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製程幫浦

定量吐出幫浦 (電磁閥式） LSP

    ・1推擠5μL的定量液體
    　安定的吐出、 小型電磁線圈式膜片幫浦
    ・吐出量可調整
    ・吐出量安定性：往復精度±1％∗
    　∗5～15μL時±2%、依本公司測定條件
    ・關閉功能
    ・自吸式不需引導水
安全上的注意
系列連接方式接液部材質
本體		接液部材質
膜片/逆止閥		使用流體
LSP直接配管型
底座配管型		PEEK
PP		EPDM
FKM		水
去離子水（純水）
稀釋液
洗淨液

產品特點

■Liquid Dispense Pump (Solenoid Type)
■Variations
■Features
■Application Examples

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