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高真空阀

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铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

产品特点
    ・采用铝制主体
    　均一的烤焙温度
    　重量轻、外形紧凑
    　放出气体少
    　重金属污染少
    ・可更换波纹管
安全注意事项　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封
方式		用途法兰
尺寸
XLA-2气控单作用
（N.C.）		波纹管密封除尘
净化		16～80
XLAV-2（带电磁阀）气控单作用
（N.C.）		波纹管密封除尘
净化		16～80
XLC-2气控双作用波纹管密封除尘
净化		16～80
XLF-2气控单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLFV-2（带电磁阀）气控单作用
（N.C.）		O形圈高速动作
高动作次数		16～80
XLG-2气控双作用O形圈高速动作
高动作次数		16～80

铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160（-1）-X152

    ・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）
    ・寿命：200万次
    ・可实现装置的省空间化
    　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)
    　安装姿势的自由度提升
    ・轻量、紧凑
安全注意事项　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸
XLA-100・160-X152气控单作用
（N.C.）		波纹管密封除尘净化100、160

铝制高真空L型阀 XL□

产品特点
    ・耐氟。
    ・放出气体量少。
    ・重金属污染少。

    ※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。
    　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封
方式		用途法兰
尺寸
XLA气控单作用
（N.C.）		波纹管密封防尘
净化		16～160
XLAV（带电磁阀）气控单作用
（N.C.）		波纹管密封除尘
净化		16～160
XLC气控双作用波纹管密封除尘
净化		16～160
XLCV（带电磁阀）气控双作用波纹管密封除尘
净化		16～80
XLF气控单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～160
XLFV（带电磁阀）气控单作用
（N.C.）		O形圈高速动作
高动作次数		16～160
XLG气控双作用O形圈高速动作
高动作次数		16～160
XLGV（带电磁阀）气控双作用O形圈高速动作
高动作次数		16～80
XLD气控单作用
（N.C.）		波纹管密封
O形圈密封		防止扬尘
防止泵过载		25～160
XLDV（带电磁阀）气控单作用
（N.C.）		波纹管密封
O形圈密封		防止扬尘
防止泵过载		25～160
XLH手动手动波纹管密封除尘
净化		16～50
XLS电磁式单作用
（N.C.）		(波纹管平衡)无需空气
可搬运装置用		16，25

铝制快速拆装型 高真空L型阀 XLAQ・XLDQ

    ・快速拆装（无需工具）。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式轴密封
方式		阀形式材质法兰
尺寸
XLAQ气控波纹管密封单作用
（N.C.）		主体：铝
波纹管：SUS316L		16～50
XLDQ气控波纹管密封
O形圈密封		单作用
（N.C.）		主体：铝
波纹管：SUS316L		40，50

不锈钢制高真空L型／直通型阀 XM/XY

    ・无气体积留的精密遗体铸造结构。
    ・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。

    注）直线型无尺寸16。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式轴密封
方式		阀形式材质法兰
尺寸
XMA/XYA气控波纹管密封单作用
（N.C.）		主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYC气控·波纹管密封双作用主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYD气控波纹管密封
O形圈密封		单作用
（N.C.）		主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		25～80
XMH/XYH手动波纹管密封手动主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		16～50 注）

常闭型高真空电磁阀 XSA

产品特点
    ・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
    ・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
    ・有2种接头和内螺纹可选。
    ・消耗功率：最多削减25％。
    ・质量：最多减小18％　0.5kg→0.41kg。
安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XSA常闭空气
惰性气体		面密封接头
卡套式接头		1/4, 3/8
XSA常闭空气
惰性气体		Rc, NPT内螺纹1/8, 1/4, 3/8

平稳排气阀 XVD

    ・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。
    ・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。
    ・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD常闭
（加压开・弹簧密封）		氮气、空气、
惰性气体等		VCR®
Swagelok®		1/4B

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