真空破坏单元
真空、破坏单元 VQD1000-V
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・适合0603芯片。
・响应速度：13msec（500mm时※）/18.5msec（1000mm时※）。
・可实现无超调的平滑工件脱离。
・无需调节真空、正压的切换时点。
・不需要破坏空气的节流回路。
・真空过滤器：ZFC050（订制规格）。
※真空、破坏单元到工件的距离。
带节流阀的真空破坏阀 SJ3A6
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・内置2个阀柱。
・使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。
・宽10mm（与SJ3000系列尺寸相同）。
・带能够调节破坏空气流量的节流阀。
・真空側、破坏側内置可更换的过滤器。
・可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装(订制规格)。
带节流阀的真空破坏阀 SY3A□R SY5A□R
| 系列 |
|---|
| SY3A□R |
| SY5A□R |
