温調機器 » サーモチラー - 製品一覧
|
|
水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
-
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 （冷凍機なし） | フッ素化液 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（60％） |
