産業用ロボット向機器
クリーンロボット非接触
ワーク面の吸着跡、傷、汚れを防止
傷や吸着痕を嫌うワーク
液晶ガラス

たわみ防止
穴のあいたワーク
基板

注)穴の開口率1%以下
薄いワーク
フィルム、銅箔など

たわみ防止
非接触チャック XT661
真空用機器 » 特殊パッド半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
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・ワークの非接触搬送をアシスト
・ワーク吸引可能距離:10mm
・2種のタイプを用意
サイクロンタイプ:高リフト力:最大44N
ベルヌーイタイプ:把持時のワーク振幅:±0.01mm以下