產品目錄

產品情報 »  產品目錄  » 高真空元件  » 閘閥

閘閥

300mm晶圓對應平行密封型閘閥 XGTP

產品特點
    ・長壽命：300萬次（常溫時）
    ・發塵量：降低1/5以下（與既有品比）
    ・維修性提昇
    　容易更換伸縮囊
    　可上方簡易更換閘門設計（訂製品）
    ・安全對策
    　採用機械式端點鎖定機構
安全上的注意　系統構成/組合變化　綠色對應 (RoHS)
系列使用環境
壓力 (Pa)(abs)		使用流體開口窗尺寸
(高x寬)
(mm)		作動
壓力
(MPa)(G)
XGTP大氣壓
～ 10-6		惰性氣體50 x 3360.45 ～ 0.6

閘閥 XGT

    ・於半導體裝置等，晶圓盒進出負載鎖定腔體與搬送腔體
    　及搬送腔體與製程腔體間的隔離閥使用
安全上的注意　系統構成/組合變化　綠色對應 (RoHS)
系列使用壓力
範圍 (Pa)(abs)		使用流體開口窗尺寸
(高×寬）
(mm)		作動
壓力
(MPa)(G)
XGT大氣壓
～ 10-6		惰性的真空氣體32 x 222
46 x 236
50 x 336		0.45 ～ 0.6

Go Top