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イオナイザ IZS40/41/42 Series

2019/12

  • 省エネ高効率カートリッジ追加 [New]
  • デュアルAC方式により電位振幅 25V以下(取付高さ300mm時)
  • フィードバックセンサによる高速除電。
  • オートバランスセンサにより調整、メンテ工数を削減。
  • シンプル操作、電源投入するだけで使用可能(スタンダードタイプ)
  • リモコン設定可能。
  • 高速除電カートリッジ、省エネ除電カートリッジを用意。

製品特長

デュアルAC方式タイプ IZS42 Series (電位振幅低減仕様)

  • 電位振幅25V以下 従来比80%低減

    (IZS31シリーズ設置高さ300mm時比較)



  • SMC独自のデュアルAC方式採用により、電位振幅を低減。
    静電気に敏感なデバイス等でも静電気放電(ESD)破壊することなく除電が可能。
    近距離設置でも対象ワークに加わる電位振幅を低減。

独自のデュアルAC方式を採用

  • デュアルAC方式/IZS42

    +イオンと-イオンが同時に放出し、+-が均一にワークに到達するため電位振幅が小さくなる。

  • AC方式

    同周期で+イオンと-イオンが帯になって、ワークに到達するため電位振幅が大きくなる。

  • ガラス基板の除電

    定盤からのピックアップ時、
    剥離帯電による静電破壊を防止

  • 電気基板の除電

    ダイシング後のピックアップ時の剥離帯電による静電破壊を防止

フィードバックセンサタイプIZS41 Series (高速除電仕様)

  • フィードバックセンサによる高速除電

    注)オートバランスセンサは内蔵しています。



    ワークの帯電電位をフィードバックセンサ(オプション)で検出し逆極性のイオンを連続放出する事により、除電速度を高速化

  • 電気基板の除電

    ・放電による素子破損の防止
    ・埃の付着防止

  • ガラス基板の除電

    ・貼付、放電による破損の防止
    ・埃の付着防止

除電後(イオンバランス:±30V以内)の運転モードを選択可能


省エネ運転モード

除電後、イオン発生を停止、消費電力を削減。

連続除電運転モード

除電後、±30V以内を維持しながらAC動作で除電を継続。



スタンダードタイプ IZS40 Series

  • シンプル操作、電源投入するだけで使用可能

    遠距離設置時(1000mm)の減衰時間=3.2秒(41%短縮)

  • 1000V→100V除電時の除電データ

    条件:イオン発生周波数30Hz 供給圧力:0.1MPa
       高速除電カートリッジ

  • ACアダプタ電源を用意

  • 樹脂、ゴム部品(小物部品)の除電、除塵に適しています。

    ペットボトルの除電

    ・搬送時の転倒防止
    ・埃の付着防止


  • 成型品の除電

    ・金型からの成型品の離脱性を向上

その他の特長

オートバランスセンサにより調整工数・メンテナンス工数の削減 IZS42IZS41

内蔵タイプ(標準装備)

イオナイザ本体に内蔵、設置場所を選びません。
イオナイザから発生したイオンをアースラインから監視し、+と−のイオン供給量を調整することで、除電エリアのオフセット電圧(イオンバランス)を一定内に維持するよう制御。

高精度タイプ(オプション)

・ワーク付近のイオンバランスを高精度に調整。
・設置高さや外乱の影響による除電エリアのオフセット電圧変化を低減。
・接続した時だけに調整を行う「マニュアル運転モード」と、接続したまま常時調整を行う「オート運転モード」を選択可能。

使用目的に応じて多彩なローメンテナンスカートリッジを選択可能 IZS41




・エミッタ周囲より圧縮空気を出すことで、
 エミッタの汚れを低減


・2種類の電極針材質
 タングステン / 単結晶シリコン(シリコンウエハ用)

片側エア配管でエア供給が可能IZS41

・配管径の最適設計で片側配管でも十分なブロー性能維持を実現



エア供給口の選択が可能:右側/左側/両側IZS41



バーの長さの選択が可能IZS41



リモコン設定可能IZS42IZS41


・離れた場所から複数のイオナイザの調整や設定が可能。
・アドレス設定により16台の識別が可能
・周波数設定
・イオンバランス調整
・電極汚れ検知アラーム 閾値変更
 (3段階)
・内蔵センサ 有効/無効 切換

渡り配線可能IZS42IZS41


接続可能台数 IZS41:最大8台 IZS42:最大5台
 〈条件〉バー長さ340~2500mm、電源ケーブル3m、
     渡り配線ケーブル2m時
電源との配線工数削減


安全機能IZS41


・電極カートリッジ落下防止機能
 ダブルアクションロック

・落下防止カバー
 電極カートリッジのより確実な落下防止が可能

機種別 機能一覧

用途例

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