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真空破坏单元

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真空、破坏单元 VQD1000-V

    ・适合0603芯片。
    ・响应速度:13msec(500mm时※)/18.5msec(1000mm时※)。
    ・可实现无超调的平滑工件脱离。
    ・无需调节真空、正压的切换时点。
    ・不需要破坏空气的节流回路。
    ・真空过滤器:ZFC050(订制规格)。


    ※真空、破坏单元到工件的距离。

带节流阀的真空破坏阀 SJ3A6

    ・内置2个阀柱。
    ・使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。
    ・宽10mm(与SJ3000系列尺寸相同)。
    ・带能够调节破坏空气流量的节流阀。
    ・真空側、破坏側内置可更换的过滤器。
    ・可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装(订制规格)。

带节流阀的真空破坏阀 SY3A□R SY5A□R

    ・1台阀同时具有真空吸附和破坏功能。
    ・带有节流阀,可调节破坏空气的流量。
    ・在同一个集装式阀上可混合安装标准型阀。
     ※使用单独EXH.隔板时
系列
SY3A□R
SY5A□R

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