产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
串行传送系统 EX600
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对应输入、输出
※不同系列适用协议不同。
详情请参照各系列的样本。
※EX600-SPN1/SPN2已于2023年10月停产。
请选择EX600-SPN3/SPN4。
系列 | 防护等级 | 通信协议※ | 适用的阀 |
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EX600 | IP67 | DeviceNet™ PROFIBUS DP CC-Link 对应EtherNet/IP™ IO-Link单元 对应EtherCAT IO-Link单元 PROFINET 对应PROFINET IO-Link单元 MRP(PROFINET)(订制规格) Ethernet POWERLINK(订制规格) Modbus TCP(订制规格) CC-Link IE Field(订制规格) EtherNet/IP™ IO-Link主站单元(订制规格) | SY3000,5000,7000(插入式) VQC1000,2000,4000,5000 SV1000,2000,3000 S0700(IP40) |
串行传送系统 EX260
系列 | 防护等级 | 通信协议※ | 适用的阀 |
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EX260 | IP67 | DeviceNet™ PROFIBUS DP CC-Link PROFINET EtherCAT® EtherNet/IP™ Ethernet POWERLINK IO-Link(仅SY,JSY,VQC) PROFIsafe(仅SY,JSY,VQC) | SY3000,5000,7000(插入式) JSY1000,3000,5000 VQC1000,2000,4000,5000 SV1000,2000,3000 S0700(IP40) |
串行传输系统 EX500
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对应输入、输出,网关型
※不同系列适用协议不同。
详情请参照各系列的样本。
※EX500-GDN1系列于2021年3月停止生产。
请选择EX260-SDN、EX600-SDN。
系列 | 防护等级 | 通信协议※ | 适用的阀 |
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EX500 | IP67 | PROFINET EtherNet/IP™ DeviceNet™ PROFIBUS DP | SY3000,5000,7000(插入式) VQC1000,2000,4000,5000 SV1000,2000,3000 S0700(IP40) |
串行传输系统 EX510

系列 | 防护等级 | 通信协议※ | 适用的阀 |
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EX510 | IP20 | DeviceNet™ PROFIBUS DP CC-Link EtherNet/IP™(订制规格) PROFINET(订制规格) | SJ2000,3000 SY3000,5000,7000(插入式) SY3000,5000,7000 SYJ3000,5000,7000 SQ1000,2000 SZ3000 VQ1000,2000 VQZ1000,2000,3000 S0700 |
步进电机控制器 JXCE□/9□/P□/D1/L□/M1
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・对应EtherCAT™、EtherNet/IP™、PROFINET,DeviceNet™
・对应2种动作指示方法
步序号指示运转、数值指示运转
・通信线缆可连续配线
・对应数值监控
・可IO-Link通信
系列 | 对应电机 | 电源电压 | 现场总线 |
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JXCE1(标准规格) JXCEF(对应安全规格) | 步进电机 (带编码器 DC24V) | DC24V ±10% | EtherCAT™ |
JXC91(标准规格) JXC9F(对应安全规格) | 步进电机 (带编码器 DC24V) | DC24V ±10% | EtherNet/IP™ |
JXCP1(标准规格) JXCPF(对应安全规格) | 步进电机 (带编码器 DC24V) | DC24V ±10% | PROFINET |
JXCD1(标准规格) | 步进电机 (带编码器 DC24V) | DC24V ±10% | DeviceNet™ |
JXCL1(标准规格) JXCLF(对应安全规格) | 步进电机 (带编码器 DC24V) | DC24V ±10% | IO-Link |
JXCM1(标准规格) | 步进电机 (带编码器 DC24V) | DC24V ±10% | IO-Link |
串行传输系统 EX250

系列 | 防护等级 | 通信协议※ | 适用的阀 |
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EX250 | IP67 | DeviceNet™ PROFIBUS DP CC-Link EtherNet/IP™ AS-Interface CANopen | SY3000,5000,7000(插入式) VQC1000,2000,4000,5000 SV1000,2000,3000 S0700(IP40) |
对应现场总线的网关(GW)单元 LEC-G

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・可对应电动执行器/LE□的现场总线。
・现场总线网络与LEC串行通信的转换单元。
・对应2种动作方法。
步信息输入、数值输入。
・可通过PLC确认位置、速度等数值。
训练 | 适合现场总线 | 电源电压 | 适合控制器 |
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LEC-G | CC-Link DeviceNet™ PROFIBUS DP EtherNet/IP™ | DC24±10% | LECP6系列 LECA6系列 |
电气比例阀 ITV

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・通过电气比例信号,实现对空气压力的无级控制
・灵敏度:0.2kPa(100kPa规格)
・直线型:±1%以内(F.S.)
・迟滞:0.5%以内(F.S.)
・通信:CC-Link、DeviceNet™、PROFIBUS DP、RS-232C、IO-Link
系列 | 接管口径 | 设定压力(MPa) |
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ITV0000 | 内置快换管接头 φ4,φ5/32 | 0.001~0.1 0.001~0.5 0.001~0.9 |
ITV1000 | 1/8,1/4 | 0.005~0.1 0.005~0.5 0.005~0.9 |
ITV2000 | 1/4,3/8 | 0.005~0.1 0.005~0.5 0.005~0.9 |
ITV3000 | 1/4,3/8,1/2 | 0.005~0.1 0.005~0.5 0.005~0.9 |
电子式真空比例阀 ITV

系列 | 接管口径 | 设定压力(kPa) |
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ITV009□ | φ4,φ5/32 快换管接头 | -1~-100 |
ITV209□ | 1/4 | -1.3~-80 |
串行传输系统 EX120/121/122/123/124/126/140/180

系列 | 防护等级 | 通信协议※ | 适用的阀 |
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EX120 | IP20 | DeviceNet™ CC-Link CompoNet™ CompoBus/S NKE省配线系统 S-LINK V(订制规格) | SY3000,5000,7000(插入式) VQ1000,2000 SV1000,2000,3000,4000 |
EX121 | IP20 | DeviceNet™ CC-Link CompoNet™ CompoBus/S NKE省配线系统 S-LINK V(订制规格) | SY3000,5000 |
EX122 | IP20 | DeviceNet™ CC-Link CompoNet™ CompoBus/S NKE省配线系统 S-LINK V(订制规格) | SY3000,5000 |
EX123 | IP65 | NKE省配线系统 | VQ2000,4000,5000 |
EX124 | IP65 | CC-Link CompoBus/S DeviceNet™(订制规格) | VQ2000,4000,5000 |
EX126 | IP67 | CC-Link | SY3000,5000,7000(插入式) VQC1000,2000,4000,5000 SV1000,2000,3000 |
EX140 | IP20 | DeviceNet™ CC-Link CompoBus/S NKE省配线系统 | SQ1000,2000 SZ3000 |
EX180 | IP20 | DeviceNet™ CC-Link EtherCAT®(订制规格) AnyWireASLINK(订制规格) | SY3000,5000,7000 SJ2000,3000 S0700 |
温控器/高性能型 HRZ

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・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZ | -20~40℃ 20~90℃ -20~90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |
水冷式深冷器/高性能型 HRW

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・工厂循环水的直接热交换器
・用于在无需冷冻机的温度范围内进行温控
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
・符合UL, SEMI规格及CE标识
・可选择变频型
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (无冷冻机) | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |