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膜片阀 高纯度工艺气体用 AP

工艺气体元件(特气阀) » 工艺气体用元件
无润滑脂 氮气(N2)对应元件 » 工艺气体元件
    ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
    ・可作为气体的切断阀使用。
    ・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AP气控型SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP小型SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''

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