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|流量开关

PF□系列能否使用干燥空气以外的流体（气体）？

对于标准产品，以下系列的适用流体为气体：PFM5/7系列…氮、氩、二氧化碳。PF2A、PFMB、PFMC、PFMV系列…氮。（注1：即便使氩流向PFM5/7以外的流量开关，测量值也会产生误差）　（注2：由于氦的分子量很小，所以会发生泄漏，测量值会产生误差）