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其他　对应RS232C的元件

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电气比例阀 ITV

    ・通过电气比例信号，实现对空气压力的无级控制
    ・灵敏度：0.2kPa（100kPa规格）
    ・直线型：±1％以内（F.S.）
    ・迟滞：0.5％以内（F.S.）
    ・通信：CC-Link、DeviceNet™、PROFIBUS DP、RS-232C、IO-Link
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项　压力控制元件/扩展品
特定开发品信息
系列接管口径设定压力（MPa）
ITV0000内置快换管接头
φ4，φ5/32		0.001～0.1
0.001～0.5
0.001～0.9
ITV10001/8，1/40.005～0.1
0.005～0.5
0.005～0.9
ITV20001/4，3/80.005～0.1
0.005～0.5
0.005～0.9
ITV30001/4，3/8，1/20.005～0.1
0.005～0.5
0.005～0.9

电子式真空比例阀 ITV

    ・通过电气比例信号，实现对空气压力的无级控制
    ・通信：CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项　压力控制元件/扩展品
特定开发品信息
系列接管口径设定压力（kPa）
ITV009□φ4，φ5/32 快换管接头－1～－100
ITV209□1/4－1.3～－80

温控器/高性能型 HRZ

    ・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
    ・符合各种安全规格
    ・符合UL, SEMI规格以及CE标识

    ※提供样机试用服务
    　请与最近的营业所联系
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  • 2D CAD
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  • 温控器/高性能型 HRZ
    说明书
    シリーズ 冷却能力 查看搜索结果
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW    		查看搜索结果
  • 温控器/高性能型 HRZ
    自我宣告书
    シリーズ 冷却能力 查看搜索结果
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
シリーズ设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZ－20～40℃
20～90℃
－20～90℃		1kW, 2kW
4kW, 8kW		±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

温控器/标准型 HRS

产品特点
    ・风冷型设置方便、操作简单、在任何地点都可产生冷却水
    ・广泛用于激光加工机／分析装置／LCD制造装置／模具温控等
    ・紧凑　W377×H615×D500mm、40kg（HRS012/018/024）
    ・定时运转、液面下降、停电复归、防冻结功能等
    ・有自我诊断功能
    ・CE标识、符合UL

    ※可提供样机试用服务。
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  • 温控器/标准型 HRS
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW
    3.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    （60Hz时）    		查看搜索结果
  • 温控器/标准型 HRS
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW
    3.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    （60Hz时）    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRS012〜0605～40℃1.3kW, 1.9kW, 2.4kW
3.2kW, 5.1kW, 5.9kW
（60Hz时）		±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式		清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

温控器/耐环境规格 HRS-R

    ・对应有粉尘、飞沫、水的环境
    ・电装部分防护等级：IP54
    ・金属面板
    　外装部分为金属面板
    　可选择不锈钢面板（可选项）
    ・可选择大容量液箱（12L）（可选项）
    ・环境温度：5～45℃
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRS-R5～40℃1.9kW, 2.9kW, 5kW
（60Hz时）		±0.1℃风冷冷冻式清水
乙二醇水溶液（15%）

温控器/标准型 HRS090

产品特点
    ・重量轻、外形紧凑
    ・冷却能力：9kW
    ・温度稳定性：±0.5°C
    ・设定温度范围：5～35°C
    ・最高使用环境温度：45°C
    ・电源：三相AC200～230V、AC380～415V
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRS0905～35℃9kW（60Hz时）±0.5℃风冷冷冻式
水冷冷冻式		清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

温控器/标准型 HRS100/150

产品特点
    ・无需加热器，利用冷冻回路的排热即可对循环液加热
    ・电源可对应欧洲、亚洲、大洋洲、北美、中南美规格
    ・静音设计：70dB（A）
    ・室外设置：IPX4
    ・体积小、省空间

    ※提供样机试用服务
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  • 温控器/标准型 HRS100/150
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRS100
    HRS150    		9.5kW, 14.5kW
    （60Hz时）    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRS100
HRS150		5〜35℃9.5kW, 14.5kW
（60Hz时）		±1.0℃风冷冷冻式
水冷冷冻式		清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

标准型温控器 风冷460V规格 HRS200

    ・3相 AC380～415V(50Hz)、3相 AC460～480V(60Hz)
    ・可利用冷冻回路的排热加热循环液，无需加热器。
    ・可设置于室外：IPX4
    ・体积小、省空间
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRS2005〜35℃20.5kW±1.0℃风冷冷冻式清水
去离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

温控器/变频型 HRSH090

产品特点
    ・消耗功率减小53%。
    　三变频实现了出色的节能效果！
    ・冷却能力：9.5kW（风冷）、11.0kW（水冷）
    ・温度稳定性：±0.1℃
    ・温度设定范围：5℃〜40℃

    ※提供样机试用服务
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安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRSH0905～40℃9.5kW±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式		清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

温控器/变频型 HRSH

产品特点
    ・三变频实现了出色的节能效果！
    ・可设置于室外的防滴规格（IPX4）
    ・最高使用环境温度 45℃
    ・最低使用环境温度 -20℃（风冷式）
    ・温度稳定性 ±0.1℃（负载稳定时）
    ・省空间、重量轻 280kg（25kW型）
    ・符合CE标识、UL

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  • 温控器/变频型 HRSH
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRSH10kW, 15kW, 20kW
    25kW, 28kW    		查看搜索结果
  • 温控器/变频型 HRSH
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRSH10kW, 15kW, 20kW
    25kW, 28kW    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRSH5～35℃10kW, 15kW, 20kW
25kW, 28kW		±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式		清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

温控器/激光用冷冻式双通道型 HRL

    ・1台温控器可同时控制2个系统
    ・省空间/省配线
    　设置面积减小22%
    　电源系统：只需一个
    ・节能
    　消耗功率降低30%
    ・采用触摸屏
    ・电源：三相AC380〜415V（50/60Hz）
    　　　　三相AC460～480V（60Hz）
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRL100
HRL200
HRL300
HRL400		CH1:15～25℃
CH2:20～40℃		CH1:9kw,19kW,26kW,37kW
CH2:1.0kW(最大1.5kW)		CH1:±0.1
CH2:±0.5		风冷冷冻式
水冷冷冻式		CH1:清水
CH2:清水、脱离子水（春水）

温控器/机架安装型 HRR

产品特点
    ・可在安装于机架的状态下作业
    　前面拆装：可从前面设定、调整、维护
    ・省空间
    　19英寸机架上可安装数台
    ・冷却能力：1.2/1.8/2.4/3.0kW（60Hz）
    ・温度稳定性：±0.1℃
    ・全球通用电源：单相AC200～230V（50/60Hz）

    ※提供样机借用服务
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  • 2D CAD
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  • 温控器/机架安装型 HRR
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRR1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW查看搜索结果
  • 温控器/机架安装型 HRR
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRR1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修 监视软件
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRR10～35℃1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式		清水
乙二醇水溶液（15％）

符合欧盟F-Gas（含氟气体）法规的冷冻式温控器 HRZ-F

产品特点
    ・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
    ・节能
    　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
    　消耗功率：Max65％削減
    　冷却水量：Max67％削減
    ・高性能
    　温度稳定性：±0.1℃（负载稳定时）
    　冷却时间：最多缩短46％（与本公司产品相比）
    ・使用冷媒：R410A（HFC）／R448A（HFC/HFO）
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZ-F－20～40℃
10～60℃
－20～90℃		2kW, 4kW
8kW, 10kW		±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液
清水及去离子水（纯水）

温控器/高性能变频型 HRZ

    ・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
    ・温度范围和冷却能力范围大
    ・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
    ・符合UL, SEMI规格及CE标识

    ※提供样机试用服务
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  • 2D CAD
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  • 温控器/高性能变频型 HRZ
    说明书
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    HRZ10kW查看搜索结果
  • 温控器/高性能变频型 HRZ
    自我宣告书
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    HRZ10kW查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZ－20～90℃
10～60℃		10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

双温控器/高性能变频型 HRZD

    ・1台深冷器可分别控制2个系統
    ・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
    ・省空间：设置面积减小23％
    ・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統
    ・符合SEMI规格、CE标识

    ※提供样机试用服务
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  • 2D CAD
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  • 双温控器/高性能变频型 HRZD
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRZD9.5kW×2查看搜索结果
  • 双温控器/高性能变频型 HRZD
    自我宣告书
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    HRZD9.5kW×2查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZD－30～90℃9.5kW×2±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液（60％）

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