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水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW
カテゴリ » 温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)
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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
---|---|---|---|---|---|
HRW | 20~90℃ |
2kW, 8kW 15kW, 30kW |
±0.3℃ |
水冷却式 (冷凍機なし) |
フッ素化液 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(60%) |
水冷却式サーモチラー/高機能タイプHRW
シリーズ | ダウンロード |
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HRW |
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