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除電
産業用ロボット向機器
クリーンロボット除電
静電気によるトラブルを防止
ウエハ搬送時の除電

ウエハ、ハンド間の放電による破損を防止
ガラス基板の除電

貼付、放電による破損の防止・埃の付着防止
イオナイザ/バータイプ IZS40/41/42
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)-
・デュアルAC方式により電位振幅 25V以下(取付高さ300mm時)
・フィードバックセンサによる高速除電。
・オートバランスセンサにより調整、メンテ工数を削減。
・シンプル操作、電源投入するだけで使用可能(スタンダードタイプ)
・リモコン設定可能。
・渡り配線可能。
・3種類のエミッタカートリッジ
高速除電カートリッジ、省エネ除電カートリッジ、省エネ高効率カートリッジ
シリーズ | タイプ | イオン発生方式 | オフセット電圧 (イオンバランス) |
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IZS42 | デュアルACタイプ | コロナ放電式 | ±30V |
IZS41 | フィードバックセンサタイプ | コロナ放電式 | ±30V |
IZS40 | スタンダードタイプ | コロナ放電式 | ±30V |
コントローラ分離型イオナイザ/バータイプ/ノズルタイプ
IZT40/41(-L)/42(-L)/43(-L)
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
シリーズ | タイプ | イオン発生方式 | オフセット電圧 (イオンバランス) |
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IZT42(-L) バータイプ | デュアルAC方式タイプ | コロナ放電式 | ±30V以内 |
IZT41(-L) バータイプ | AC方式タイプ | コロナ放電式 | ±30V以内 |
IZT40 バータイプ | スタンダードタイプ | コロナ放電式 | ±30V以内 |
IZT43(-L) ノズルタイプ | AC方式タイプ | コロナ放電式 | ±30V以内 |
イオナイザ IZS31
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | イオン発生方式 | イオンバランス |
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IZS31 | コロナ放電式 | ±30V(ステンレス電極計の場合±100V) |
イオナイザ/ノズルタイプ IZN10E
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | イオン発生方式 | オフセット電圧 (イオンバランス) |
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IZN10E | コロナ放電式 | 省エネノズル:±10V以内 大流量ノズル:±15V以内 |
イオナイザ ファンタイプ IZF
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | 最大風量 | イオン発生方式 | オフセット電圧 (イオンバランス) |
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IZF10 | 0.46m3/min, 0.66m3/min, 0.80m3/min | コロナ放電方式 | ±13V |
IZF21 | 1.8m3/min | コロナ放電方式 | ±5V |
IZF31 | 4.4m3/min | コロナ放電方式 | ±5V |
イオナイザ付除塵ボックス ZVB
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | サイズ | イオン発生方式 | オフセット電圧 |
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ZVB20 | A4 | コロナ放電式 | ±10V以内(除電距離:ノズルから100mm) |
ZVB40 | A3 | コロナ放電式 | ±10V以内(除電距離:ノズルから100mm) |
表面電位センサ IZD10
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | 測定電位 | 出力電圧 | 有効検出距離 |
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IZD10-110 | ±0.4kV(検出距離25mm時) | 1~5V (出力インピーダンス 約100Ω) | 10~50mm |
IZD10-510 | ±20kV(検出距離50mm時) | 1~5V (出力インピーダンス 約100Ω) | 25~75mm |
表面電位センサモニタ IZE11
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | 定格測定範囲 | 設定最小単位 | 出力 |
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IZE11 | -0.4kV~+0.4kV -20kV~+20kV | 0.001kV(±0.4kV時) 0.1kV(±20kV時) | スイッチ出力×2+アナログ出力 (1~5V、4~20mA) |
ハンディ表面電位計 IZH10
静電気対策機器/イオナイザー(除電機器) » 静電気対策機器/イオナイザー(除電機器)シリーズ | 定格帯電量範囲 | 表示最小単位 |
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IZH10 | ±20.0kV | 0.1kV(±1.0~±20.0kV) 0.01kV(0~±0.99kV) |