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工艺气体用元件

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减压阀(压力调节器) 高纯度工艺气体用 AP/SL/AP/AZ

    ・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。
    ・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。
    ・接触气体部分经过电解研磨处理。
    ・外部金属密封构造。
  • 减压阀(压力调节器) 高纯度工艺气体用 AP/SL/AP/AZ
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系列形式用途主体材质配管连接配管尺寸
AP/SL一段式管路用(小型)SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
AP/SL一段式管路用SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP/SL一段式大宗气体用SUS316L面密封接头
管焊接
1/2'',3/4'',1''
AP/SL一段式一次侧高压用SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP/SL一段式负压调节SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP二段式一次侧高压用SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
AZ一段式管路用SUS316L面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''
AZ一段式一次侧高压用SUS316L面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''
AZ一段式负压调节SUS316L面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''

减压阀(压力调节器)/背压阀 一般气体用 AK/BP

    ・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
    ・主体材质可根据流体选择SUS316或黄铜。
系列型号用途主体材质配管连接配管尺寸
AK一段式气路用SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4'',3/8''
1/2''
AK一段式一次側高压用SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4'',3/8''
1/2''
AK一段式负压调节SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4'',3/8''
1/2''
AK二段式一次側高压用SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4''
BP背压阀SUS316
或黄铜
NPT内螺纹
卡套式接头
1/4''

膜片阀 高纯度工艺气体用 AP

    ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
    ・可作为气体的切断阀使用。
    ・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AP气控型SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP小型SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''

隔膜阀 高纯度工艺气体用 AZ

    ・用于精密洗净及洁净室组装。
    ・全部产品均经过了氦气泄漏检测。
    ・符合SEMI规格
    ・采用方便作业的锻造主体。
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AZ气控型SUS316L面密封接头
管子焊接
1/4''
3/8''
1/2
AZ手动型SUS316L面密封接头
管子焊接
1/4''
3/8''
1/2

单向阀/真空发生器/流量开关 AP

    [单向阀]
    ・防止背压使流体逆流。
    ・构造简单,内部的可动零部件仅为O形圈。
    ・采用无弹簧的构造,可减少因震颤等产生的颗粒,降低下游的压力变动。
    [真空发生器]
    ・真空发生器。
    ・用于更换气罐时,排出配管中残余的气体。
    [流量开关]
    ・检测配管破裂等造成的过剩流量。
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AP单向阀SUS316L二次熔炼面密封接头
管子焊接
1/4'',3/8''
AP真空发生器SUS316L面密封接头
管子焊接
1/4'',3/8''
AP流量开关SUS316L二次熔炼
SUS316L
面密封接头
管子焊接
1/2'',3/4''

膜片阀 一般气体用 AK

    ・全系列的配管连接均可选择Rc, R或NPT。
    ・从半导体到一般行业都可使用的标准型。
    ・可用于精密洗净。
    ・降低执行器的高度,实现产品的小型、轻量化(AK3542, 4542)。
    ・操做通口为M5螺纹(AK3542, 4542)。
    ・手轮构造经过改良、实现了产品的小型、轻量化(AK3652, 4652)。
    ・采用有凹凸的圆形手轮,更便于操作和确认(AK3652, 4652)。
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AK气控型SUS316卡套式接头
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''
AK手动型SUS316卡套式接头
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''

减压阀/一般气体用 AK1000T

    ・从半导体到一般行业均可使用的标准型。
    ・产品体型小、重量轻。
     质量:0.52kg、高:97.5mm。
    ・内部容积小,其体积存量少。
    ・配管扩展品
     可从压缩接头、NPT内螺纹、Rc螺纹中选择。
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AK1000T手动型SUS316压缩接头
Rc, NPT
1/4'',3/8''

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