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洁净气体过滤器・空气过滤器

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洁净型气体过滤器 SFA

    滤盒型/滤片型

    ・可更换滤芯的滤盒型。

洁净型气体过滤器 SFB

    滤盒型/滤片型

    ・可更换滤芯的滤盒型。

洁净型气体过滤器 SFB

    一次性型/直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。

洁净型气体过滤器 SFC

    一次性型/直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
系列使用压力过滤精度
SFC100最高1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm

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