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对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP

高真空元件 » 缝阀/门式阀
    ・长寿命:300万次(常温时)
    ・发尘量:减少至1/5以下(与以前型号相比)
    ・维护性提高
     波纹管更换更容易
     可通过顶部拆装们(订制规格)
    ・安全对策
     采用机械式端锁机构
  • 对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP
    说明书
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系列使用压力范围(Pa)使用流体门尺寸
(高×宽)(mm)
动作压力
(MPa)
XGTP大气压~10-6惰性气体50×3360.45~0.6

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