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洁净气体过滤器・空气过滤器

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洁净型气体过滤器 SFA

    滤盒型／滤片型

    ・可更换滤芯的滤盒型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项
系列使用压力过滤精度
SFA100・200・300最高1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

洁净型气体过滤器 SFB

    滤盒型／滤片型

    ・可更换滤芯的滤盒型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项
系列使用压力过滤精度
SFB100・200最高1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

洁净型气体过滤器 SFB

    一次性型／直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项
系列使用压力过滤精度
SFB300Max.1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

洁净型气体过滤器 SFC

    一次性型／直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项
系列使用压力过滤精度
SFC100最高1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

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