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高真空阀

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铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

    ・采用铝制主体
     均一的烤焙温度
     重量轻、外形紧凑
     放出气体少
     重金属污染少
    ・可更换波纹管
系列操作方式阀形式轴密封
方式
用途法兰
尺寸
XLA-2气控单作用
(N.C.)
波纹管密封除尘
净化
16~80
XLAV-2(带电磁阀)气控单作用
(N.C.)
波纹管密封除尘
净化
16~80
XLC-2气控双作用波纹管密封除尘
净化
16~80
XLF-2气控单作用
(N.C.)
O形圈密封高速动作
高动作次数
16~80
XLFV-2(带电磁阀)气控单作用
(N.C.)
O形圈高速动作
高动作次数
16~80
XLG-2气控双作用O形圈高速动作
高动作次数
16~80

铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160(-1)-X152

    ・波纹管耐久性提升(法兰尺寸100、160)
    ・寿命:200万次
    ・可实现装置的省空间化
     无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)
     安装姿势的自由度提升
    ・轻量、紧凑
系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸
XLA-100・160-X152气控单作用
(N.C.)
波纹管密封除尘净化100、160

铝制高真空L型阀 XL□

    ・耐氟。
    ・放出气体量少。
    ・重金属污染少。

    ※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。
      请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
系列操作方式阀形式轴密封
方式
用途法兰
尺寸
XLA气控单作用
(N.C.)
波纹管密封防尘
净化
16~160
XLAV(带电磁阀)气控单作用
(N.C.)
波纹管密封除尘
净化
16~160
XLC气控双作用波纹管密封除尘
净化
16~160
XLCV(带电磁阀)气控双作用波纹管密封除尘
净化
16~80
XLF气控单作用
(N.C.)
O形圈密封高速动作
高动作次数
16~160
XLFV(带电磁阀)气控单作用
(N.C.)
O形圈高速动作
高动作次数
16~160
XLG气控双作用O形圈高速动作
高动作次数
16~160
XLGV(带电磁阀)气控双作用O形圈高速动作
高动作次数
16~80
XLD气控单作用
(N.C.)
波纹管密封
O形圈密封
防止扬尘
防止泵过载
25~160
XLDV(带电磁阀)气控单作用
(N.C.)
波纹管密封
O形圈密封
防止扬尘
防止泵过载
25~160
XLH手动手动波纹管密封除尘
净化
16~50
XLS电磁式单作用
(N.C.)
(波纹管平衡)无需空气
可搬运装置用
16,25

铝制快速拆装型 高真空L型阀 XLAQ・XLDQ

    ・快速拆装(无需工具)。
系列操作方式轴密封
方式
阀形式材质法兰
尺寸
XLAQ气控波纹管密封单作用
(N.C.)
主体:铝
波纹管:SUS316L
16~50
XLDQ气控波纹管密封
O形圈密封
单作用
(N.C.)
主体:铝
波纹管:SUS316L
40,50

不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY

    ・无气体积留的精密遗体铸造结构。
    ・铝制高真空L型阀,安装上具有与XL系列的互换性(XM系列)。

    注)直线型无尺寸16。
系列操作方式轴密封
方式
阀形式材质法兰
尺寸
XMA/XYA气控波纹管密封单作用
(N.C.)
主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYC气控·波纹管密封双作用主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYD气控波纹管密封
O形圈密封
单作用
(N.C.)
主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
25~80
XMH/XYH手动波纹管密封手动主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
16~50 注)

常闭型高真空电磁阀 XSA

    ・最低使用压力:1×10-6Pa(abs)
    ・泄漏量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
    ・有2种接头和内螺纹可选。
    ・消耗功率:最多削减25%。
    ・质量:最多减小18% 0.5kg→0.41kg。
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XSA常闭空气
惰性气体
面密封接头
卡套式接头
1/4, 3/8
XSA常闭空气
惰性气体
Rc, NPT内螺纹1/8, 1/4, 3/8

平稳排气阀 XVD

    ・阀与针阀一体化,配管空间为原来的1/4。
    ・密封部采用金属膜片,大幅减少了微粒的产生。
    ・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD常闭
(加压开・弹簧密封)
氮气、空气、
惰性气体等
VCR®
Swagelok®
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