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製程氣體用元件

調壓閥(壓力調整器) 高純度製程氣體用 AP/SL/AP/AZ

    ・對應半導體產業等,供給高清淨度氣體用途
    ・本體材質使用SUS316L二次熔煉或SUS316L
    ・接氣體部電解研磨處理
    ・外部金屬體密封構造
系列形式用途本體材質配管連接配管尺寸
AP/SL一段式管線用(小型)SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
AP/SL一段式管線用SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''
AP/SL一段式大宗氣體用SUS316L面密封接頭
焊接管
1/2'', 3/4'', 1''
AP/SL一段式一次側高壓用316L SS
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''
AP/SL一段式負壓調整SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''
AP二段式一次側高壓用SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'',3/8''
AZ一段式管線用SUS316L面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2''
AZ一段式一次側高壓用SUS316L面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2''
AZ一段式負壓調整SUS316L面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2''

調壓閥(壓力調整器)/背壓閥 AK/BP

    ・從半導體到一般產業,廣泛用途可以使用的標準產品
    ・依使用流體,本體材質可選擇SUS316或黃銅
系列形式用途本體材質配管連接配管尺寸
AK一段式管線用SUS316
或黃銅
NPT母螺牙, 卡套接頭1/4'', 3/8''
1/2''
AK一段式一次側高壓用SUS316
或黃銅
NPT母螺牙, 卡套接頭1/4'', 3/8''
1/2''
AK一段式負壓調整SUS316
或黃銅
NPT母螺牙, 卡套接頭1/4'', 3/8''
1/2''
AK二段式一次側高壓用SUS316
或黃銅
NPT母螺牙, 卡套接頭1/4''
BP背壓閥SUS316
或黃銅
NPT母螺牙, 卡套接頭1/4''

膜片閥 高純度製程氣體用 AP

    ・對應半導體產業等,供給高清淨度氣體用途
    ・做為氣體遮斷閥使用
    ・接氣體部沒有彈簧,驅動部也被膜片隔離,
     流路的死角小,並抑制粉塵的發生
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AP氣控型SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP手動操作型SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''

膜片閥 高純度製程氣體用 AZ

    ・精密洗淨及無塵室內組裝
    ・全產品氦氣洩漏檢查完成
    ・SEMI規格標準
    ・對作業者友善的鍛造本體
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AZ氣控型式SUS316L面密封接頭
焊接管
1/4''
3/8''
1/2
AZ手動操作型式SUS316L面密封接頭
焊接管
1/4''
3/8''
1/2

逆止閥/真空產生器/流量開關 AP

    [逆止閥]
    ・防止背壓造成流體的逆流。
    ・內部可動零件只有O形環,簡單的構造。
    ・無彈簧的構造,抑制了振動、顫動造成的粉塵發生,下游側的壓力變動

    [真空產生器]
    ・真空發生機器
    ・氣體鋼瓶更換時,對應配管中殘留不要氣體的排出用途

    [流量開關]
    ・配管破斷等過剩流量的檢出
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AP逆止閥SUS316L 二次熔煉面密封接頭
焊接管
1/4'', 3/8''
AP真空產生器SUS316L面密封接頭l
焊接管
1/4'', 3/8''
AP流量開關SUS316L 二次熔煉
SUS316L
面密封接頭
焊接管
1/2'', 3/4''

膜片閥 一般氣體用 AK

    ・配管連接Rc, R, NPT系列化
    ・從半導體到一般產業用途可使用的標準產品
    ・施以精密洗淨
    ・驅動部高度降低,實現了產品的小型、輕量化(AK3542, 4542)
    ・操作孔M5螺牙(AK3542, 4542)
    ・旋鈕構造的改良,實現了產品的小型、輕量化(AK3652, 4652)
    ・採用附旋鈕圓握把,操作性、辨識性提昇(AK3652, 4652)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AK氣控型SUS316卡套接頭
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''
AK手動操作型SUS316卡套接頭
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''

調壓閥/一般氣體用 AK1000T

    ・從半導體到一般產業用途可使用的標準產品
    ・實現了產品的小型、輕量化
     質量:0.52kg、高度:97.5mm
    ・內部容積的小設計化,減少氣體滯留
    ・配管組合變化
     可從卡套接頭、NPT母螺牙、Rc螺牙選擇
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AK1000T手動操作型SUS316卡套接頭
Rc, NPT
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