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大気開放弁付真空バルブ XLJ Series

2019/5

  • チャンバ内への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止
  • 大気開放弁一体構造による配管工数削減

製品特長

チャンバ内への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止

大気開放弁一体構造による配管工数削減

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