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製品特長

省スペース

フットプリント最大85％削減、質量最大65％削減

省スペース（PF3W シリーズのマニホールド化）

フットプリント最大85％削減　※一般的な配管材による構成との比較（10連時）
施工工数最大45％削減　※従来の個別配管作業との比較（10連時）

バリエーション

一体型と分離型。目的に合わせたレイアウトを実現。

●一体型

●分離型

用途例1

ファイバレーザー発振器の冷却

用途例2

半導体製造装置（チャンバの温調）

• 3色表示・2画面表示対応

  

• 使用流体温度：0～90℃

  
  
  

  エチレングリコール水溶液対応可能

  
  
  

  ノングリース仕様

IO-Link対応

各部名称と役割（一体型/ベーシックタイプの構成例）