
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径（mmφ）
VNDN.C.／N.O.1/8～2
1 1/4B～2B		7～50

5ポートエアオペレートバルブ VZA2000/4000

方向制御機器 » エアオペレートバルブ
    ・VZ2000/4000シリーズのマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
    ・VQZ2000/3000のマニホールドにも搭載可能。
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		シリンダ駆動
サイズ
VZA20000.900.250.21φ40
VZA40002.20.190.54φ50

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » プロセスガス用機器
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

プロセスポンプ クリーンルーム仕様 PA(P)3000

プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ） » プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
安全上のご注意　バリエーション　関連製品　適応流体　個別注意事項　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ駆動方式吐出量
（L/min）		接液部材質
PAP3310自動運転型1～13New PFA
（フッ素樹脂）
PAP3313エアオペレート型0.1～9New PFA
（フッ素樹脂）

薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 薬液用バルブ
    ・小型・省スペースタイプをラインナップ。
    　配管方向寸法MAX.29％短縮。
    ・ボディ材質：New PFA
    ・ダイヤフラム材質：PTFE
    ・アクチュエータ部材質：PPS，PVDF（LVD-F/FN）

    注）チューブ出しはチューブ外径。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 薬液用エアオペレートバルブ／小型タイプ LVD
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    LVD継手一体型検索結果を表示
    LVDチューブ出し検索結果を表示
    LVD-F/FNLQ1継手一体型検索結果を表示
    LVD-F/FNLQ3継手一体型検索結果を表示
    LVD-F/FNチューブ出し検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ
外径 注）
ミリ		適用チューブ
外径 注）
インチ		オリフィス径
（mmφ）
LVD継手一体型N.C.／N.O.／複動3～191/8～3/42～16
LVDチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～191/4～3/44～16
LVD-F/FNLQ1継手一体型N.C.／N.O.／複動3～251/8～14～22
LVD-F/FNLQ3継手一体型N.C.／N.O.／複動6～251/4～14～22
LVD-F/FNチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～251/4～14～22

薬液用エアオペレートバルブ JLV20/30/40/50

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
製品特長
    ・パーティクルの発生を抑制/フットプリント削減に貢献
    　特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑えます。
    　フットプリント削減(従来比)：バルブ幅20％削減、取付ピッチ45％削減。
    ・高圧/高背圧対応
    　使用圧力：0～0.5MPa　背圧：0～0.5MPa(従来比66%向上)
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ外径
インチ		オリフィス径
（mmφ）
JLVエアオペレートタイプ
継手一体型		N.C.1/4，3/8，1/2，3/44，8，10，16

高圧用クーラントバルブ VNH

流体制御用機器 » クーラント用バルブ
    ・工作機械等の高圧クーラント（切削液）制御用。
    ・最高使用圧力：3.5MPa、7MPa
    ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 高圧用クーラントバルブ VNH
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VNH検索結果を表示
  • 高圧用クーラントバルブ VNH
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    VNH検索結果を表示
安全上のご注意　流体制御用2ポート電磁弁/共通注意事項
機器選定・流量特性　バリエーション/プロセス・クーラントバルブ一覧表
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式管接続口径オリフィス径（mmø）
VNHN.C.3/8～13.9～15.7

5ポートエアオペレートバルブ VFA1000/3000/5000

方向制御機器 » エアオペレートバルブ
    ・VF1000/3000/5000シリーズのマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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シリーズ流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		シリンダ駆動
サイズ
VFA10000.530.280.13φ40
VFA30003.10.320.75φ80
VFA500010.00.492.9φ125

薬液用エアオペレートバルブ／外部ノンメタル LVQ

薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ » 薬液用バルブ
フッ素樹脂製機器/塩化ビニル製機器 » 薬液用バルブ
    ・ノンビス一体構造。
    　アクチュエータ部とボディ部の締結に金属ビスを使用しないノンメタル
    　構造。
    ・ボディ材質：New PFA
    ・ダイヤフラム材質：PTFE
    ・アクチュエータ部材質：PVDF

    注）チューブサイズ。

    ※薬液用バルブLVQ Seriesのインサート式継手一体型スペースセービング
    　LQ2継手仕様は、2025年3月に生産中止を予定しております。
    　LQ1継手仕様でご選定願います。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 薬液用エアオペレートバルブ／外部ノンメタル LVQ
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    LVQ継手一体型検索結果を表示
    LVQスペース
    セービング
    タイプ    		検索結果を表示
    LVQチューブ出し検索結果を表示
安全上のご注意　バリエーション　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ1,2　フッ素樹脂製管継手施工方法/LQ3　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプ弁形式適用チューブ外径
ミリ		適用チューブ外径
インチ		オリフィス径
（mmφ）
LVQ継手一体型N.C.／N.O.／複動3～251/8〜14～22
LVQスペース
セービング
タイプ		N.C.／N.O.／複動継手サイズ：
2～6		継手サイズ：
2～6		4～22
LVQチューブ出しN.C.／N.O.／複動6～25 注）1/4〜1 注）4～22

5ポートエアオペレートバルブ VFRA3000/4000

方向制御機器 » エアオペレートバルブ
    ・VFR3000/4000シリーズのノンプラグインタイプマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 5ポートエアオペレートバルブ VFRA3000/4000
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    VFRA3000検索結果を表示
    VFRA4000検索結果を表示
安全上のご注意　機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		シリンダ駆動
サイズ
VFRA30008.60.372.2φ100
VFRA4000140.303.7φ125

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