温調機器 » サーモチラー - 製品一覧
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水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。 ※貸出サンプルをご用意しています。 最寄りの営業所へお申し付けください。 営業所一覧 |
| その他資料 |
|---|
| シリーズ | 設定温度 範囲 |
冷却能力 | 温度 安定性 |
冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ |
2kW, 8kW 15kW, 30kW |
±0.3℃ |
水冷却式 （冷凍機なし） |
フッ素化液 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（60％） |
水冷却式サーモチラー／高機能タイプHRW
| シリーズ | ダウンロード |
|---|---|
| HRW |
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