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製程氣體用元件

調壓閥（壓力調整器）　高純度製程氣體用 AP/SL/AP/AZ

產品特點
    ・對應半導體產業等，供給高清淨度氣體用途
    ・本體材質使用SUS316L二次熔煉或SUS316L
    ・接氣體部電解研磨處理
    ・外部金屬體密封構造
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列形式用途本體材質配管連接配管尺寸
AP/SL一段式管線用（小型）SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
AP/SL一段式管線用SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''
AP/SL一段式大宗氣體用SUS316L面密封接頭
焊接管		1/2'', 3/4'', 1''
AP/SL一段式一次側高壓用316L SS
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''
AP/SL一段式負壓調整SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''
AP二段式一次側高壓用SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4''，3/8''
AZ一段式管線用SUS316L面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2''
AZ一段式一次側高壓用SUS316L面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2''
AZ一段式負壓調整SUS316L面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2''

調壓閥（壓力調整器）／背壓閥 AK/BP

產品特點
    ・從半導體到一般產業，廣泛用途可以使用的標準產品
    ・依使用流體，本體材質可選擇SUS316或黃銅
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列形式用途本體材質配管連接配管尺寸
AK一段式管線用SUS316
或黃銅		NPT母螺牙, 卡套接頭1/4'', 3/8''
1/2''
AK一段式一次側高壓用SUS316
或黃銅		NPT母螺牙, 卡套接頭1/4'', 3/8''
1/2''
AK一段式負壓調整SUS316
或黃銅		NPT母螺牙, 卡套接頭1/4'', 3/8''
1/2''
AK二段式一次側高壓用SUS316
或黃銅		NPT母螺牙, 卡套接頭1/4''
BP背壓閥―SUS316
或黃銅		NPT母螺牙, 卡套接頭1/4''

膜片閥　高純度製程氣體用 AP

產品特點
    ・對應半導體產業等，供給高清淨度氣體用途
    ・做為氣體遮斷閥使用
    ・接氣體部沒有彈簧，驅動部也被膜片隔離，
    　流路的死角小，並抑制粉塵的發生
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AP氣控型SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP手動操作型SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''

膜片閥　高純度製程氣體用 AZ

    ・精密洗淨及無塵室內組裝
    ・全產品氦氣洩漏檢查完成
    ・SEMI規格標準
    ・對作業者友善的鍛造本體
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推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AZ氣控型式SUS316L面密封接頭
焊接管		1/4''
3/8''
1/2
AZ手動操作型式SUS316L面密封接頭
焊接管		1/4''
3/8''
1/2

逆止閥／真空產生器／流量開關 AP

產品特點
    [逆止閥]
    ・防止背壓造成流體的逆流。
    ・內部可動零件只有O形環，簡單的構造。
    ・無彈簧的構造，抑制了振動、顫動造成的粉塵發生，下游側的壓力變動

    [真空產生器]
    ・真空發生機器
    ・氣體鋼瓶更換時，對應配管中殘留不要氣體的排出用途

    [流量開關]
    ・配管破斷等過剩流量的檢出
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AP逆止閥SUS316L 二次熔煉面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
AP真空產生器SUS316L面密封接頭l
焊接管		1/4'', 3/8''
AP流量開關SUS316L 二次熔煉
SUS316L		面密封接頭
焊接管		1/2'', 3/4''

膜片閥　一般氣體用 AK

    ・配管連接Rc, R, NPT系列化
    ・從半導體到一般產業用途可使用的標準產品
    ・施以精密洗淨
    ・驅動部高度降低，實現了產品的小型、輕量化（AK3542, 4542）
    ・操作孔M5螺牙（AK3542, 4542）
    ・旋鈕構造的改良，實現了產品的小型、輕量化（AK3652, 4652）
    ・採用附旋鈕圓握把，操作性、辨識性提昇（AK3652, 4652）
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AK氣控型SUS316卡套接頭
Rc, R, NPT		1/4''，3/8''
AK手動操作型SUS316卡套接頭
Rc, R, NPT		1/4''，3/8''

調壓閥／一般氣體用 AK1000T

    ・從半導體到一般產業用途可使用的標準產品
    ・實現了產品的小型、輕量化
    　質量：0.52kg、高度：97.5mm
    ・內部容積的小設計化，減少氣體滯留
    ・配管組合變化
    　可從卡套接頭、NPT母螺牙、Rc螺牙選擇
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AK1000T手動操作型SUS316卡套接頭
Rc, NPT		1/4

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