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新製品情報:循環液温調装置 サーモチラー レーザ用冷凍式デュアルタイプ HRL Series
新製品情報
コントローラ分離型イオナイザ/バータイプ IZT40/41/42 Series
2019/12
- 省エネ高効率カートリッジ追加 [New]
- コントローラと高電圧電源モジュールの分離が可能
- 省スペース:高さ37mm×幅30mm
- 1台のコントローラで最大4台のバー接続が可能
- 電位振幅:25V以下
- 高速除電:最速0.1S
製品特長
省スペース
デュアルAC方式タイプ IZT42 Series(電位振幅低減仕様)
SMC独自のデュアルAC方式により、電位振幅を低減。
静電気に敏感なデバイス等でも静電気放電(ESD)破壊を考慮した除電が可能。
近距離設置でも対象ワークに加わる電位振幅を低減。
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デュアルAC 方式 IZT42
+イオンと−イオンを同時に放出し、+−が均一にワークに到達するため電位振幅が小さくなる。
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AC方式 IZT40/41/43
+イオンと−イオンが帯になって、交互にワークに到達するため電位振幅が大きくなる。
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ガラス基板の除電
定盤からのピックアップ時、剥離帯電による静電破壊を防止
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電気基板の除電
・放電による素子破損の防止
・埃の付着防止
常時エミッタ汚れ検知表示および出力
外部入力信号による個別ON/OFF指令
オートバランス機能付
イオナイザ本体に内蔵、設置場所を選びません。
イオナイザから発生したイオンをアースラインから監視し、除電エリアのオフセット電圧(イオンバランス)を一定内に維持するよう制御。
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AC方式タイプ IZT41/43 Series
オートバランス機能付
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スタンダードタイプ IZT40 Series
シンプル操作、電源投入するだけで使用可能
AC アダプタを用意
(AC アダプタはバー1 台時の場合のみにご使用いただけます)
小型の筺体が省スペース化を実現:バータイプ
省スペース:ノズルタイプ
1台のコントローラで最大4台のバーノズル接続が可能:バータイプ、ノズルタイプ
モジュールの多彩な接続方法により自由なレイアウトが可能:バータイプ、ノズルタイプ
各モジュールをコネクタ接続することにより設置が容易:バータイプ、ノズルタイプ
使用目的に応じて多彩なローメンテナンスカートリッジを選択可能:バータイプ、ノズルタイプ
●エミッタカートリッジの種類:バー用
●エミッタカートリッジの種類:ノズル用
●エミッタ材質の種類