|温调器
达到水质标准的自来水可以用作循环液。此外，循环液是纯水（去离子水）时，应选定可选件-M（去离子水配管对应）。
属于循环液电路的接液部材质不使用铜类材料的规格。
〔注1：关于水质标准，请参考HRS的产品单独注意事项〕
〔注2：可支持的电阻率的上限值…HRS□-M：～4.5MΩ·cm，…HRS/HRSH（标准）：～1MΩ·cm〕
〔注3：另售保持电阻率的DI过滤器〕
达到水质标准的自来水可以用作循环液。此外，循环液是纯水（去离子水）时，应选定可选件-M（去离子水配管对应）。
属于循环液电路的接液部材质不使用铜类材料的规格。
〔注1：关于水质标准，请参考HRS的产品单独注意事项〕
〔注2：可支持的电阻率的上限值…HRS□-M：～4.5MΩ·cm，…HRS/HRSH（标准）：～1MΩ·cm〕
〔注3：另售保持电阻率的DI过滤器〕